供給システムの自動化された多重ヘッドクリーナー及び関連する方法

    公开(公告)号:JP2018140393A

    公开(公告)日:2018-09-13

    申请号:JP2018074358

    申请日:2018-04-09

    IPC分类号: B05C5/00 B05C11/10

    摘要: 【課題】回路基板組立てプロセスの供給ヘッドのノズル又はニードルの効率的で繰返し可能な清掃システム及び方法を備えた材料堆積システムを提供する。 【解決手段】材料堆積システムはフレーム20と、フレーム20に結合され、堆積動作の間、電子基材を支持するように構成される支持体22と、フレーム20に結合されるガントリ24と、ガントリ24に結合される2つの堆積ヘッド14、16とを備える。各堆積ヘッドはニードルを備え、堆積ヘッド14、16はガントリ24の動きによって支持体22にわたって移動可能である。材料堆積システムは、ニードルクリーナーガントリ24上で移動可能であり、堆積ヘッド14、16のニードルを清掃するように構成されるニードルクリーナー組立体を更に備える。材料堆積システムは、ニードル清掃動作を実行するようにニードルクリーナー組立体の動作を制御するように構成されるコントローラー18を更に備える。 【選択図】図1

    KR102237185B1 - A deposition apparatus

    公开(公告)号:KR102237185B1

    公开(公告)日:2021-04-07

    申请号:KR1020190073458A

    申请日:2019-06-20

    摘要: 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치 시스템은 진공 챔버; 상기 진공 챔버의 일면에 적어도 하나 이상 구비되는 뷰포트; 상기 진공 챔버 내부에 수용되고, 증착 원료가 수용되는 도가니와, 상기 도가니를 가열하는 히터 유닛과, 상기 증착 원료에서 증발된 증착 물질이 통과하는 적어도 하나 이상의 노즐을 포함하는 증착 장치; 상기 뷰포트 외부에 위치하고, 상기 뷰포트를 통하여 상기 노즐을 촬영하는 카메라; 상기 뷰포트 외부에 위치하고, 상기 뷰포트를 통하여 상기 노즐을 향하여 레이저 광선을 출력하는 레이저; 상기 레이저로부터 출력되는 레이저 광선을 상기 노즐의 한 지점으로 이동시키는 레이저 이동수단; 및 상기 카메라가 촬영한 노즐 이미지를 수신하고, 상기 노즐 이미지에서 클로깅을 감지한 결과에 따라 상기 레이저와 레이저 이동수단의 작동을 제어하는 제어부;를 포함할 수 있다.