公开(公告)号：JP2018108638A

公开(公告)日：2018-07-12

申请号：JP2017239380

申请日：2017-12-14

申请人： ジャビル インク

发明人： ボスブーム、ジェローエン ,  ムンロ、リチャード ,  メイジャー、タチアナ・パンコヴァ

IPC分类号： H01L21/677 ,  B25J15/06

CPC分类号： B25J15/0683 ,  B25J15/0014 ,  B25J15/0616 ,  B25J15/0691 ,  H01L21/6838 ,  H01L21/68707

摘要： 【課題】より強固に吸着可能なバキュームグリップを提供する。 【解決手段】少なくともその基部がバキュームに接続的に関連し、基部よりもその最上部に大きな断面円周を有する少なくとも1つのバキュームドローアイレット52を含む。最上部の大きな断面円周をその中に受け入れるのに適した受け入れ部分を含む延伸カップ発泡体部分と、この延伸カップ発泡体部分の断面に沿って挿入された2つの脚部を有するワイヤクリップ102a、102bであって、その2つの脚部は、大きな断面円周の下で、バキュームドローホールの第2の断面円周上の2つの接線点で受け入れ部分を摩擦接触させるのに適した構成とした。 【選択図】図9

公开(公告)号：JP2016533988A

公开(公告)日：2016-11-04

申请号：JP2016518255

申请日：2014-04-14

申请人： ヴイテック カンパニー,リミテッド ,  ヴイテック カンパニー,リミテッド

发明人： チョ，ホ−ヨン

IPC分类号： B65G47/91 ,  F16B47/00

CPC分类号： B25J15/0683

摘要： 【課題】真空システムに使用される吸着カップを提供する。【解決手段】本発明の吸着カップは、中空状のボディと、前記ボディの下部に配置されるスカート型パッドと、吸着カップの内部に着脱可能に設けられ、前記ボディとパッドとを結合させるリング状のクランプとを含んでなる。特に、前記クランプは、凹んだ「C」字形の外面が、前記ボディとパッドとの接触部分を包みながら上下方向に対向圧着することにより、前記ボディとパッドとを結合させるように構成される。【選択図】図2

摘要翻译： 要在真空系统中提供了一个吸盘。 本发明的吸盘，环的中空体，设置在所述主体中，抽吸杯内可拆卸地设置一个下裙型衬垫，以耦合所述主体和所述垫 包括夹具的乔。 特别地，所述夹具被凹进“C”形的外表面，由相对的压接在垂直方向上，而缠绕体和垫，被配置为耦合所述主体和所述衬垫之间的接触部分。 .The

公开(公告)号：JP2018517308A

公开(公告)日：2018-06-28

申请号：JP2018512474

申请日：2016-05-20

申请人： シャンハイ マイクロ エレクトロニクス イクイプメント(グループ)カンパニー リミティド

发明人： リュウ カイ ,  フー ソンリ ,  ジャン ジエ

IPC分类号： G03F7/20 ,  H01L21/677

CPC分类号： G03F7/70733 ,  B25J9/0087 ,  B25J9/0096 ,  B25J9/041 ,  B25J11/0095 ,  B25J15/0014 ,  B25J15/0683 ,  G03F7/20 ,  G03F9/00 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/67745 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/67769 ,  H01L21/68707 ,  Y10S901/17 ,  Y10S901/23 ,  Y10S901/40

摘要： ウエハ保管装置(400)、プレアライメント装置(500)、バッファステージ(700)及びウエハステージ(600)を備えるフォトリソグラフィーシステムに用いるためのウエハ搬送システムであって、ウエハ保管装置(400)から露光すべきウエハを取得し、プレアライメント装置(500)に露光すべきウエハを搬送するように構成され、また、バッファステージ(700)から露光されたウエハを取り除き、ウエハ保管装置(400)に露光されたウエハを収容するように構成されたデュアルアームロボット(100)と、ウエハステージ(600)に予め位置合わせされたウエハを搬送するように構成されたウエハ搬入リニアロボット(200)と、バッファステージ(700)に露光されたウエハを搬送するように構成されたウエハ搬出リニアロボット(300)と、を備える。デュアルアームロボット(100)と、ウエハ搬入リニアロボット(200)と、ウエハ搬出リニアロボット(300)と、は、ウエハの搬送において、時間の節約を実現するために並列に動作することができる。 【選択図】図1

公开(公告)号：JP2018079561A

公开(公告)日：2018-05-24

申请号：JP2017215479

申请日：2017-11-08

申请人： 株式会社東芝

发明人： 石田 恵美子 ,  大庭 典之 ,  高橋 宏昌 ,  牛島 彰

IPC分类号： B25J15/06 ,  B25J15/08

CPC分类号： B25J15/0683 ,  B25J15/0023 ,  B25J15/06 ,  B25J15/08 ,  B25J15/12

摘要： 【課題】十分な把持力を有する把持ツールおよび把持システムを提供する。 【解決手段】把持ツール10は、中空部13が形成され、中空部13には粉粒体14が充填され、かつ可撓性および気密性を有する把持部11を具備し、把持部11は、その周囲において円環状に保持された状態でワークに密着し、かつ中空部13内が減圧されて、該ワークを把持する。 【選択図】 図1

