公开(公告)号：JP2018118267A

公开(公告)日：2018-08-02

申请号：JP2017010376

申请日：2017-01-24

申请人： 株式会社ディスコ

发明人： 能丸 圭司 ,  大崎 新 ,  中本 顕正

IPC分类号： G01B11/08 ,  G01B11/24 ,  H01S3/00 ,  B23K26/00

CPC分类号： G01B11/24 ,  G01J1/0266 ,  G01J1/0403 ,  G01J1/0411 ,  G01J1/0414 ,  G01J1/0418 ,  G01J1/044 ,  G01J1/0444 ,  G01J1/0448 ,  G01J1/0462 ,  G01J1/4228 ,  G01J1/4257 ,  G01J2001/4242

摘要： 【課題】短時間で効率よくレーザー光線の正確なスポット形状を検出することにある。 【解決手段】レーザー光線LB1を集光する集光レンズ31と、集光点Pと集光レンズとの間に配置されるビームスプリッター32と、複数のミラー6a’〜6q’を同心円上に配設したミラーホルダ6と、ミラーホルダを所定の周期で回転するモータと、複数のミラー6a’〜6q’によって順次反射されるレーザー光線の戻り光LB2をビームスプリッターで分岐する方向に配設され戻り光LB2のスポット形状を撮像する撮像手段33と、撮像手段によって撮像された画像を複数のミラー6a’〜6q’に関連付けて表示する表示手段と、から少なくとも構成され、複数のミラー6a’〜6q’は、撮像手段の撮像位置に集光点Pが徐々に近づき撮像位置に至り撮像位置から徐々に遠ざかるように配設されている、スポット形状検出装置1が提供される。 【選択図】図1

公开(公告)号：JP2006503419A

公开(公告)日：2006-01-26

申请号：JP2005501266

申请日：2003-10-08

申请人： アイックスユーブイ ゲーエムベーハー ,  インフィネオン テクノロジーズ アクチエンゲゼルシャフト

发明人： カール クラーグラー， ,  ヴォルフ−ディーター ドムケ， ,  マンフレッド マイゼン， ,  ラリサ ユシュキン， ,  ライナー レーベルト，

IPC分类号： H05G2/00 ,  G01J1/42 ,  G03F7/00 ,  G03F7/20 ,  G21K1/10 ,  G21K5/04 ,  H01L21/027

CPC分类号： G21K5/04 ,  G01J1/044 ,  G01J1/429 ,  G03F7/70558 ,  G21K1/10

摘要： 本発明は、感光性レジストに覆われた物体を検査する照射装置に関し、その照射装置は、物体への放射線の経路を横切るシステムのみならず、ＥＵＶ放射線源と、ＥＵＶ放射線源をフィルタリングする光学系と、物体を収容するチャンバとを備える。 本発明は、上記の装置を操作する方法にも関する。 本発明は、複雑な光学系を用いることなく安価な実験用放射線源を用いて、複数の照射領域への、少なくとも一部同時の、異なった線量の照射ができる限り速く得られることを目的とする。 従って、本発明は、シンプルでコンパクトな光学系を備える装置を提供し、照射される物体の前面に閉口可能なダイアフラム開口部を配置し、放射線の経路に少なくとも１つの制御センサーを配置し、放射線量の測定を可能にする。

公开(公告)号：JP5018409B2

公开(公告)日：2012-09-05

申请号：JP2007289255

申请日：2007-11-07

申请人： コニカミノルタオプティクス株式会社

发明人： 澄 今井 ,  晋二 清水 ,  誠 高橋

IPC分类号： G01J1/42 ,  G01J1/44 ,  G01J3/36 ,  G01M11/00 ,  H04N5/335 ,  H04N5/351 ,  H04N5/353 ,  H04N5/357 ,  H04N5/378

CPC分类号： G01J1/04 ,  G01J1/0418 ,  G01J1/044 ,  G01J1/44 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0213 ,  G01J3/0232 ,  G01J3/2803 ,  G01J3/2889

