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公开(公告)号：JP2018028412A
公开(公告)日：2018-02-22
申请号：JP2016160874
申请日：2016-08-18
Applicant: 株式会社荏原製作所
IPC: F23G7/06
Abstract: 【課題】燃料と支燃性ガスと処理ガスを燃焼室の内周面の接線方向に吹き込むことにより、燃料と支燃性ガスと処理ガスの三種を混焼して燃焼効率の高いガス処理を行うことができ、サーマルNOxの発生やCOの発生を抑制することができる排ガス処理装置を提供する。 【解決手段】処理ガスを燃焼する燃焼室1は、一端部が閉塞され他端部が開口した円筒容器状の燃焼室1として構成され、燃焼室1は、燃料と支燃性ガスと処理ガスとをそれぞれ燃焼室1の内周面の接線方向に向けて吹き込む燃料用ノズル3Aと支燃性ガス用ノズル3Bと処理ガス用ノズル3Cとを備え、燃料用ノズル3Aと処理ガス用ノズル3Cは、燃焼室1の軸線に直交する同一平面上に位置し、支燃性ガス用ノズル3Bは、燃焼室1の軸線方向において燃料用ノズル3Aおよび処理ガス用ノズル3Cの位置よりも燃焼室1の一端部からより離間した位置に配置されている。 【選択図】図6
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公开(公告)号：JP2020119934A
公开(公告)日：2020-08-06
申请号：JP2019007698
申请日：2019-01-21
Applicant: 株式会社荏原製作所
IPC: H01L21/31 , H01L21/205 , C23C16/44 , H01L21/3065
Abstract: 【課題】プロセスチャンバに供給された希ガスを回収して、再利用することができる希ガス回収システムを提供する。 【解決手段】希ガス回収システムは、基板を処理するために希ガスおよびプロセスガスが供給されるプロセスチャンバ1を排気し、かつパージガスとして不活性ガスが供給される真空ポンプユニット3と、真空ポンプユニット3から排出された排ガスから、希ガスおよび不活性ガス以外の成分を除去する排ガス処理装置5と、排ガス処理装置5から排出された希ガスと不活性ガスを互いに分離するガス分離ユニット7と、ガス分離ユニット7で分離された希ガスを、プロセスチャンバ1に戻す希ガスリターンライン30と、を備える。 【選択図】図1
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JP2017211100A
公开(公告)日：2017-11-30
申请号：JP2016102379
申请日：2016-05-23
Applicant: 株式会社荏原製作所
IPC: F23G7/06
Abstract: 【課題】混焼旋回の燃焼式排ガス処理装置において水と反応して固形物を生成する物質を処理する際に、燃焼室の閉塞を防止することができる排ガス処理装置および方法を提供することを目的とする。 【解決手段】処理ガスを燃焼処理して無害化する排ガス処理装置において、一端が閉塞され他端が開口した円筒容器状をなし、処理ガスを燃焼する燃焼室1と、燃焼室1の上部壁面に設置され、燃焼室の内周面に水膜を形成するための水供給ノズル5と、燃焼室1の内周面に形成される水膜の上端部およびその周辺に向けてパージガスを吹き込むパージガス吹き込み部7とを備えている。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2017013027A
公开(公告)日：2017-01-19
申请号：JP2015135140
申请日：2015-07-06
Applicant: 株式会社荏原製作所
CPC classification number: B01D53/78 , B01D47/06 , B01D53/38 , H02K5/128 , H02K5/1672 , B01D2258/0216 , H02K1/32 , H02K7/14
Abstract: 【課題】ケーシング内部に吸引された気体によってモータが損傷するのを抑制することができるファンスクラバー、及び、真空ポンプ装置を提供する。 【解決手段】気体吸入口22aおよび気体吐出口22bを有するケーシング22と、ケーシング22内に配置されるファン24と、ケーシング22内に液体を噴出するノズル27と、ファン24に接続されたキャンドモータ30と、を備え、キャンドモータ30は、ファン24に接続された主軸31、主軸31と一体に回転するロータ32、ロータ32の外周に配置されたステータ33、ロータ32とステータ33とを収容するモータケーシング40、及び、モータケーシング40内でロータ32が配置されるロータ室48とステータ33が配置されるステータ49室とを区画するキャン50、を有するファンスクラバー。 【選択図】図2
Abstract translation: 风扇洗涤器可以是电动机由吸入空气到内壳可从损伤被抑制，并提供一种真空泵装置。 和壳体22，其具有气体入口22a和气体排出口22b中，设置在壳体22中的风扇24，用于在套管22喷射液体的喷嘴27，密封电机连接到风扇24 30，包括一个密封电机30，主轴31连接到风扇24，转子32，33被设置在转子32的外周，其与主轴31，其容纳在转子32与定子一起旋转定子33 马达壳体40中，具有罐50，其分隔所述定子49周的住宿转子室48和定子33转子32被设置被设置在马达壳体40内的风扇洗涤器。 .The
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公开(公告)号：JP2020059002A
公开(公告)日：2020-04-16
申请号：JP2018193042
申请日：2018-10-12
Applicant: 株式会社荏原製作所
Abstract: 【課題】配管の壁面の腐食に起因する装置の性能低下や装置全体の故障を抑制できる除害装置を提供する。 【解決手段】本発明に係る除害装置100は、処理ガスが流れる流路103を形成する内壁104を有する除害装置100であって、流路103の一部を形成する第1の配管130と、流路103の一部を形成し、第1の配管130よりも流路103の下流側に位置して第1の配管130に繋がり、内壁104に付着した固体生成物を除去する洗浄水を散水する一段目散水部174を有する交換可能な、配管部170と、流路103の一部を形成し、配管部170よりも流路103の下流側に位置して配管部170に繋がる第2の配管150と、を備える。 【選択図】図3
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公开(公告)号：JP2017223215A
公开(公告)日：2017-12-21
申请号：JP2017057560
申请日：2017-03-23
Applicant: 株式会社荏原製作所
Abstract: 【課題】メンテナンスが容易な除害システムを提供する。 【解決手段】ツール(200)からの排ガスを真空排気するドライポンプ(1)と、前記ドライポンプ(1)によって真空排気された排ガスを除害する除害部(2)と、前記ドライポンプ(1)と前記除害部(2)とを着脱不能に直結する流路(3)と、を備える除害機能付ドライ真空ポンプ(100)が提供される。 【選択図】図1
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