公开(公告)号：JPWO2016133115A1

公开(公告)日：2017-11-30

申请号：JP2017500706

申请日：2016-02-17

Applicant: Jsr株式会社 ,  Jsr株式会社

Inventor： 裕之 小松 ,  裕之 小松 ,  智博 小田 ,  智博 小田 ,  岳彦 成岡 ,  岳彦 成岡 ,  永井　智樹 ,  智樹 永井

IPC: B05D5/00 ,  C09D7/12 ,  C09D201/00

CPC classification number: B05D7/24 ,  C09D201/00 ,  H01L21/3065

Abstract: 本発明は、自己組織化により相分離構造を形成しうる1種又は複数種の第1重合体と溶媒とを含有する自己組織化膜形成用組成物により、基板上に塗布膜を形成する工程を備え、上記溶媒が、芳香環含有化合物を含有する自己組織化膜の形成方法である。上記塗布膜を加熱する工程をさらに備えることが好ましい。上記溶媒における上記芳香環含有化合物の含有量としては、80質量%以下が好ましく、50質量%以上が好ましい。上記自己組織化膜形成用組成物が、上記第1重合体よりも表面自由エネルギーが小さい第2重合体をさらに含有し、上記第2重合体が自己組織化膜の上方に偏在することが好ましい。