樹脂マスク剥離用洗浄剤組成物
    1.
    发明专利

    公开(公告)号:JP2019117331A

    公开(公告)日:2019-07-18

    申请号:JP2017251895

    申请日:2017-12-27

    Inventor: 西 勲

    Abstract: 【課題】一態様において、樹脂マスク除去性に優れ、排水処理負荷の小さい、樹脂マスク剥離用洗浄剤組成物の提供。 【解決手段】本開示は、一態様において、無機アルカリ(成分A)、多価アルコール(成分B)、成分B以外の有機溶剤(成分C)及び水(成分D)を含有し、成分Cのハンセン溶解度パラメータの座標が、δd=17.5、δp=5.0、δh=11.5を中心とする半径1.5MPa 0.5 の球の範囲内であり、洗浄剤組成物の使用時における成分Dの含有量が80質量%以上である、樹脂マスク剥離用洗浄剤組成物に関する。 【選択図】なし

    樹脂マスク剥離用洗浄剤組成物
    3.
    发明专利

    公开(公告)号:JP2018041033A

    公开(公告)日:2018-03-15

    申请号:JP2016176651

    申请日:2016-09-09

    Inventor: 西 勲

    CPC classification number: B08B3/08 C11D7/04 C11D7/26 C11D17/08 G03F7/42 H01L21/027

    Abstract: 【課題】樹脂マスク除去性に優れ、排水処理負荷の小さい樹脂マスク剥離用洗浄剤組成物の提供。 【解決手段】本開示は、一態様において、無機アルカリ(成分A)、有機溶剤(成分B)及び水(成分C)を含有し、 成分Bのハンセン溶解度パラメータの座標が、δd=17.5、δp=5.0、δh=11.5を中心とする半径1.5MPa 0.5 の球の範囲内であり、 洗浄剤組成物の使用時における成分Cの含有量が、85質量%以上であり、 成分Bに対する成分Aの質量比(A/B)が、1以上60以下である、樹脂マスク剥離用洗浄剤組成物に関する。 【選択図】なし

    洗浄剤組成物
    6.
    发明专利
    洗浄剤組成物 有权
    洗涤剂组合物

    公开(公告)号:JP2015120817A

    公开(公告)日:2015-07-02

    申请号:JP2013265254

    申请日:2013-12-24

    Inventor: 西 勲

    Abstract: 【課題】一又は複数の実施形態において、基板上に残留する異物の洗浄性に優れ、基板の表面粗さの悪化が抑制されうるハードディスク基板用洗浄剤組成物を提供する。 【解決手段】一又は複数の実施形態において、炭素数6〜18の直鎖アルキル基又は分岐鎖アルキル基を有するアルキルジフェニルエーテルジスルホン酸又はその塩(A)、キレート剤(B)、アルカリ金属の水酸化物(C)及び水を含有するハードディスク基板用洗浄剤組成物に関する。 【選択図】なし

    Abstract translation: 要解决的问题:根据一个或多个实施方案,提供一种用于硬盘基材的洗涤剂组合物,其具有优异的残留在基材上的异物的可洗性,并且能够抑制基材表面粗糙度的劣化。 一个或多个实施方案涉及含有碳数为6-18的直链烷基或支链烷基或其盐(A)的烷基二苯基醚二磺酸的硬盘基材的洗涤剂组合物; 螯合剂(B); 碱金属氢氧化物(C); 和水。

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