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    画像取得システム及び画像取得方法
    3.
    发明专利
    画像取得システム及び画像取得方法 审中-公开

    公开(公告)号：JP2021101157A

    公开(公告)日：2021-07-08

    申请号：JP2019232487

    申请日：2019-12-24

    Applicant: 株式会社日立製作所

    Inventor： 荒木 亮子 ,  孝橋 照生 ,  謝 駿

    IPC: G01N27/72

    Abstract: 【課題】画像取得システムにおいて、簡便で広範囲に歪分布を測定する。 【解決手段】基準となる基準外部磁場を用いて光を照射し基準となる試料の基準磁区画像を取得し、外部磁場を変化させながら印加した状態で複数の磁区画像を取得し、複数の磁区画像から基準磁区画像をそれぞれ差し引いた複数の差引画像を取得し、複数の差引画像から磁区が反転した磁区反転領域をそれぞれ抽出し、磁区反転領域をそれぞれ有する複数の差引画像を合成することにより複数の磁区反転領域を有する合成画像を取得する。 【選択図】図2

    荷電粒子装置、荷電粒子の照射方法、および分析装置
    6.
    发明专利
    荷電粒子装置、荷電粒子の照射方法、および分析装置 审中-公开

    公开(公告)号：JPWO2016207961A1

    公开(公告)日：2018-02-15

    申请号：JP2017524301

    申请日：2015-06-23

    Applicant: 株式会社日立製作所

    Inventor： 孝橋 照生

    IPC: H01J37/147 ,  H01J37/09

    CPC classification number: H01J37/04 ,  H01J37/09 ,  H01J37/147 ,  H01J37/28

    Abstract: 本発明の荷電粒子線装置は、荷電粒子源と試料台の間に配置されて荷電粒子を荷電粒子束として試料台方向へ搬送する搬送光学系を備え、前記搬送光学系は、荷電粒子束(406)の進路と垂直成分を有する磁場(403)を発生する磁場発生部(402)と、荷電粒子束の進路と垂直成分を有する電場を発生する電場発生部(401)と、磁場発生部および電場発生部を通過した荷電粒子束の少なくとも一部を遮蔽する遮蔽部(408)とを有する。そして、磁場の垂直成分は磁場勾配を持ち、電場の垂直成分は荷電粒子束が受けるローレンツ力と逆方向に静電気力を与える。これにより、1次電子線のスピン偏極度を、増加させることも含めて調整可能な光学系を提供できるようになった。

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