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    高温圧力センシング
    2.
    发明专利
    高温圧力センシング 审中-公开

    公开(公告)号：JP2017534860A

    公开(公告)日：2017-11-24

    申请号：JP2017517104

    申请日：2015-09-17

    申请人： ローズマウント インコーポレイテッド ,  ローズマウント インコーポレイテッド

    发明人： シュルテ，ジョン・ポール ,  タイソン，デヴィッド・グレン

    IPC分类号： G01L19/04 ,  G01L9/12

    CPC分类号： G01L9/12

    摘要： 圧力検知システムは、高温ゾーン電子機器モジュール(114)、低温ゾーン電子機器モジュール(116)、及び高温ゾーン電子機器(114)を低温ゾーン電子機器(116)へ接続する複数の導体(110)を含む。高温ゾーン電子機器モジュール(114)は、容量性圧力センサ(201)、及び容量性圧力センサ(201)へ発振信号を供給する発振器(212)を含む。高温ゾーン電子機器(114)は、少なくとも1つのDCセンサ信号を供給する。低温ゾーン電子機器モジュール(116)は、前記少なくとも1つのDCセンサ信号を圧力値に変換し、且つDC電力信号を供給する。前記複数の導体(110)は、DC電力信号を高温ゾーン電子機器(114)へ伝達し、且つ前記少なくとも1つのDCセンサ信号を低温ゾーン電子機器(116)へ伝達する。

    静電容量検出回路
    7.
    发明专利
    静電容量検出回路 有权
    电容检测电路

    公开(公告)号：JPWO2013073161A1

    公开(公告)日：2015-04-02

    申请号：JP2013544124

    申请日：2012-11-12

    申请人： 富士電機株式会社

    发明人： 木代　雅巳 ,  雅巳 木代

    IPC分类号： G01P15/125 ,  G01R27/26

    CPC分类号： G01P15/125 ,  G01L9/12 ,  G01P15/18 ,  G01P2015/084 ,  G01R27/2605

    摘要： ノイズを抑制した静電容量検出回路を提供する。物理量変化に応じた静電容量変化を生じる一対の電極部を備えた物理量センサの前記一対の電極部間の静電容量変化を検出する静電容量検出回路(30)であって、前記一対の電極部の一方にキャリア信号を供給するキャリア信号生成回路(21)と、前記一対の電極部の他方が反転入力端子に入力された演算増幅器(Q31)と、前記一対の電極部と並列に接続されたダミー容量(Cd)と、前記ダミー容量に対するキャリア信号生成回路からのキャリア信号に対して、位相を反転するとともに、ゲインを調整してダミー容量を抑制するキャリア信号調整回路(31)を備えている。

    摘要翻译： 提供了一种抑制噪声的静电电容检测电路。 用于检测对具有一对所得对应于物理量的变化（30）的电容变化的电极部分的物理量传感器的电极之间的电容的变化，一对电容检测电路 用于供应的载波信号到一个电极部分（21）的载波信号发生电路，所述的一对运算放大器的其它电极部分被输入到反相输入端子和（Q31），并联连接在一对电极部的 设置有虚设电容（Cd）的，相对于从载波信号发生电路的载波信号对所述虚设电容，具有倒相通过调节增益载波信号调整电路来抑制虚设电容沿（31） 有。

    Pressure sensor with differential capacitive output
    10.
    发明专利
    Pressure sensor with differential capacitive output 有权
    具有差分电容输出的压力传感器

    公开(公告)号：JP2014048292A

    公开(公告)日：2014-03-17

    申请号：JP2013176866

    申请日：2013-08-28

    申请人： Freescale Semiconductor Inc ,  フリースケール セミコンダクター インコーポレイテッド

    发明人： MCNEIL ANDREW C ,  LIN YIZHEN

    IPC分类号： G01L9/00 ,  B60C23/04 ,  B81B3/00 ,  G01L13/06 ,  H01L29/84

    CPC分类号： G01L9/0072 ,  B60C23/0408 ,  G01L9/12

    摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a pressure sensor with a differential capacitive output.SOLUTION: A MEMS pressure sensor device is provided that can provide both a linear output with regard to external pressure and a differential capacitance output so as to improve the signal amplitude level. These benefits are provided through use of a rotating proof mass that generates capacitive output from electrodes configured at both ends of the rotating proof mass. A sensor output can then be generated using a difference between the capacitances generated from these ends of the rotating proof mass. An additional benefit of such a configuration is that the differential capacitance output changes in a more linear fashion with respect to external pressure changes than does a capacitive output from traditional MEMS pressure sensors.

    摘要翻译： 要解决的问题：提供具有差分电容输出的压力传感器。解决方案：提供一种MEMS压力传感器装置，其可以提供关于外部压力的线性输出和差分电容输出，以便提高信号幅度电平 。 这些优点通过使用旋转检测质量块来提供，该质量体在旋转检验质量体两端配置电极产生电容性输出。 然后可以使用从旋转检验质量的这些端部产生的电容之间的差异来生成传感器输出。 这种配置的另外的好处是差分电容输出相对于来自传统MEMS压力传感器的电容输出相对于外部压力变化更线性地变化。