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    容量式MEMSセンサ
    2.
    发明专利
    容量式MEMSセンサ 有权

    公开(公告)号：JP2017075797A

    公开(公告)日：2017-04-20

    申请号：JP2015202141

    申请日：2015-10-13

    Applicant: 株式会社豊田中央研究所

    Inventor： 明石 照久 ,  藤吉 基弘 ,  船橋 博文 ,  大村 義輝 ,  橋本 昭二 ,  大平 喜恵

    IPC: G01P15/125 ,  G01P15/18 ,  G01P15/08 ,  G01C19/5747 ,  G01C19/5762

    Abstract: 【課題】段違いの櫛歯電極を有するMEMSセンサにおいて、櫛歯電極間の段差量のばらつきや経時的変化を抑制することが可能な技術を提供する。 【解決手段】本明細書が開示するMEMSセンサは、第1基板と、第1基板に接合された第2基板を備えている。そのMEMSセンサは、第1基板に、第1櫛歯電極と、第1櫛歯電極と噛み合うように配置された第2櫛歯電極と、第1櫛歯電極を支持する受圧部と、受圧部を支持する支持部を備えており、第2基板に、受圧部に対応する押圧部を備えている。そのMEMSセンサは、受圧部および押圧部の一方に、受圧部および押圧部の他方に向けて突出する突起部を備えている。そのMEMSセンサでは、押圧部が突起部を介して受圧部を押圧することで支持部が変形しており、第1櫛歯電極と第2櫛歯電極が段違いに配置されている。 【選択図】図2

    MEMS構造体
    6.
    发明专利
    MEMS構造体 审中-公开

    公开(公告)号：JP2021076424A

    公开(公告)日：2021-05-20

    申请号：JP2019201706

    申请日：2019-11-06

    Applicant: 株式会社豊田中央研究所 ,  株式会社デンソー

    Inventor： 藤塚 徳夫 ,  藤吉 基弘 ,  島岡 敬一 ,  明石 照久 ,  船橋 博文 ,  畑 良幸 ,  後藤 勝昭 ,  原田 翔太

    IPC: G01P15/125 ,  G01P15/08 ,  G01C19/5755 ,  H01L29/84 ,  B81B3/00 ,  G01C19/5769

    Abstract: 【課題】回路基板等の熱変形による応力を緩和可能なMEMS構造体を提供する。 【解決手段】MEMS構造体は、平板部と、MEMSセンサと、支持枠体と、支持部と、キャップ部と、基板と、を備える。MEMSセンサは、平板部の表面に形成されている。支持枠体は、平板部を垂直上方からみたときに平板部の周囲を取り囲むように配置されている。支持部は、平板部の外周部と支持枠体の内周部との一部を接続する梁形状の支持部である。支持部は、平板部またはMEMSセンサを構成している材料と同一材料で構成されており、平板部を空中に支持する。キャップ部は、支持枠体の上部を塞ぐ。キャップ部は、平板部の表面とキャップ部の底面との間に第1の空間を形成する。基板は、支持枠体の下部を塞ぐ。基板は、平板部の底面と基板の表面との間に第2の空間を形成する。第1の空間および第2の空間の気密性が保たれている。 【選択図】図1

    MEMS装置
    9.
    发明专利
    MEMS装置 有权

    公开(公告)号：JP2017111003A

    公开(公告)日：2017-06-22

    申请号：JP2015245383

    申请日：2015-12-16

    Applicant: 株式会社豊田中央研究所

    Inventor： 藤吉 基弘 ,  明石 照久 ,  船橋 博文 ,  大村 義輝 ,  橋本 昭二 ,  大平 喜恵

    IPC: B81B3/00 ,  H01L29/84 ,  G01C19/5755

    Abstract: 【課題】対向電極対とスライド電極によって可動部を励振可能なMEMS装置において、可動部が他軸に励振されることを抑制することが可能な技術を提供する。 【解決手段】本明細書が開示するMEMS装置は、基板と、基板に対して弾性的に支持されている第1可動部と、第1対向電極対と第1スライド電極を備える第1電極構造と、第2対向電極対と第2スライド電極を備える第2電極構造を備えている。第1対向電極対および第1スライド電極の一方は、第1可動部に対してスライド方向に移動不能である。第2対向電極対および第2スライド電極の一方は、第1可動部に対してスライド方向に移動不能である。スライド方向に関して、第1スライド電極は第1対向電極対に対してオフセットして配置されており、第2スライド電極は第2対向電極対に対してオフセットせずに配置されている。 【選択図】図1

    受信データ復元装置
    10.
    发明专利
    受信データ復元装置 有权
    接收数据恢复设备

    公开(公告)号：JP2016122901A

    公开(公告)日：2016-07-07

    申请号：JP2014260691

    申请日：2014-12-24

    Applicant: 国立大学法人東北大学 ,  トヨタ自動車株式会社 ,  株式会社豊田中央研究所

    Inventor： トラビス バートレイ ,  室山 真徳 ,  田中 秀治 ,  中山 貴裕 ,  山口 宇唯 ,  山田 整 ,  野々村 裕 ,  船橋 博文 ,  畑 良幸

    IPC: H04L7/08

    Abstract: 【課題】ノイズの影響を受けず、高精度のクロックが不要な受信データ復元装置を提供する。 【解決手段】先頭にプリアンブルが付与されたデジタル信号を受信して、当該デジタル信号を復元する受信機1であって、前記プリアンブルの受信期間中の受信機1のクロックカウント数、および前記プリアンブルの長さから、受信機1のオーバーサンプリング率βを算出するβ演算器14と、オーバーサンプリング率βに基づいて、復元対象となる1ビットのデータを抽出するための時間幅であるサンプリング窓時間T0・T1・T2を算出する窓時間演算器15と、を具備する。 【選択図】図3

    Abstract translation: 要解决的问题：提供不受噪声影响的接收数据恢复装置，并且不需要高精度时钟。解决方案：用于接收在头部具有前导码并且恢复数字信号的数字信号的接收机1包括 β计算单元14，用于在前导码的接收周期期间从接收机1的时钟计数的数量和前导码的长度计算接收机1的过采样率β，以及窗口时间计算单元15，用于计算 采样窗口时间T0 T1 T2，即基于过采样率β提取1位数据成为恢复对象的时间宽度。图3

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