公开(公告)号：JP5901942B2

公开(公告)日：2016-04-13

申请号：JP2011245922

申请日：2011-11-09

Applicant: 国立研究開発法人科学技術振興機構 ,  セイコーエプソン株式会社

Inventor： 下田 達也 ,  金田 敏彦

IPC: H01L41/22 ,  H01L41/09 ,  H01L41/18 ,  H01L21/8246 ,  H01L27/105 ,  H01L21/336 ,  H01L29/788 ,  H01L29/792 ,  H01L29/786 ,  H01L21/822 ,  H01L27/04 ,  H01L41/187 ,  B28B3/00 ,  B28B11/10

CPC classification number: H01L27/1255 ,  B41J2/161 ,  B41J2/1623 ,  B41J2/1628 ,  B41J2/1629 ,  B41J2/1637 ,  B41J2/1645 ,  H01L21/67098 ,  H01L27/10805 ,  H01L27/10873 ,  H01L27/1262 ,  H01L27/127 ,  H01L29/7869 ,  H01L41/0973 ,  H01L41/317 ,  H01L41/332 ,  H01L45/1206 ,  H01L45/1226 ,  H01L45/147 ,  H01L45/1608 ,  H01L21/28291 ,  H01L28/55 ,  H01L29/78391