公开(公告)号：JP5736003B2

公开(公告)日：2015-06-17

申请号：JP2013101200

申请日：2013-05-13

Applicant: 株式会社荏原製作所

Inventor： 中筋 護 ,  野路 伸治 ,  佐竹 徹 ,  金馬 利文 ,  曽布川 拓司 ,  狩俣 努 ,  大和田 伸 ,  吉川 省二 ,  西藤 睦

IPC: H01L21/66 ,  G01N23/223 ,  H01L21/683

CPC classification number: G01N23/225 ,  H01J37/06 ,  H01J37/073 ,  H01J37/185 ,  H01J37/20 ,  H01J37/222 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/082 ,  H01J2237/202 ,  H01J2237/20228 ,  H01J2237/204 ,  H01J2237/22 ,  H01J2237/24564 ,  H01J2237/2806 ,  H01J2237/2816 ,  H01J2237/2817