樹脂微粒子、樹脂組成物及びコロイド結晶

    公开(公告)号:JP2021188042A

    公开(公告)日:2021-12-13

    申请号:JP2021085499

    申请日:2021-05-20

    Abstract: 【課題】発色性、基材追従性、耐圧痕性に優れるコロイド結晶を形成し、耐候性試験後も良好な膜物性を維持可能なコアシェル型樹脂微粒子、該コアシェル型樹脂微粒子を含有する樹脂組成物、該樹脂組成物から形成されてなるコロイド結晶の提供。 【解決手段】上記課題は、コロイド結晶を形成するためのコアシェル型樹脂微粒子であって、前記樹脂微粒子が、エチレン性不飽和単量体(a)の重合体であり、下記一般式(1)で表されるエチレン性不飽和単量体(a−1)及び下記一般式(2)で表されるエチレン性不飽和単量体(a−2)からなる群から選ばれる少なくとも1種のエチレン性不飽和単量体由来の構成単位を含むコアシェル型樹脂微粒子により解決することができる。 【選択図】なし

    化合物、樹脂、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法

    公开(公告)号:JP2021178964A

    公开(公告)日:2021-11-18

    申请号:JP2021110586

    申请日:2021-07-02

    Abstract: 【課題】良好なフォーカスマージン(DOF)を有するレジストパターンを製造することができる樹脂及びレジスト組成物を提供する。 【解決手段】式(I)で表される化合物、樹脂及びレジスト組成物。 [式中、R 0 は、H又はハロゲン原子等を表す。A 1 は、単結合、 * −A 2 −CO−O−A 3 −等を表す。*は酸素原子との結合手を表す。A 2 は、炭素数1〜6のアルカンジイル基を表す。A 3 は、単結合又は炭素数1〜6のアルカンジイル基を表す。Adは、アダマンタンジイル基等を表す。A 10 は、単結合又は炭素数1〜6のアルカンジイル基を表す。nは1又は2を表す。R 1 は、環状エーテル構造を含む基又はHを表す。] 【選択図】なし

    硬化性組成物、及び硬化膜の形成方法

    公开(公告)号:JP2021176919A

    公开(公告)日:2021-11-11

    申请号:JP2018131844

    申请日:2018-07-11

    Abstract: 【課題】本発明によれば、高精度な積層配線等を形成するのに優れた硬化性組成物、及び高精度な積層配線等の硬化膜を容易に形成する形成方法を提供することができる。 【解決手段】(A)同一又は異なる重合体中に、下記式(1)で表される基を有する構造単位、アルコキシシリル基を有する構造単位、および環状エーテル基を有する構造単位を含む重合体成分、 (式(1)中、R 1 およびR 2 はそれぞれ独立に、水素原子またはフッ素原子であり、nは1〜10の整数である。nが2以上である場合、複数のR 1 は同一でも異なっていてもよく、複数のR 2 は同一でも異なっていてもよい。*は結合部位を表す。)(B)酸発生剤、(C)溶剤、を含有する硬化性組成物。 【選択図】図3

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