公开(公告)号：JP2010127635A

公开(公告)日：2010-06-10

申请号：JP2008299498

申请日：2008-11-25

申请人： Sharp Corp ,  シャープ株式会社

发明人： WATABE TSUNEHISA

IPC分类号： G01V8/20 ,  G01J1/02 ,  G03B7/091 ,  H01H35/00

CPC分类号： G01J1/02 ,  G01J1/0204 ,  G01J1/0209 ,  G01J1/0214 ,  G01J1/0242 ,  G01J1/0271 ,  G01J1/04 ,  G01J1/044 ,  G01J1/0488 ,  G01J1/4204 ,  G01J1/4228

摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a small photodetecting semiconductor apparatus and a mobile device which have an illuminance detection function and a proximity detection function.
SOLUTION: The photodetecting semiconductor apparatus 1 is provided with a sensor chip 11, a resin-sealed package 14 in which the sensor chip 11 is resin-sealed with a transparent resin, and a color filter 11f disposed on the surface of the sensor chip 11, with a sensor circuit unit 11c and a light-sensitive element group 12m being formed in the sensor chip 11. The light-sensitive element group 12m is configured with a color light-sensitive element 12c having a sensitivity peak for color and an infrared light-sensitive element 12ir having a sensitivity peak for infrared light. The color light-sensitive element 12c includes a red light-sensitive element 12r having a sensitivity peak for red, a green light-sensitive element 12g having a sensitivity peak for green, and a blue light-sensitive element 12b having a sensitivity peak for blue.
COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

摘要翻译： 要解决的问题：提供具有照度检测功能和接近检测功能的小型光检测半导体装置和移动装置。 光检测半导体装置1设置有传感器芯片11，其中传感器芯片11用透明树脂树脂密封的树脂密封封装14和设置在透明树脂表面上的滤色器11f 传感器芯片11，传感器电路单元11c和感光元件组12m形成在传感器芯片11中。感光元件组12m配置有具有用于颜色的灵敏度峰值的彩色感光元件12c， 具有用于红外光的灵敏度峰值的红外光敏元件12ir。 彩色感光元件12c包括具有红色灵敏度峰值的红色感光元件12r，具有绿色灵敏度峰值的绿色感光元件12g和蓝色感光元件12b，蓝色感光元件12b具有蓝色的灵敏度峰值 。 版权所有（C）2010，JPO＆INPIT

公开(公告)号：JP2006329828A

公开(公告)日：2006-12-07

申请号：JP2005154335

申请日：2005-05-26

申请人： Denso Corp ,  株式会社デンソー

发明人： MICHIYAMA KATSUNORI ,  TSUKAMOTO TAKESHI

IPC分类号： G01J1/04 ,  G01J1/02

CPC分类号： G01J1/22 ,  G01J1/04 ,  G01J1/0403 ,  G01J1/0418 ,  G01J1/0437 ,  G01J1/044 ,  G01J1/0448 ,  G01J1/0462

摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical sensor enabling sensitivity control with a simple structure, at higher flexibility and higher precision. SOLUTION: A gobo 40 formed with an opaque disk plate is rotatably pivoted. A light transmitting slit 42 for penetrating the gobo 40 is provided in the gobo 40 so that the width of the gobo 40 continuously varies over a region that is larger than 180 degrees around a rotation axis 41 of the gobo in a rotation direction. The rotation axis 41 of the gobo 40 is provided deflecting to the rotation center of a sheathing filter 50 and the gyration radius of the sheathing filter 50 is set at a larger radius than that of the gobo 40. Also, an external gear 43 is formed on the external surface of the gobo 40 and an internal gear 53 is formed on the internal surface of the sheathing filter 50, respectively. The amount of light incident on a light-receiving element 20 is controlled by following the gobo 40 the rotation of the sheathing filter 50 to rotate, based on gearing the external gear 43 with the internal gear 53. COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