公开(公告)号：JP2017185567A

公开(公告)日：2017-10-12

申请号：JP2016074818

申请日：2016-04-03

申请人： ウラカミ合同会社

发明人： 浦上 不可止

IPC分类号： A47L3/02 ,  A47L1/02 ,  B25J5/00

CPC分类号： B25J15/0683 ,  A47L1/02 ,  A47L11/38 ,  A47L2201/00

摘要： 【課題】物体表面に負圧吸着しY軸方向とX軸方向のどちらへも自走することが可能なロボット装置を提供する。 【解決手段】ロボット装置は4個の吸盤ユニットとY軸アクチュエータとX軸アクチュエータを具備しており、吸盤の平面形状は1個の正方形を同一形状の4個の四角形に4分割した形状を成し、又対角部分に2個の直角部分を備えた四角形を成し、又2個の直角部分のうちの1個の直角は正方形の4個の直角のうちの1個の直角を構成し、又吸盤の直角を構成する2つの辺は正方形の直角を構成する2つの辺と重なり、又吸盤のもう1つの直角を構成する2つの辺は、正方形の直角を構成する2つの辺と、一方の辺どうしは鋭角に他方の辺どうしは鈍角に交差している。 【選択図】図10

公开(公告)号：JP5861676B2

公开(公告)日：2016-02-16

申请号：JP2013142869

申请日：2013-07-08

申请人： 株式会社安川電機

发明人： 進 大介 ,  紙上 真智子 ,  安藤 隆治

IPC分类号： B25J9/06 ,  B25J15/06

CPC分类号： B25J15/0616 ,  B25J15/0683 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/6838 ,  Y10S901/40

公开(公告)号：JP2015534907A

公开(公告)日：2015-12-07

申请号：JP2015537301

申请日：2013-10-22

申请人： フロマジュリー ベル ,  フロマジュリー ベル

发明人： レオナール・ディディオ ,  ジュアン・ゴドイ・リカルド ,  ジュリアン・ルクレール

IPC分类号： B25J15/06 ,  B65B25/06

CPC分类号： B25J15/0616 ,  A23P20/20 ,  B25J11/0045 ,  B25J15/0625 ,  B25J15/0666 ,  B25J15/0683

摘要： 本発明は、少なくとも1つの変形しやすい食品製品を把持するための把持するための装置であって:チャンバと、チャンバ減圧システムと、減圧システムをチャンバに接続する流体接続部と、変形しやすい食品製品を受けるための面(248)を規定する少なくとも1つの穿孔プレート(246)であって、受容面(248)及びチャンバ内に開口する少なくとも1つの孔を有する、穿孔プレート(246)と、を備える装置に関する。

摘要翻译： 本发明涉及一种装置，用于夹持用于夹紧至少一个可变形的食物产品：腔室以及用于连接室真空系统，所述真空系统在室的，可变形的食物的流体连接 和至少一个多孔板限定的表面（248），用于接收一个产品（246）具有至少一个孔开口到接收表面（248）和腔室，和打孔板（246），则 一种装置，包括。

公开(公告)号：JP2018174203A

公开(公告)日：2018-11-08

申请号：JP2017070755

申请日：2017-03-31

申请人： 株式会社荏原製作所

发明人： 山本 暁 ,  中西 正行 ,  小寺 健治

IPC分类号： B23Q3/08 ,  B24B41/06 ,  B24B21/00 ,  H01L21/304 ,  H01L21/683

CPC分类号： H01L23/13 ,  B24B37/30 ,  B24B41/068 ,  B25J15/0683 ,  B65G47/91 ,  H01L2224/75744

摘要： 【課題】 基板を真空吸着しているときに基板が剥離しにくくすることのできる真空吸着パッドを提供する。 【解決手段】 真空吸着パッド8は、基板保持装置2のステージ5に下面が貼着されるパッド本体37と、パッド本体37の上面に設けられ、パッド本体37の上面に真空吸着される基板Wを保持する複数の円弧状の基板保持凸部38を備えている。円弧状の基板保持凸部38は、円形状のパッド本体37と同心円状に配置されており、複数の円弧状の基板保持凸部38のうち、外径側に配置されている基板保持凸部38の径方向の幅W1は、内径側に配置されている基板保持凸部38の径方向の幅W2より狭い。 【選択図】 図4

公开(公告)号：JP6367158B2

公开(公告)日：2018-08-01

申请号：JP2015139540

申请日：2015-07-13

申请人： 三菱重工業株式会社

发明人： 清水 隆之 ,  梓澤 直人 ,  鶴田 健一 ,  東 宏城 ,  後藤 拓也

IPC分类号： B25J15/06

CPC分类号： B25J15/0683 ,  B25J15/0061 ,  B25J15/065 ,  B25J15/0691

公开(公告)号：JP6187839B2

公开(公告)日：2017-08-30

申请号：JP2016518255

申请日：2014-04-14

申请人： ヴイテック カンパニー,リミテッド

发明人： チョ,ホ−ヨン

IPC分类号： B65G47/91

CPC分类号： B25J15/0683 ,  B25B11/005 ,  B65G47/91 ,  B66C1/02 ,  F16B47/00