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公开(公告)号：JP2018103199A
公开(公告)日：2018-07-05
申请号：JP2016249833
申请日：2016-12-22
申请人： 株式会社村田製作所
IPC分类号： B23K26/08 , B23K26/00 , B23K26/067
摘要： 【課題】高速でレーザ加工が可能なレーザ加工装置およびレーザ加工方法を提供する。 【解決手段】複数の加工ヘッド3,4の各加工ヘッドに取り付けられ、各加工ヘッドからのレーザ光を走査する複数の偏向器5,6と、各加工ヘッドからのレーザ光の光路の一部に配置された1つ以上の遮光部材11,12と、複数の加工ヘッドの各加工ヘッドを、加工モードまたは捨て打ちモードに切り換える制御部20であって、加工モードでは、第1の加工ヘッドからのレーザ光の照射位置を前記加工領域内の加工位置に設定する一方、捨て打ちモードでは、第2の加工ヘッドの加工モードが終了するまで、加工モードが終了した第1の加工ヘッドからのレーザ光の照射位置を、レーザ光を走査して遮光部材に設定する、該制御部と、を有する。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JPWO2017026430A1
公开(公告)日：2018-06-21
申请号：JP2016073235
申请日：2016-08-08
申请人： 株式会社村田製作所
IPC分类号： H01L23/00 , H01L23/12 , H01L21/56 , H01L21/301 , B23K26/364 , B23K26/38 , H01L23/28
CPC分类号： H01L23/552 , H01L21/4853 , H01L21/4857 , H01L21/565 , H01L21/78 , H01L23/13 , H01L23/28 , H01L23/3114 , H01L23/3121 , H01L23/5383 , H01L23/5386 , H01L23/66 , H01L2224/16225 , H01L2924/181 , H01L2924/19106 , H01L2924/00012
摘要： 部品に対する外部からの不要な電磁波を遮蔽するシールド膜を備える高周波モジュールにおいて、シールド膜の密着強度を向上する。 高周波モジュール1aは、多層配線基板2と、該多層配線基板2の上面20aに実装された部品3と、多層配線基板2の上面20aに積層され部品3を覆う封止樹脂層4とを有する封止体12と、封止樹脂層4の表面を被覆するシールド膜5とを備え、封止体12の側面は、曲面状に形成された曲面部12bを有し、該曲面部12bが複数の溝10aにより粗面化されている。
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公开(公告)号：JP2018094601A
公开(公告)日：2018-06-21
申请号：JP2016242391
申请日：2016-12-14
申请人： 株式会社村田製作所
摘要： 【課題】集塵機構を用いた場合でも、加工装置内の温度を一定に維持することの可能な加工装置を提供すること。 【解決手段】本発明の加工装置は、被加工物を載置する加工台と、前記加工台が配置された加工室を区画する第1カバー筐体と、隙間空間を介して第1カバー筐体を囲む第2カバー筐体とを含む二重構造のカバー部と、第2カバー筐体と第1カバー筐体を貫通し、前記加工室内に外気を導入する外気導入部と、第1カバー筐体と第2カバー筐体を貫通し、前記加工室内の空気を排気する排気部とを含む集塵機構と、前記第2カバー筐体に設けられた恒温空気導入口と、を備え、前記加工室および外気に対して正圧に調整された恒温空気が、前記恒温空気導入口から、第1カバー筐体と第2カバー筐体との前記隙間空間に供給される。 【選択図】図1
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