摘要翻译： 要解决的问题：以更高的灵活性和更高的精度提供具有简单结构的灵敏度控制的光学传感器。

解决方案：形成有不透明盘片的玻璃杯40可旋转地枢转。 在导体40中设置用于穿透导体40的透光狭缝42，使得波纹40的宽度围绕波纹的旋转轴线41沿旋转方向在大于180度的区域上连续变化。 弯曲40的旋转轴线41被设置为偏转到护套过滤器50的旋转中心，并且护套过滤器50的回转半径被设定为比凹凸40更大的半径。而且，形成外部齿轮43 在导流板40的外表面上分别形成内护套50的内表面。 入射到受光元件20上的光量是通过使外罩40与旋转外壳齿轮43的内齿轮53啮合来控制皮套40的转动。（C） 2007年，日本特许厅和INPIT

公开(公告)号：JPS57125328A

公开(公告)日：1982-08-04

申请号：JP1102381

申请日：1981-01-27

申请人： Matsushita Electric Works Ltd

发明人： INOUE TOSHINORI

IPC分类号： G01J1/02 ,  G01J1/04 ,  G02F1/13

CPC分类号： G01J1/04 ,  G01J1/044

摘要： PURPOSE:To attain the long life of the photomultiplier by coating a light receiving surface by a liquid crystal panel. CONSTITUTION:The light receiving surface of the photomultiplier 1 is coated by the liquid crystal panel 3. When a voltage is applied to the panel 3, the crystal structure of the part corresponding to the light receiving surface 2 is changed and the transparent surface is closed. When the device is used, a voltage applying switch 5 is turned OFF, the panel 3 becomes transparent, and the external light is inputted to the light receiving surface 2. When the device is not used, the swithc 5 is turned ON, and the panel 3 is closed.

摘要翻译： 目的：通过用液晶面板涂覆受光面来达到光电倍增管的长寿命。 构成：光电倍增管1的受光面被液晶面板3覆盖。当对面板3施加电压时，与受光面2对应的部分的晶体结构变化，透明面闭合 。 当使用该装置时，电压施加开关5断开，面板3变得透明，并且外部光被输入到光接收表面2.当不使用该装置时，开关5被接通，并且 面板3关闭。

公开(公告)号：JP2016090763A

公开(公告)日：2016-05-23

申请号：JP2014224051

申请日：2014-11-04

申请人： オリンパス株式会社

发明人： 土屋 敦宏 ,  岡平 裕幸 ,  泉 幸一郎

IPC分类号： G02B21/24

CPC分类号： G01N33/4833 ,  G01J1/0271 ,  G01J1/044

摘要： 【課題】光検出器への過大光の入射をより確実に防ぎ、過大光による光検出器の劣化や損傷を防止する。 【解決手段】標本からの観察光を検出するHPDやGaAsP、EM−CCD等のような高感度検出器と、内容物を出入可能にする開口部を有し、高感度検出器を覆う箱状の筐体6と、筐体6の開口部を閉塞可能な扉13と、高感度検出器に印加する駆動電圧のON/OFFにより高感度検出器による光の検出を制限するスイッチ15A,15Bと、スイッチ15A,15Bにより高感度検出器による光の検出が制限されている場合にのみ、扉13による閉塞状態から筐体6の開口部を開放可能にする開放制限機構17とを備える顕微鏡を提供する。 【選択図】図2

摘要翻译： 要解决的问题：为了进一步可靠地防止过多的光进入光电检测器，并防止由过多的光引起的光电检测器的劣化或损坏。解决方案：显微镜包括：高灵敏度检测器，例如HPD，GaAsP和EM-CCD ，用于检测来自样本的观察光; 具有开口的盒状壳体6，内容物可以通过该开口进出并覆盖高灵敏度检测器; 能够阻挡壳体6的开口的门13; 开关15A和15B，其通过施加到高灵敏度检测器的驱动电压开/关来限制高灵敏度检测器的光检测; 以及只有当开关15A和15B限制高灵敏度检测器的光的检测时，允许壳体6从门13打开从封闭状态打开的开口限制机构17。图2

