-
公开(公告)号:JP5729307B2
公开(公告)日:2015-06-03
申请号:JP2011541879
申请日:2010-11-05
Applicant: JSR株式会社
IPC: C23C16/16
CPC classification number: C23C16/18 , C07F15/06 , C23C16/16 , H01L21/28556 , H01L21/76843 , H01L21/76873
-
-
公开(公告)号:JP5773160B2
公开(公告)日:2015-09-02
申请号:JP2011520858
申请日:2010-06-16
Applicant: JSR株式会社
CPC classification number: H05B33/04 , B01D53/02 , B01D53/28 , B01J20/0248 , B01J20/08 , B01J20/103 , B01J20/223 , B01J20/26 , B01J20/267 , B01J20/28004 , B01J20/28016 , B01J20/2803 , B01J20/28042 , B01J20/28052 , H01L51/5259 , B01D2253/204 , B01D2257/104 , B01D2257/80 , B01J2220/44 , B01J2220/46
-
-
5.組成物、硬化体および電子デバイス、ならびにトリ(2,2−ビス(アリロキシメチル)−1−ブトキシ)アルミニウムおよびその製造方法 有权
Title translation: 组合物,固化物及电子设备,和三(2,2-双(Arirokishimechiru)-1 - 丁氧基)铝和其制造方法 -
-
-
-
-