公开(公告)号：JP2021101157A

公开(公告)日：2021-07-08

申请号：JP2019232487

申请日：2019-12-24

Applicant: 株式会社日立製作所

Inventor： 荒木 亮子 ,  孝橋 照生 ,  謝 駿

IPC: G01N27/72

Abstract: 【課題】画像取得システムにおいて、簡便で広範囲に歪分布を測定する。 【解決手段】基準となる基準外部磁場を用いて光を照射し基準となる試料の基準磁区画像を取得し、外部磁場を変化させながら印加した状態で複数の磁区画像を取得し、複数の磁区画像から基準磁区画像をそれぞれ差し引いた複数の差引画像を取得し、複数の差引画像から磁区が反転した磁区反転領域をそれぞれ抽出し、磁区反転領域をそれぞれ有する複数の差引画像を合成することにより複数の磁区反転領域を有する合成画像を取得する。 【選択図】図2

公开(公告)号：JP6613219B2

公开(公告)日：2019-11-27

申请号：JP2016171641

申请日：2016-09-02

Applicant: 株式会社日立製作所

Inventor： 荒木 亮子 ,  金 惠眞 ,  備前 大輔

IPC: G01N23/2251 ,  G01N23/203 ,  H01L21/66 ,  H01J37/28

公开(公告)号：JP2018037366A

公开(公告)日：2018-03-08

申请号：JP2016171641

申请日：2016-09-02

Applicant: 株式会社日立製作所

Inventor： 荒木 亮子 ,  金 惠眞 ,  備前 大輔

IPC: G01N23/2251 ,  G01N23/203 ,  H01L21/66 ,  H01J37/28

CPC classification number: G02B21/008 ,  G01B9/04 ,  G02B21/0016 ,  G02B21/0032 ,  G02B21/0036 ,  G02B21/0052 ,  H01J37/263 ,  H01J37/265 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/022 ,  H01J2237/244 ,  H01J2237/2485

Abstract: 【課題】走査型顕微鏡において、試料上のコンタミネーションの影響を低減する条件を設定する。 【解決手段】走査型顕微鏡であって、試料に照射される荷電粒子線を出力する荷電粒子線源と、前記試料からの荷電粒子を検出する検出器と、前記荷電粒子線源及び前記検出器を制御する、コントローラと、を含み、前記コントローラは、1以上の可変パラメータを変化させて、複数の異なるパラメータ値セットを決定し、前記複数の異なるパラメータ値セットそれぞれにおける、対象試料材料の吸収電流の時間変化の測定結果を取得し、前記測定結果に基づいて、前記複数の異なるパラメータ値セットから対象試料の測定に使用するパラメータ値セットを選択する。 【選択図】図3