公开(公告)号：JP4661364B2

公开(公告)日：2011-03-30

申请号：JP2005154335

申请日：2005-05-26

申请人： 株式会社デンソー

发明人： 武 塚本 ,  勝教 道山

IPC分类号： G01J1/04 ,  G01J1/02

CPC分类号： G01J1/22 ,  G01J1/04 ,  G01J1/0403 ,  G01J1/0418 ,  G01J1/0437 ,  G01J1/044 ,  G01J1/0448 ,  G01J1/0462

公开(公告)号：JP4647004B2

公开(公告)日：2011-03-09

申请号：JP2008299498

申请日：2008-11-25

申请人： シャープ株式会社

发明人： 恒久 渡部

IPC分类号： G01V8/20 ,  G01J1/02 ,  G03B7/091 ,  H01H35/00

CPC分类号： G01J1/02 ,  G01J1/0204 ,  G01J1/0209 ,  G01J1/0214 ,  G01J1/0242 ,  G01J1/0271 ,  G01J1/04 ,  G01J1/044 ,  G01J1/0488 ,  G01J1/4204 ,  G01J1/4228

公开(公告)号：JP2009115631A

公开(公告)日：2009-05-28

申请号：JP2007289255

申请日：2007-11-07

申请人： Konica Minolta Sensing Inc ,  コニカミノルタセンシング株式会社

发明人： IMAI KIYOSHI ,  TAKAHASHI MAKOTO ,  SHIMIZU SHINJI

IPC分类号： G01J1/42 ,  G01J1/44 ,  G01J3/36 ,  G01M11/00 ,  H04N5/335 ,  H04N5/351 ,  H04N5/353 ,  H04N5/357 ,  H04N5/378

CPC分类号： G01J1/04 ,  G01J1/0418 ,  G01J1/044 ,  G01J1/44 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0213 ,  G01J3/0232 ,  G01J3/2803 ,  G01J3/2889

摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a light quantity measuring instrument capable of measuring properly a light to be measured of which the light quantity is fluctuated periodically, in a short time.
SOLUTION: Charges generated and accumulated in a photodiode 128 in a measuring period are read in, a plurality of times, a control computation part 122 obtains pixel data D(1,i), D(2,i) to D(M,i) (i=1, 2, to N), in response to quantity of the charges Q(1,i), Q(2,i) to Q(M,i) generated and accumulated by the photodiodes 128, respectively, in a plurality of accumulation periods SP(1), SP(2) to SP(M) provided by dividing the measuring period MP. The control computation part 122 integrates the plurality of pixel data D(1,i), D(2,i) to D(M,i) and calculates pixel data D(1), D(2) to D(N), in response to quantity of the charges Q(1), Q(2) to Q(N) generated and accumulated by the photodiodes 128 in the measuring period MP.
COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

摘要翻译： 要解决的问题：提供一种能够在短时间内适当地测量光量周期性波动的被测光的光量测量仪器。 解决方案：在测量周期内产生并累积在光电二极管128中的电荷被多次读入，控制计算部分122获得像素数据D（1，i），D（2，i）至D（ 响应于由光电二极管128产生和累积的电荷Q（1，i），Q（2，i）至Q（M，i）的数量，M，i）（i = 1,2， 分别在通过划分测量周期MP提供的多个累积周期SP（1），SP（2）至SP（M）中。 控制计算部分122将多个像素数据D（1，i），D（2，i）与D（M，i）进行积分并计算像素数据D（1），D（2）至D（N） 响应于在测量周期MP中由光电二极管128产生和累积的电荷Q（1），Q（2）至Q（N）的量。 版权所有（C）2009，JPO＆INPIT