公开(公告)号：KR20210033055A

公开(公告)日：2021-03-25

申请号：KR1020217007409A

申请日：2019-08-12

申请人： 허니웰 인터내셔날 인코포레이티드

发明人： 재연 김 ,  패트릭 언더우드 ,  수잔 디. 스트로더스 ,  시-야오 린 ,  마이클 디. 페이톤 ,  스코트 알. 사이리스

IPC分类号： C23C14/56 ,  C23C14/34 ,  C23C24/04 ,  H01J37/32

CPC分类号： C23C14/564 ,  H01J37/3435 ,  C23C14/34 ,  C23C14/3407 ,  C23C14/3414 ,  C23C24/04 ,  H01J37/32871 ,  H01J37/3491

摘要： 전방 표면, 전방 표면 반대편의 후방 표면, 및 후방 표면의 적어도 일부분 상에 형성된 스퍼터 트랩(sputter trap), 및 스퍼터 트랩 상에 형성된 금속성 입자의 코팅을 포함하는 스퍼터링 챔버 구성요소. 코팅은 두께가 약 0.025 mm 내지 약 2.54 mm(0.001 인치 내지 약 0.1 인치)이고 코팅에는 불순물이 실질적으로 없고 코팅의 입자는 실질적으로 확산된다.