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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR20210030531A
公开(公告)日：2021-03-18
申请号：KR1020190111397A
申请日：2019-09-09
Applicant: 한국기계연구원 , 한국기초과학지원연구원
Abstract: 본 발명은 진공챔버 외부에 배치되는 홀더의 콤팩트한 구조를 만족하면서도 진공챔버 내부의 진공압이 홀더 측으로 누설되는 것을 차단할 수 있는 전자현미경의 샘플홀더 기밀장치를 제공함에 있다. 이를 위한 본 발명은 진공챔버에 결합되는 가이드컬럼; 및 샘플이 마련되는 팁이 구비되고, 상기 가이드컬럼을 관통하여 상기 팁이 상기 진공챔버의 내측으로 삽입되는 홀더;를 포함하고, 상기 가이드컬럼의 내면에 결합되고, 상기 홀더의 외면을 접촉 지지하며, 상기 진공챔버 내부의 진공압이 상기 가이드컬럼 및 상기 홀더 사이로 누설되는 것을 차단하는 기밀커넥터;를 더 포함하는 특징을 개시한다.
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2.发明专利
公开(公告)号：KR20210025149A
公开(公告)日：2021-03-09
申请号：KR1020190104315A
申请日：2019-08-26
Applicant: 한국기계연구원
CPC classification number: G03F7/0002 , G03F7/168 , G03F7/2004 , G03F7/2012 , G03F7/34 , H01L21/027 , H01L24/27
Abstract: 본 발명의 일실시예는 개구부의 입구가 상대적으로 더 좁은 패턴을 제작할 수 있는 나노 임프린팅 패턴 제작 방법 및 이에 의해 제작되는 나노 임프린팅 패턴을 제공한다. 여기서, 나노 임프린팅 패턴 제작 방법은 제1기판상에 폴리머 레진을 도포하는 단계와, 베이스부로 갈수록 단면적이 증가하는 형상의 제1패턴부가 형성된 스탬프를 마련하는 단계와, 스탬프로 폴리머 레진을 가압하고 폴리머 레진을 경화시켜, 폴리머 레진에 제1기판으로 갈수록 단면적이 증가하는 기본패턴과, 제1기판상에 밀착되도록 마련되고 기본패턴의 하부를 연결하는 잔류층을 가지는 제2패턴부가 형성되도록 하는 단계와, 스탬프를 제거하는 단계와, 제2패턴부의 상부에 제2기판을 밀착하고, 제2패턴부를 제2기판으로 전사하는 단계와, 잔류층을 제거하여 제2기판으로 갈수록 단면적이 감소하는 역형상 패턴이 남도록 하는 단계를 포함한다.
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公开(公告)号：KR20210025161A
公开(公告)日：2021-03-09
申请号：KR1020190104601A
申请日：2019-08-26
Applicant: 한국기계연구원
CPC classification number: A61B5/6821 , A61B5/24 , G02C11/10 , G02C7/049
Abstract: 본 발명의 일실시예는 높은 전력을 공급할 수 있으며, 전자장치의 설치면적을 줄여 초소형화 할 수 있는 안과용 렌즈 및 이의 제조방법을 제공한다. 여기서, 안과용 렌즈는 렌즈몸체부, 에너지 저장부, 절연커버부 그리고 센싱부를 포함한다. 렌즈몸체부는 착용자의 안구에 구비되며, 일면에 가장자리를 따라 형성되는 설치홈을 가진다. 에너지 저장부는 렌즈몸체부의 설치홈의 적어도 일부 영역에 삽입되어 마련된다. 절연커버부는 설치홈을 막아 에너지 저장부가 설치홈으로부터 유출되지 않도록 한다. 센싱부는 설치홈의 적어도 다른 일부 영역에 마련되고, 에너지 저장부로부터 전기를 전달받으며, 착용자의 생체정보를 감지한다.
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公开(公告)号：KR20210025140A
公开(公告)日：2021-03-09
申请号：KR1020190104167A
申请日：2019-08-26
Applicant: 한국기계연구원
IPC: H01L21/67
CPC classification number: H01L21/67144 , H01L21/67098 , H01L21/67259
Abstract: 본 발명은 타겟기판에 마이크로 소자가 안정적이고 균일하게 전사되도록 하여 공정의 수율을 개선할 수 있는 마이크로 소자 전사 장치를 제공함에 있다. 이를 위한 본 발명은 타겟기판에 마이크로 소자를 부착하는 마이크로 소자 전사 장치로서, 상기 타겟기판이 접촉 지지되는 제1 열접촉면이 형성된 제1 히팅블록을 구비하는 제1 히터유닛; 상기 마이크로 소자를 포함한 캐리어필름이 접촉 지지되는 제2 열접촉면이 형성된 제2 히팅블록을 구비하는 제2 히터유닛; 및 상기 제1 히터유닛과 연결되며, 상기 제1 히팅블록 및 상기 제2 히팅블록이 일직선 상에서 서로 마주하여 대향하도록 상기 제1 히터유닛의 위치를 정렬시키기 위한 제1 이동플랫폼;을 포함하는 특징을 개시한다.
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公开(公告)号：KR102230702B1
公开(公告)日：2021-03-23
申请号：KR1020190104315A
申请日：2019-08-26
Applicant: 한국기계연구원
CPC classification number: G03F7/0002 , G03F7/168 , G03F7/2004 , G03F7/2012 , G03F7/34 , H01L21/027 , H01L24/27
Abstract: 본 발명의 일실시예는 개구부의 입구가 상대적으로 더 좁은 패턴을 제작할 수 있는 나노 임프린팅 패턴 제작 방법 및 이에 의해 제작되는 나노 임프린팅 패턴을 제공한다. 여기서, 나노 임프린팅 패턴 제작 방법은 제1기판상에 폴리머 레진을 도포하는 단계와, 베이스부로 갈수록 단면적이 증가하는 형상의 제1패턴부가 형성된 스탬프를 마련하는 단계와, 스탬프로 폴리머 레진을 가압하고 폴리머 레진을 경화시켜, 폴리머 레진에 제1기판으로 갈수록 단면적이 증가하는 기본패턴과, 제1기판상에 밀착되도록 마련되고 기본패턴의 하부를 연결하는 잔류층을 가지는 제2패턴부가 형성되도록 하는 단계와, 스탬프를 제거하는 단계와, 제2패턴부의 상부에 제2기판을 밀착하고, 제2패턴부를 제2기판으로 전사하는 단계와, 잔류층을 제거하여 제2기판으로 갈수록 단면적이 감소하는 역형상 패턴이 남도록 하는 단계를 포함한다.
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