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公开(公告)号：JP2016028248A
公开(公告)日：2016-02-25
申请号：JP2015187508
申请日：2015-09-24
Applicant: 株式会社荏原製作所
IPC: G01N23/203 , G01N23/22 , H01J37/295 , H01J37/09 , H01J37/244 , G01N23/225
CPC classification number: H01J37/28 , H01J37/22 , H01J37/244 , H01J37/29 , H01J2237/24475 , H01J2237/24585 , H01J2237/24592 , H01J2237/2805 , H01J2237/2806 , H01J2237/2817 , H01L22/12
Abstract: 【課題】電子ビームを用いて試料を観察する試料観察装置を提供する。 【解決手段】試料20に1次電子ビームを照射する1次光学系と、1次電子ビームの照射によって生じ試料20の情報を得た2次電子ビームを検出する検出器70と、2次電子ビームを検出器70に結像させる2次光学系と、検出器70にて検出された2次電子ビームから試料20の画像を生成する画像生成手段とを含む。2次光学系は、調整可能なNAアパーチャ62を含む。 【選択図】図23
Abstract translation: 要解决的问题：提供一种通过使用电子束观察样品的样本观察装置。解决方案：样本观察装置包括：用于用一次电子束照射样本20的一次光学系统; 检测器70，用于检测通过一次电子束的照射产生并且具有样品20的信息的二次电子束; 用于将二次电子束聚焦在检测器70上的二次光学系统; 以及用于从由检测器70检测到的二次电子束产生样品20的图像的图像产生装置。次级光学系统包括可调节的NA孔径62。选择的图示：图23
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公开(公告)号：JP2016106374A
公开(公告)日：2016-06-16
申请号：JP2016040808
申请日：2016-03-03
Applicant: 株式会社荏原製作所
IPC: H01J37/29 , H01J37/09 , H01J37/244 , H01L21/66 , H01J37/20
CPC classification number: H01J37/22 , H01J37/265 , H01J37/29 , H01J2237/004 , H01J2237/022 , H01J2237/24495 , H01J2237/24564 , H01J2237/2817
Abstract: 【課題】試料表面に異物が付着することを極力防止することができる電子線検査装置を提供する。 【解決手段】試料200を配置したステージ100が真空排気可能な真空チャンバ112の内部に設置されており、該試料200の周囲を包囲する位置に集塵電極122が配置されている。集塵電極122には、試料200に印加される電圧と同じ極性で絶対値が等しいかそれ以上の電圧が印加される。これにより、集塵電極122にパーティクル等の異物が付着するので、試料表面への異物付着を低減することができる。集塵電極を用いる代わりに、ステージを包含する真空チャンバの壁面に凹みを形成するか、又は、所定の電圧が印加されるメッシュ構造の金属製平板を壁面に敷設してもよい。また、中央に貫通孔124aを有する隙間制御板124を試料200及び集塵電極122の上方に間隙制御板124を配置することにより、異物付着をより低減することができる。 【選択図】図3
Abstract translation: 要解决的问题：提供一种能够尽可能防止异物附着到试样表面的电子束检查装置。解决方案：将放置样品200的载物台100设置在真空室112的内部，该真空室112可被抽真空 并将集尘电极122配置在样品200周围的位置。集尘电极122被施加与施加到样品200的电压相同极性的电压，绝对值为 等于或大于电压。 因此，由于诸如颗粒的异物粘附到集尘电极122，所以可以减少异物附着到样品表面。 代替使用集尘电极，可以在包含载物台的真空室的壁表面上形成凹部，或者在壁表面上设置具有施加了预定电压的网格结构的金属板。 此外，通过在样品200上方的间隙控制板124和集尘电极122，间隙控制板124的中心具有通孔124a，可以进一步降低异物的附着。图3
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公开(公告)号：JP5815627B2
公开(公告)日：2015-11-17
申请号：JP2013203667
申请日：2013-09-30
Applicant: 株式会社荏原製作所
IPC: H01J37/20 , H01J37/29 , H01J37/244 , H01J37/09 , H01J37/22 , H01J37/28 , G01N23/225
CPC classification number: H01J37/28 , H01J37/22 , H01J37/244 , H01J37/29 , H01J2237/24475 , H01J2237/24585 , H01J2237/24592 , H01J2237/2805 , H01J2237/2806 , H01J2237/2817 , H01L22/12
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JP2015227618A
公开(公告)日：2015-12-17
申请号：JP2014112480
申请日：2014-05-30
Applicant: 株式会社荏原製作所
IPC: C23C16/44 , B01D53/68 , B01D53/77 , H01L21/31 , H01L21/205 , H01L21/3065 , F04B37/16
Abstract: 【課題】設置スペースおよびコストを削減することができる真空排気システムを提供する。 【解決手段】真空排気システムは、複数の処理チャンバ1から気体を排気するための真空装置である。真空排気システムは、複数の処理チャンバ1にそれぞれ接続される複数の第1真空ポンプ5と、複数の第1真空ポンプ5に接続された集合管7と、集合管7に接続された第2真空ポンプ8とを備える。 【選択図】図1
Abstract translation: 要解决的问题：提供可以减少安装空间和成本的抽空系统。解决方案：排气系统是用于从多个处理室1排出气体的真空装置。排气系统包括：多个第一真空泵 5分别连接到多个处理室1; 连接到多个第一真空泵5的收集管7; 和与收集管7连接的第二真空泵8。
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公开(公告)号：JP5897841B2
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：JP2011169040
申请日：2011-08-02
Applicant: 株式会社荏原製作所
IPC: H01L21/66 , H01J37/29 , H01J37/28 , H01J37/244 , H01J37/20
CPC classification number: H01J37/22 , H01J37/265 , H01J37/29 , H01J2237/004 , H01J2237/022 , H01J2237/24495 , H01J2237/24564 , H01J2237/2817
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公开(公告)号：JP6091573B2
公开(公告)日：2017-03-08
申请号：JP2015187508
申请日：2015-09-24
Applicant: 株式会社荏原製作所
IPC: G01N23/203 , G01N23/22 , H01J37/295 , H01J37/09 , H01J37/244 , G01N23/225
CPC classification number: H01J37/28 , H01J37/22 , H01J37/244 , H01J37/29 , H01J2237/24475 , H01J2237/24585 , H01J2237/24592 , H01J2237/2805 , H01J2237/2806 , H01J2237/2817 , H01L22/12
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公开(公告)号：JP5771256B2
公开(公告)日：2015-08-26
申请号：JP2013206146
申请日：2013-10-01
Applicant: 株式会社荏原製作所
IPC: G01N23/22 , G01N23/225 , H01J37/22 , H01J37/29 , H01L21/027 , G01N23/203
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