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公开(公告)号:JP6187124B2
公开(公告)日:2017-08-30
申请号:JP2013214204
申请日:2013-10-11
Applicant: JSR株式会社
IPC: H01L23/532 , H01L21/768 , H01L21/3205 , H01L21/28 , H01L21/288 , H01B13/00 , H01B5/14 , H05K1/09 , G06F3/041 , H01B1/20
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公开(公告)号:JP6187124B2
公开(公告)日:2017-08-30
申请号:JP2013214204
申请日:2013-10-11
Applicant: JSR株式会社
IPC: H01L23/532 , H01L21/768 , H01L21/3205 , H01L21/28 , H01L21/288 , H01B13/00 , H01B5/14 , H05K1/09 , G06F3/041 , H01B1/20