サーミスタ薄膜、サーミスタ薄膜を有するサーミスタ素子およびその製造方法

    公开(公告)号:JP2020087947A

    公开(公告)日:2020-06-04

    申请号:JP2018214236

    申请日:2018-11-14

    Abstract: 【課題】高周波域においても良好なサーミスタ特性を有する本発明のサーミスタ薄膜およびサーミスタ素子の提供。また、このようなサーミスタ薄膜およびサーミスタ素子を工業的有利に得ることができる製造方法の提供。 【解決手段】第1電極の上に、サーミスタ薄膜を形成する工程、前記サーミスタ薄膜の第1電極側の面の反対側に、第2電極を形成する工程を経て、膜厚1μm以下のサーミスタ薄膜と、前記サーミスタ薄膜の第1面側に配置されている第1電極と、前記サーミスタ薄膜の第1面の反対側に位置している第2面側に配置されている第2電極と、を有することを特徴とするサーミスタ素子。 【選択図】なし

    カーボンナノチューブ含有膜の成膜方法

    公开(公告)号:JP2019189503A

    公开(公告)日:2019-10-31

    申请号:JP2018086388

    申请日:2018-04-27

    Abstract: 【課題】良質なカーボンナノチューブ含有膜を工業的有利に形成でき、さらに、容易に蛍光ピーク波長の調整が可能である新規な成膜方法を提供する。 【解決手段】カーボンナノチューブと溶媒とを少なくとも含む原料溶液4aを反応させてカーボンナノチューブ含有膜を成膜する方法において、前記原料溶液を霧化し(霧化工程)、得られたミスト4bにキャリアガスを供給し、該キャリアガスでもって前記ミストを基体まで搬送し(搬送工程)、ついで、前記基体上で前記ミストを反応させる(成膜工程)ことにより該基体上にカーボンナノチューブ含有膜を形成する。 【選択図】図1

    処理方法
    4.
    发明专利
    処理方法 审中-公开

    公开(公告)号:JP2019119931A

    公开(公告)日:2019-07-22

    申请号:JP2018242166

    申请日:2018-12-26

    Abstract: 【課題】霧化または液滴化が困難な材料を用いた場合であっても、良好且つ安定的に基体を処理することができる新規な処理方法を提供する。 【解決手段】溶媒と処理剤とを少なくとも含む原料溶液4aを霧化または液滴化してミストまたは液滴4bを発生させる霧化・液滴化工程と、キャリアガス2aをミストまたは液滴4bに供給し、該キャリアガス2aでもってミストまたは液滴4bを基体10まで搬送する搬送工程と、ミストまたは液滴4bを基体10上で熱反応させる反応工程とを含む処理方法において、前記霧化・液滴化工程の前に、原料溶液4aにホモジナイズ処理を行い、さらに、前記熱反応を前記溶媒の沸点以上の温度で行って、基体を処理する処理方法。 【選択図】図1

    サーミスタ膜、サーミスタ膜を有するサーミスタ素子およびその製造方法

    公开(公告)号:JP2020087949A

    公开(公告)日:2020-06-04

    申请号:JP2018214238

    申请日:2018-11-14

    Abstract: 【課題】高周波域においても良好なサーミスタ特性を有するサーミスタ膜およびサーミスタ素子並びにこのようなサーミスタ膜およびサーミスタ素子を工業的有利に得ることができる製造方法を提供する。 【解決手段】サーミスタ素子100の製造方法は、第1電極51の上に、結晶性酸化物を含み、結晶性酸化物が一軸に配向している結晶を有しており、結晶の大きさが1μm角以上であるサーミスタ膜50を形成する工程及びサーミスタ膜50の第1電極側の面の反対側に、第2電極52を形成する工程を含む。サーミスタ素子100は、サーミスタ膜50と、サーミスタ膜50の第1面側に配置されている第1電極51と、サーミスタ膜50の第1面の反対側に位置している第2面側に配置されている第2電極52と、を有する。 【選択図】図1

    光導波路の製造方法
    6.
    发明专利

    公开(公告)号:JP2019191462A

    公开(公告)日:2019-10-31

    申请号:JP2018086390

    申请日:2018-04-27

    Abstract: 【課題】透明性等の光学特性に優れた光導波路を、少ない工程で簡単且つ容易に得ることができる新規な光導波路の製造方法を提供する。 【解決手段】少なくともコア層とクラッド層とを形成して導波路を製造する方法であって、コア層およびクラッド層の形成を、コア層の前駆体を含む原料溶液14aおよびクラッド層の前駆体を含む原料溶液4aをそれぞれ霧化または液滴化し(霧化・液滴化工程)、得られたそれぞれのミストまたは液滴を基体10上で熱反応させる(成膜工程)ことにより光導波路を製造する。 【選択図】図1

    蛍光波長の調整方法
    7.
    发明专利

    公开(公告)号:JP2019189796A

    公开(公告)日:2019-10-31

    申请号:JP2018086389

    申请日:2018-04-27

    Abstract: 【課題】 蛍光体膜の蛍光ピーク波長を容易に調整することができる新規な蛍光波長の調整方法を提供する。 【解決手段】蛍光体の前駆体から形成される蛍光体膜の蛍光波長を調整する方法であって、前記蛍光体膜の蛍光波長の調整を、蛍光体の前駆体から形成される蛍光体膜の蛍光波長を調整する方法であって、前記蛍光体膜の蛍光波長の調整を、前記前駆体および溶媒を含む原料溶液を霧化し(霧化工程)、得られたミストを基体上で反応させて前記蛍光体膜を成膜する(成膜工程)際の溶媒により行う。 【選択図】なし

    色素の担持方法および電子装置または電子部品の製造方法

    公开(公告)号:JP2020104085A

    公开(公告)日:2020-07-09

    申请号:JP2018248389

    申请日:2018-12-28

    Abstract: 【課題】担持速度を格段に向上させつつ、基体に対して色素を均一且つ良好に担持させることができる新規な成膜方法を提供する。 【解決手段】色素を基体14に接触させることにより前記基体に前記色素を担持させる方法であって、前記接触を、減圧下(例えば、100Pa〜90000Pa)で前記色素と非プロトン性極性溶媒(例えば、ジメチルホルムアミド)とを含む原料溶液18に前記基体を含浸させることにより行って、色素を基体に担持させる。 【選択図】図2

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