公开(公告)号：JP5773160B2

公开(公告)日：2015-09-02

申请号：JP2011520858

申请日：2010-06-16

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 新井 隆之 ,  高橋 昌之 ,  松木 安生 ,  酒井 達也 ,  今野 圭二 ,  早川 俊之 ,  野坂 直矢 ,  松見 昭一

IPC: B01D53/28 ,  B01D53/14 ,  H01L51/50 ,  H05B33/04 ,  B01J20/22

CPC classification number: H05B33/04 ,  B01D53/02 ,  B01D53/28 ,  B01J20/0248 ,  B01J20/08 ,  B01J20/103 ,  B01J20/223 ,  B01J20/26 ,  B01J20/267 ,  B01J20/28004 ,  B01J20/28016 ,  B01J20/2803 ,  B01J20/28042 ,  B01J20/28052 ,  H01L51/5259 ,  B01D2253/204 ,  B01D2257/104 ,  B01D2257/80 ,  B01J2220/44 ,  B01J2220/46