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    欠陥検査装置及び欠陥検査方法
    2.
    发明专利
    欠陥検査装置及び欠陥検査方法 审中-公开
    缺陷检查装置和缺陷检查方法

    公开(公告)号：JP2016038302A

    公开(公告)日：2016-03-22

    申请号：JP2014162012

    申请日：2014-08-08

    申请人： 株式会社日立ハイテクノロジーズ

    发明人： 浦野 雄太 ,  本田 敏文

    IPC分类号： H01L21/66 ,  G01N21/956

    CPC分类号： G01N21/95623 ,  G01N2021/9513 ,  G01N21/9501 ,  G01N2201/0638

    摘要： 【課題】光学式暗視野欠陥検査において、欠陥の種類、欠陥形状の方向性、又は背景パターンの方向性に依存しない、垂直照明を用いた検査を提供する。 【解決手段】欠陥検査において、光源101から発射されたレーザを線状に集光し、線状に集光したレーザをミラーで反射し、反射したレーザを対物レンズ102を介してテーブルに載置した試料に垂直方向から照射し、レーザを垂直方向から照射した試料からの反射散乱光を対物レンズ102で集光し、対物レンズ102で集光した試料からの反射散乱光のうち試料上に形成された周期的なパターンから発生する回折光とミラーから発生する散乱光とを空間フィルタで遮光し、空間フィルタで遮光されなかった試料からの反射散乱光を結像レンズ105に入射させて反射散乱光の像を形成し、形成した反射散乱光の像を検出器で検出し、検出器106で反射散乱光の像を検出して得た検出信号を処理して試料上の欠陥を検出する。 【選択図】図1

    摘要翻译： 要解决的问题：使用不依赖于缺陷形状的缺陷形状的方向特性或背景图案的方向性的光学暗场缺陷检查中的垂直照明的检查。解决方案：在缺陷检查中 从光源101发射的激光线被线性收集，线性收集的激光被反射镜反射，反射的激光通过物镜102从垂直方向照射在安装在台上的样本上，反射散射 从垂直方向辐射激光的样品的光由物镜102收集，从形成在样品上的周期性图案产生的衍射光和来自反射散射光的反射镜产生的散射光 由物镜102收集的样本被空间滤光片遮蔽， 未被空间滤光器屏蔽的e样品进入图像形成透镜105以形成反射散射光的图像，由反射散射光形成的图像由检测器检测，并且获得的检测信号 通过检测器106检测反射散射光的图像进行处理，以便检测样本上的缺陷。图1：图1

    Defect detection method
    4.
    发明专利
    Defect detection method 有权
    缺陷检测方法

    公开(公告)号：JP2014041081A

    公开(公告)日：2014-03-06

    申请号：JP2012184034

    申请日：2012-08-23

    申请人： Nuflare Technology Inc ,  株式会社ニューフレアテクノロジー

    发明人： SUGIHARA SHINJI ,  OGAWA TSUTOMU ,  INOUE HIROSHI

    IPC分类号： G01N21/956 ,  G01B11/30 ,  G06T1/00 ,  H01L21/027

    CPC分类号： G01N21/95623 ,  G01N21/9501

    摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a defect detection method capable of detecting a defect in a minute pattern.SOLUTION: By radiating light from a light source constituting an optical system, an optical image of a specimen having a repeated pattern of a size equal to or smaller than the resolution of the optical system is obtained a plurality of times under different conditions of the optical system. Correction processing is performed on the plurality of optical images with the use of at least one of a noise filter and a convolution filter. On the basis of any one of the plurality of optical images, positions of the other optical images are shifted, a relation between a shift amount of the other optical images and a change of correlation of gradation values among the plurality of optical images is obtained, and alignment of the plurality of optical images is performed based on the shift amount when the correlation is highest.And then a defect in the specimen is detected with the use of the plurality of optical images after alignment. Defect detection is performed by plotting each pixel of the plurality of optical images in a gradation value space, and separating pixels with a defect from pixels without a defect.

    摘要翻译： 要解决的问题：提供能够检测微小图案中的缺陷的缺陷检测方法。解决方案：通过从构成光学系统的光源照射光，具有尺寸等于 或小于光学系统的分辨率在光学系统的不同条件下多次获得。 利用噪声滤波器和卷积滤波器中的至少一个对多个光学图像执行校正处理。 基于多个光学图像中的任何一个，其他光学图像的位置被移位，获得其他光学图像的偏移量与多个光学图像之间的灰度值的相关性变化之间的关系， 并且基于相关性最高时的偏移量来执行多个光学图像的对准。然后通过使用对准后的多个光学图像来检测样本中的缺陷。 通过绘制灰度值空间中的多个光学图像的每个像素，并且将缺陷的像素与不存在缺陷的像素分开来执行缺陷检测。

    Defect inspection device and defect inspection method
    10.
    发明专利
    Defect inspection device and defect inspection method 审中-公开
    缺陷检查装置和缺陷检查方法

    公开(公告)号：JP2012117814A

    公开(公告)日：2012-06-21

    申请号：JP2010264802

    申请日：2010-11-29

    申请人： Hitachi High-Technologies Corp ,  株式会社日立ハイテクノロジーズ

    发明人： TANIGUCHI ATSUSHI ,  UENO TAKETO ,  MATSUMOTO SHUNICHI ,  HONDA TOSHIFUMI

    IPC分类号： G01N21/88 ,  G01N21/956

    CPC分类号： G01N21/95623 ,  G01N21/9501 ,  G01N21/956 ,  G01N2021/8477

    摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a defect inspection device and a defect inspection method that prevents defect signals from dropping so as not to overlook defects.SOLUTION: In a defect inspection method and a defect inspection device using the method, an object to be inspected on whose surface a pattern is formed is irradiated with light. Reflection light, diffraction light, and scattered light emitted from the object to be inspected that has been irradiated with light are condensed, and then the condensed light passes through a first spatial filter having a first light-shielding pattern. A first detector receives a first optical image made of the light having passed the first spatial filter so that a first image is obtained. The reflection light, diffraction light, and scattered light emitted from the object to be inspected that has been irradiated with light are condensed, and then the condensed light passes through a second spatial filter having a second light-shielding pattern. A second detector receives a second optical image made of the light having passed the second spatial filter so that a second image is obtained. The obtained first image and second image are integrally processed so that a defect candidate can be determined.

    摘要翻译： 要解决的问题：提供一种防止缺陷信号掉落以避免忽视缺陷的缺陷检查装置和缺陷检查方法。 解决方案：在使用该方法的缺陷检查方法和缺陷检查装置中，对其表面形成图案的被检查物体进行照射。 从被照射的被检查物体射出的反射光，衍射光和散射光被冷凝，然后会聚的光通过具有第一遮光图案的第一空间滤光器。 第一检测器接收由已经通过第一空间滤波器的光构成的第一光学图像，从而获得第一图像。 从被照射的被检查物体发出的反射光，衍射光和散射光被冷凝，然后聚集的光通过具有第二遮光图案的第二空间滤光器。 第二检测器接收由已经通过第二空间滤波器的光构成的第二光学图像，从而获得第二图像。 所获得的第一图像和第二图像被整体处理，使得可以确定缺陷候选。 版权所有（C）2012，JPO＆INPIT