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    Wear resistant and fire resistant lining structure of internal pressure vessel
    1.
    发明专利
    Wear resistant and fire resistant lining structure of internal pressure vessel 失效
    内部压力容器的抗磨损和耐火内衬结构

    公开(公告)号：JPS61133139A

    公开(公告)日：1986-06-20

    申请号：JP25504884

    申请日：1984-12-04

    申请人： Toa Nenryo Kogyo Kk ,  Towa Taika Kogyo Kk

    发明人： OKAMOTO KEN ,  AOKI MASATO ,  SAKAMITSU YOSHIYUKI ,  TAKEISHI YOSHITAKA

    IPC分类号： B01J8/02 ,  B01J3/00 ,  B01J8/00 ,  B01J19/02 ,  F27D1/10

    CPC分类号： B01J3/002

    摘要： PURPOSE:To perform efficiently the lining treatment and to improve the durability by fitting a subsupporting member to end part or the like of an internal pressure vessel and burying the whole parts of the subsupporting member together with a main supporting member into lining material. CONSTITUTION:The subsupporting member 7, 7', 7'' are used in a tip part 1, the corner parts 2,3 and a joint part 4 of a cyclone in combination with a main supporting member 6. The main supporting member 6 is welded to a plane part of shell or a bent part of large curvature radius in the prescribed intervals and the arrangement. The subsupporting member 7 used in the tip part 1 is e.g. a U-type and the subsupporting member 7' used in the rectangular corner part 2 is e.g. an L-type. Also the subsupporting member 7'' used in a obtuse angle-like corner part 3 is e.g. a chevron type. An indeterminate refractory 9 is lined so as to cover the whole parts of these main supporting member 6 and the subsupporting members 7, 7''.

    摘要翻译： 目的：为了有效地进行衬里处理，并且通过将内支撑构件安装在内部压力容器的端部等上并将主支撑构件的整个部分与主支撑构件一起埋入衬里材料中来将耐用性提高。 构成：支撑构件7,7'，7“用于尖端部分1，角部分2,3和旋风分离器的接合部分4与主支撑构件6的组合。主支撑构件6是 以规定的间隔和布置焊接到壳体的平面部分或大曲率半径的弯曲部分。 在尖端部分1中使用的支撑构件7是例如。 在矩形角部2中使用的U型和支承构件7' L型。 此外，用于钝角的角部3中的支承构件7“ 一种V形型。 不定形耐火材料9被排列成覆盖这些主支撑构件6和支撑构件7,7“的整个部分。

    Forcing device from evacuated circumstance
    2.
    发明专利
    Forcing device from evacuated circumstance 失效
    强化设备从废弃电路

    公开(公告)号：JPS594429A

    公开(公告)日：1984-01-11

    申请号：JP11269282

    申请日：1982-06-29

    申请人： Shimadzu Corp

    发明人： HANAMI HIDENORI ,  TAKAMIYA HIROSHI

    IPC分类号： B01J3/00 ,  B23P11/02

    CPC分类号： B01J3/002

    摘要： PURPOSE:To simplify the entire part of a temp. controlling system, by providing hot plates which have internally flowing spaces for a heat medium, a single temp. controlling unit which controls the heat medium to a prescribed temp. and discharges the same, and a circulating line for the heat medium. CONSTITUTION:Plural sheets of hot plates 21-28 are disposed apart from each other at a prescribed spacing in a vertical direction in a vacuum chamber 1. Oil inflow ports 6 and oil outflow ports 7 communicating with flowing spaces 5 for a heat medium are respectively opened on the outside surfaces of the plates 21- 28. A single temp. controlling unit 16 which regulates the oil returned to an inlet 16a to a prescribed temp. and discharges the same through an outlet 16b is provided on the outside of the chamber 1. The unit 16 consists of a tank 17 for cooling, a cooler 18, a tank 19 for heating, a heater 24 and a pump 25. A forcing mechanism 28 is provided in the bottom part of the chamber 1.

    摘要翻译： 目的：简化温度的整个部分。 控制系统，通过提供具有用于热介质的内部流动空间的热板，单个温度。 控制单元，其将热介质控制到规定温度。 并对其进行放电，以及用于热介质的循环管线。 构成：多个热板21-28在真空室1中沿垂直方向以规定的间隔彼此分开设置。与热介质的流动空间5连通的油流入口6和排油口7分别 在板21-28的外表面上打开。 控制单元16，其将返回到入口16a的油调节到规定温度。 并且通过出口16b排出它们设置在室1的外部。单元16包括用于冷却的箱17，冷却器18，用于加热的箱19，加热器24和泵25.强制机构 28设置在腔室1的底部。

    High tensile stractural steel for pressure vessel
    6.
    发明专利
    High tensile stractural steel for pressure vessel 失效
    用于压力容器的高拉力钢筋

