公开(公告)号：JP6371738B2

公开(公告)日：2018-08-08

申请号：JP2015108792

申请日：2015-05-28

Applicant: 株式会社東芝 ,  東芝デバイス&ストレージ株式会社

Inventor： 中田 錬平 ,  大塚 賢一 ,  黒田 雄一 ,  平野 雅輝 ,  宮下 直人 ,  三木 勉

IPC: C23C16/44 ,  H01L21/31 ,  H01L21/205

CPC classification number: C23C16/4412 ,  C23C16/24 ,  C23C16/4405 ,  C30B25/14 ,  C30B29/06 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/0262

公开(公告)号：JP2021153239A

公开(公告)日：2021-09-30

申请号：JP2020052570

申请日：2020-03-24

Applicant: 株式会社東芝 ,  東芝デバイス&ストレージ株式会社

Inventor： 大塚 賢一 ,  大塚 眞理

IPC: H04B5/02

Abstract: 【課題】信頼性を向上可能なアイソレータを提供する。 【解決手段】実施形態に係るアイソレータは、第1電極と、第2電極と、導電体と、第1絶縁層と、を備える。前記第2電極は、前記第1電極の上に設けられ、前記第1電極から離れている。前記導電体は、前記第1電極から前記第2電極に向かう第1方向に垂直な第1面に沿って、前記第1電極及び前記第2電極の周りに設けられている。前記第1絶縁層は、前記第2電極の上に設けられ、シリコン、炭素、及び窒素を含む。 【選択図】図1

公开(公告)号：JP2021048222A

公开(公告)日：2021-03-25

申请号：JP2019169302

申请日：2019-09-18

Applicant: 株式会社東芝 ,  東芝デバイス&ストレージ株式会社

Inventor： 大黒 達也 ,  織田 達広 ,  大塚 賢一

IPC: H01L23/532 ,  H01L21/822 ,  H01L27/04 ,  H04B5/00 ,  H01L21/3205 ,  H01L21/768

Abstract: 【課題】信頼性を向上できるデジタルアイソレータを提供する。 【解決手段】実施形態に係るデジタルアイソレータは、第1金属部と、第1絶縁部と、第2金属部と、第3金属部と、第1層と、を有する。前記第1絶縁部は、前記第1金属部の上に設けられている。前記第2金属部は、前記第1絶縁部の上に設けられている。前記第3金属部は、第1部分と、第2部分と、第3部分と、を有する。前記第1部分は、前記第1金属部から前記第2金属部へ向かう第1方向と垂直な方向において前記第1金属部の周りに設けられている。前記第2部分は、前記第1部分の一部の上に、タンタルを含む第1導電層を介して設けられている。前記第3部分は、前記第2部分の上に設けられ、前記垂直な方向において前記第2金属部の周りに設けられている。前記第1層は、前記第2部分の底部の周りに設けられ、前記第1導電層及び前記第1部分の別の一部と接する。前記第1層は、チタンを含む、又はシリコン及び炭素を含む。 【選択図】図2

公开(公告)号：JP2017053822A

公开(公告)日：2017-03-16

申请号：JP2015180055

申请日：2015-09-11

Applicant: 株式会社東芝

Inventor： 黒田 雄一 ,  平野 雅輝 ,  大塚 賢一

IPC: G01N15/06

CPC classification number: G01N15/1404 ,  G01N1/2205 ,  G01N1/2273 ,  G01N2001/2255

Abstract: 【課題】測定環境の変化を抑制しつつ、粒子の個数や濃度を正確に計測することができる粒子計測装置を提供する。 【解決手段】本実施形態による粒子計測装置は、第1気体を導入する第1供給部を備える。第2供給部は、濾過された第2気体を導入する。光源は、第1気体と第2気体との混合気体に光を照射する。光検知部は、混合気体からの反射光を検知し、混合気体に含まれる粒子数を計測する。ポンプは、混合気体を吸引する。 【選択図】図1

公开(公告)号：JP2017058164A

公开(公告)日：2017-03-23

申请号：JP2015181204

申请日：2015-09-14

Applicant: 株式会社東芝

Inventor： 平野 雅輝 ,  黒田 雄一 ,  大塚 賢一

IPC: G01N15/14 ,  G01N15/06

CPC classification number: G01N15/065 ,  G01N2015/0046

Abstract: 【課題】粒子の計測を開始した直後でも精度よく粒子濃度を検出する。 【解決手段】粒子検知装置は、流入口から取り込んだ粒子を含む気体を低温部から高温部にかけて輸送する間に、粒子に凝縮成分を凝縮成長させる凝縮成長部と、凝縮成長部の流出口から排出された気体に含まれる粒子の濃度を検知する粒子検知部と、単位体積当たりの粒子の径および数が既知の試験粒子を含む試験気体を凝縮成長部の流入口に供給する粒子供給部と、粒子検知部にて検知される試験気体に含まれる試験粒子の濃度が所定の値であるか否かを判定する第1判定部と、を備える。凝縮成長部は、試験粒子の濃度が所定の値であると判定されると、測定対象の気体を流入口から取り込んで、流出口まで輸送し、粒子検出部は、試験粒子の濃度が所定の値であると判定されると、流出口から排出された測定対象の気体中の粒子の濃度を検知する。 【選択図】図1

公开(公告)号：JP2016225411A

公开(公告)日：2016-12-28

申请号：JP2015108792

申请日：2015-05-28

Applicant: 株式会社東芝

Inventor： 中田 錬平 ,  大塚 賢一 ,  黒田 雄一 ,  平野 雅輝 ,  宮下 直人 ,  三木 勉

IPC: C23C16/44 ,  H01L21/31 ,  H01L21/205

CPC classification number: C23C16/4412 ,  C23C16/24 ,  C23C16/4405 ,  C30B25/14 ,  C30B29/06 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/0262

Abstract: 【課題】液化した排出ガスを効率的に除去し、排気管または排気ポンプの閉塞や故障を抑制することができる成膜装置を提供する。 【解決手段】成膜チャンバ1に接続され、排出ガスを成膜チャンバ1から導出する第1配管部10(冷却部)は、排出ガスの移動方向に対して垂直方向の断面において第1開口面積S10を有し、第2配管部20は、第1配管部10と、第1配管部10において液化した排出ガスを排液する排液部40との間に設けられ、排出ガスの移動方向に対して垂直方向の断面おいて第1開口面積S10よりも小さい第2開口面積S20を有する。 【選択図】図1

Abstract translation: 甲液化废气有效地去除，以提供一种能够抑制排气管或排气泵的堵塞或失效的膜形成装置。 A被连接到沉积室1中，第一管部10（冷却单元），用于从成膜室1，第一开口区域中的横截面的垂直方向相对于排气的移动方向导出的排气 已经S10中，第二管部20，第一管部10设置在排水部40之间设置用于在第一管部10，排气的移动方向上的液化排出的废气 的第二开口面积S20比第一开口面积较小S10保持针对垂直截面。 点域1