    公开(公告)号：JPS57116756A

    公开(公告)日：1982-07-20

    申请号：JP157281

    申请日：1981-01-08

    申请人： Sumitomo Metal Ind Ltd

    发明人： WATANABE SEIICHI ,  FURUSAWA JIYUN ,  NAKANISHI MUTSUO ,  OOTANI YASUO

    IPC分类号： F17C1/00 ,  B01J3/00 ,  B01J3/04 ,  C22C38/00

    CPC分类号： B01J3/002 ,  Y02E60/321

    摘要： PURPOSE:To obtain a steel having superior hydrogen attack resistance and superior allowable stress characteristics at high temp. and maintaining the high toughness even through stress relief annealing after welding by adding B and Cr to 1/2Mo or further adding Cu or Ni. CONSTITUTION:This steel consists of, by wt., 0.07-0.22% C, 0.05-0.50% Si, 0.10-0.95% Mn, 0.26-0.75% Cr, 0.45-0.60% Mo, 0.010-0.100% sol. Al, 0.00015-0.0010% B and the balance Fe with inevitable impurities or further contains >=1 kind of 0.10-0.50% Cu and 0.10-1.00% Ni. B enhances the hardenability during normalizing, and the lower limit or more of B is required, yet more than the upper limit of B deteriorates the toughness. Cr prevents carbide from coarsening during stress relief annealing and use, yet less than the lower limit of Cr produces an insufficient effect, and more than the upper limit of Cu deteriorates the weldability. Cu and Ni enhance the hardenability during normalizing, and they improve the strength and toughness, respectively, yet less than the lower limits of Cu and Ni do not produce the effects. More than the upper limit of Cu causes deterioration in the toughness, surface cracking and weld hot cracking, and more than the upper limit of Ni results in a higher cost.

    摘要翻译： 目的：获得在高温下具有优异的耐氢侵蚀性和优异的耐应力特性的钢。 通过将B和Cr添加到1 / 2Mo中或进一步添加Cu或Ni，即使通过焊接后的应力消除退火也能保持高韧性。 构成：该钢由以重量计0.07-0.22％C，0.05-0.50％Si，0.10-0.95％Mn，0.26-0.75％Cr，0.45-0.60％Mo，0.010-0.100％溶胶组成。 Al，0.00015-0.0010％B，余量为Fe与不可避免的杂质，还含有> = 1种0.10-0.50％的Cu和0.10-1.00％的Ni。 B提高了正火时的淬透性，需要B的下限或更多，但是比B的上限大大降低韧性。 Cr防止了在应力消除退火和使用期间的碳化物粗化，但是小于Cr的下限产生不足的效果，并且超过Cu的上限会降低可焊性。 Cu和Ni提高了正火时的淬透性，分别提高了强度和韧性，但低于Cu和Ni的下限也不会产生影响。 超过Cu的上限导致韧性，表面开裂和焊接热裂纹劣化，并且超过Ni的上限导致更高的成本。

    KR102225771B1 - Process chamber opening and closing device for wafer deposition equipment
    7.
    发明专利
    KR102225771B1 - Process chamber opening and closing device for wafer deposition equipment 有权

    公开(公告)号：KR102225771B1

    公开(公告)日：2021-03-09

    申请号：KR1020210004325A

    申请日：2021-01-13

    申请人： 김원기

    发明人： 김원기

    IPC分类号： C23C16/44 ,  B01J3/00 ,  C23C14/56 ,  E05F15/622 ,  H01L21/67

    CPC分类号： C23C16/4409 ,  B01J3/002 ,  C23C14/56 ,  E05F15/622 ,  H01L21/67126 ,  E05Y2201/702 ,  E05Y2201/704 ,  E05Y2900/60

    摘要： 본 발명은 웨이퍼 증착장비용 프로세스챔버 개폐장치에 관한 것이다. 이는, 챔버리드를 갖는 프로세스챔버의 챔버리드에 고정되는 상부링크브라켓과; 상부링크브라켓의 하부에 고정되는 하부링크브라켓과; 연결핀을 통해 하부링크브라켓에 링크되는 리드스크류와; 상부링크브라켓에 연결핀으로 연결되는 상부커넥터와; 상부커넥터에 고정된 상태로 리드스크류의 일부를 수용하는 리프팅파이프와; 리프팅파이프의 하단부에 고정되는 기어하우징과; 기어하우징의 밀폐공간내에 수용되는 워엄휠 및 워엄과; 기어하우징의 외측부에 설치되는 고정브라켓과; 고정브라켓에 고정되는 서보모터와; 서보모터의 회전력을 워엄으로 전달하는 커플러가 포함된다.
    상기와 같이 이루어지는 본 발명의 웨이퍼 증착장비용 프로세스챔버 개폐장치는, 챔버리드의 개방각도를 다단으로 조절할 수 있으며, 더 나아가 입력된 각도에 도달했을 때 자동으로 정지하는 구조를 가져, 사용이 매우 편리하다. 또한, 기어하우징에 밀폐된 워엄 및 워엄휠을 채용하므로 동작 정밀성이 뛰어나고, 모터의 부하가 작아 저소음 운용이 가능하며 쇳가루가 날릴 염려가 없다.

    圧力センサおよび該センサを用いた真空加工装置
    8.
    发明专利
    圧力センサおよび該センサを用いた真空加工装置 有权
    使用压力传感器和传感器真空处理装置

    公开(公告)号：JPWO2014057536A1

    公开(公告)日：2016-08-25

    申请号：JP2014540653

    申请日：2012-10-10

    申请人： 株式会社岡野製作所 ,  小川 倉一 ,  倉一 小川 ,  宏司 美馬 ,  宏司 美馬

    发明人： 岡野　夕紀子 ,  夕紀子 岡野 ,  修一 田尻 ,  修一 田尻 ,  隆司 青園 ,  隆司 青園 ,  小川　倉一 ,  倉一 小川 ,  宏司 美馬 ,  宏司 美馬

    IPC分类号： G01L21/12

    CPC分类号： G01L21/12 ,  B01J3/002

    摘要： 本発明は、構造がシンプルかつ堅牢であり、かつ測定精度が高い小型の圧力センサ、および該圧力センサを備えた真空加工装置を提供することを課題とする。本発明に係る圧力センサ1は、空洞部4aが形成された基台部4、基台部4の表面に設けられた高分子膜5、高分子膜5の表面領域5bに設けられた第1薄膜センサ6、および高分子膜5の表面領域5cに設けられた第2薄膜センサ7を備えたセンサ部2と、第1薄膜センサ6の温度が予め定められた温度に維持されるように電力を第1薄膜センサ6に供給する第1駆動部、および第2薄膜センサ7の温度に影響を与えない程度の微小電流を第2薄膜センサ7に供給する第2駆動部を備えた制御部3とを備える。第1薄膜センサ6および第2薄膜センサ7は、温度に応じて抵抗値が変化するよう構成されている。

    摘要翻译： 本发明中，该结构是简单且坚固的，并且测量精度高微型压力传感器，其目的是提供一种具有一个压力传感器的真空处理装置。 根据本发明的压力传感器1中，基体部腔4a上形成如图4所示，设置在基体部4的表面上的聚合物膜5，第一设置在聚合物膜5的表面区域5b 薄膜传感器6，以及具有在聚合物膜5的表面区域5c设置在第二薄膜传感器7的传感器单元2，功率，使得所述第一薄膜传感器6的温度维持在预定的温度 第一第一驱动器，用于提供所述薄膜传感器6和第二薄膜传感器7控制单元3，用于小电流将不影响与第二驱动器的温度，用于提供第二薄膜传感器7 设置有门。 第一薄膜传感器6和第二薄膜传感器7，根据温度的电阻值的变化构造成。

    The reactor and its manufacturing method and a gasket therefor using a gasket for sealing a spiral
    9.
    发明专利
    The reactor and its manufacturing method and a gasket therefor using a gasket for sealing a spiral 有权

    公开(公告)号：JP2011516814A

    公开(公告)日：2011-05-26

    申请号：JP2011502871

    申请日：2009-04-07

    申请人： セウォン セロンテック カンパニー リミテッドSewon Cellontech Co.,Ltd. ,  ソ,ギュヒョン

    发明人： ソ，ギュヒョン

    IPC分类号： F28D1/06 ,  F16L7/00 ,  F16L39/00 ,  F28D7/10 ,  F28F11/00

    CPC分类号： F28D7/106 ,  B01J3/002 ,  B01J19/0073 ,  F28F1/36 ,  F28F2230/00 ,  Y10T29/49826 ,  Y10T29/4987 ,  Y10T29/49872 ,  Y10T29/49874 ,  Y10T29/49879

    摘要： 本発明は、同軸に配設される内筒と外筒との間に長手方向に連設されて熱媒体の流路を形成するスパイラルが配設されるリアクタのスパイラルシーリングメカニズムを改善してスパイラルと外筒との間の密閉を効率よく維持し、リアクタの製造が容易に行える新規なタイプのスパイラルシーリング用ガスケットを用いたリアクタとその製造方法及びそのためのガスケットを提供する。 本発明に係るガスケットはスパイラル３に嵌着される構造を有することから、ガスケット１０を取り付けるための別途の２次加工を必要としない。 このため、ガスケット１０のチャンネル２１にスパイラル３が嵌入するように押し込む作業を通じてガスケット１０をスパイラル３に嵌着することができるので、組み立て作業が簡単に行える。 また、ガスケット１０がスパイラル３の外周に満遍なく嵌着される構造であり、内側に圧縮可能な弾性体としてクッションプレート４０が配設されるので、外筒２の覆設時におけるガスケット１０の破損を効果的に防止し、外筒２の覆設後にスパイラル３と外筒２との間の密閉を安定的に維持することができる。
    【選択図】図９