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公开(公告)号：JP2017531170A
公开(公告)日：2017-10-19
申请号：JP2017508502
申请日：2015-08-14
Inventor： イッサドア デイビッド , イッサドア デイビッド , ムルネー ウォルダーマリアム メラク , ムルネー ウォルダーマリアム メラク
CPC classification number: G01N21/6428 , B01L3/502784 , B01L2300/0627 , B01L2300/0861 , G01N2201/063
Abstract: 液滴を分析するためのマイクロ流体デバイスが開示されている。開示されているマイクロ流体デバイスは、基板と基板上に形成されたマイクロ流体チャネルとを有している。マイクロ流体チャネルは、複数の流路を含み、複数の流路のそれぞれは、流路を通過する液滴の信号を変調するように構成されたマスクパターンを有し、複数の流路を通過する複数の液滴が複数の信号を生成する。また、マイクロ流体デバイスは、複数の信号を検出するように構成されている。基板上に形成された、マイクロ流体チャネルを有するマイクロ流体デバイスで複数の液滴を分析する方法が開示されている。開示されている方法は、複数の液滴を複数の流路に通過させることと、複数の流路上に形成された複数のマスクパターンを使用して複数の液滴からの複数の信号を変調することと、複数の信号を検出することと、を含む。
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公开(公告)号：JPWO2014057998A1
公开(公告)日：2016-09-05
申请号：JP2014540879
申请日：2013-10-09
Applicant: 株式会社ニコン
CPC classification number: G01N21/64 , G01N21/6458 , G01N2201/063 , G02B21/0032 , G02B21/367 , G02F1/11 , G02F1/21
Abstract: 標本面を照明する照明装置であって、光源系から射出した可干渉性を持つ光パルス中に配置され、光パルスを横切る方向に音波の進行波を形成する音響光学素子と、音響光学素子から発生する複数の回折光による位相可変の干渉縞よりなる構造化照明を標本面に形成する集光光学系と、を備える。音波の進行波を形成する音響光学素子から発生する複数の回折光による干渉縞を構造化照明として使用できるため、構造化照明を行う場合にその位相を高速にかつ高精度に切り換えることができる。
Abstract translation: 一种照明装置，用于照射所述样品表面，被设置在具有与所述声光装置的相干从光源系统，用于形成一个沿横向于光脉冲的声波的行进波的声光学元件射出的光脉冲 和用于形成样品表面结构化照明通过生成的多个绕射光的由相位可变的干涉条纹的聚焦光学系统。 因为它可以通过从该声光元件产生的衍射光中使用的多个干涉条纹的形成声波作为结构化照明的行波能够以高速和高精确度的相位进行结构化照明时进行切换。
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公开(公告)号：JP6410618B2
公开(公告)日：2018-10-24
申请号：JP2015008109
申请日：2015-01-19
Applicant: 株式会社ニューフレアテクノロジー
IPC: G01B11/30 , G03F1/84 , H01L21/027 , H01L21/66 , G01N21/956
CPC classification number: G01N21/9501 , G01N21/956 , G01N2021/95676 , G01N2201/063 , G03F1/84
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公开(公告)号：JPWO2017090516A1
公开(公告)日：2018-09-13
申请号：JP2016084194
申请日：2016-11-18
Applicant: 日本電気株式会社
Inventor： 田中 聡寛
IPC: G01N21/39 , G01N21/3504
CPC classification number: G01N21/3504 , G01N21/39 , G01N2201/061 , G01N2201/063 , G01N2201/0833
Abstract: 簡単な構成で低コストに多地点のガス検知を行うために、ガス検知装置は、光波長変調器によってパルス光が変調されて生成された、波長が時間的に変化するパルス光を第1の光信号として伝送路に出力する送信手段と、大気中を伝搬させた第1の光信号を第2の光信号として出力するセンサヘッドから出力された第2の光信号を受光して電気信号に変換し、電気信号の振幅の時間的変化に基づいて、大気中に含まれる所定の種類のガスをセンサヘッド毎に検知し、ガスの検知の結果を出力する受信手段と、を備える。
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公开(公告)号：JP6011638B2
公开(公告)日：2016-10-19
申请号：JP2014549795
申请日：2013-11-19
Applicant: コニカミノルタ株式会社
IPC: G01N21/27
CPC classification number: G01N21/21 , G01N21/251 , G01N2201/063 , G01N33/32
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JP6387416B2
公开(公告)日：2018-09-05
申请号：JP2016545709
申请日：2014-11-27
Applicant: ネックスティン,インコーポレイテッド , サムスン エレクトロニクス カンパニー リミテッド
IPC: G02B21/36 , H01L21/66 , G01N21/956
CPC classification number: G01N21/8851 , G01N21/8806 , G01N21/9501 , G01N2021/8887 , G01N2201/063 , H01L22/12
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公开(公告)号：JP6255152B2
公开(公告)日：2017-12-27
申请号：JP2012163222
申请日：2012-07-24
Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ
IPC: G01N21/956
CPC classification number: G01N21/9501 , G01N21/01 , G01N21/88 , G01N21/94 , G01N2201/063 , H01L21/67288
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公开(公告)号：JPWO2014083798A1
公开(公告)日：2017-01-05
申请号：JP2014549795
申请日：2013-11-19
Applicant: コニカミノルタ株式会社
IPC: G01N21/27
CPC classification number: G01N21/21 , G01N21/251 , G01N33/32 , G01N2201/063
Abstract: 本発明の反射特性測定装置は、厚さ方向に重ねてホルダーに保持される照明光用および反射光用の各偏光板を有し、前記ホルダーは、被保持姿勢を決める被嵌合部を有し、前記各偏光板それぞれは、前記被嵌合部と嵌合する嵌合部を有し、各嵌合部は、互いの偏光方向を直交させる姿勢で前記各偏光板を前記ホルダーに保持する位置に設けられる。そして、本発明の、前記装置に用いられる偏光板の製造方法では、前記照明光用および前記反射光用の各偏光板は、同一の偏光板部材から打ち抜かれて製造される。
Abstract translation: 本发明的反射特性测量装置具有用于照明光以及用于反射由堆叠在厚度方向上的保持器保持的光的偏振板，保持器可以具有用于确定所保持的姿态一个配合部分 并且，其中，每个偏振片的具有安装有被嵌合部的嵌合部，所述嵌合部保持各偏光板到保持器中的位置，以正交极化方向彼此 它是在一个位置上。 然后，本发明中，在装置中使用的偏振板的制造方法中，对于照明和用于反射光的偏振板是通过相同的偏振板构件的冲压生产。
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9.发明专利Defect detection method, defect detection device, and defect observation device provided with the same 有权缺陷检测方法，缺陷检测装置以及与之相关的缺陷观察装置
公开(公告)号：JP2011106974A
公开(公告)日：2011-06-02
申请号：JP2009262445
申请日：2009-11-18
Applicant: Hitachi High-Technologies Corp , 株式会社日立ハイテクノロジーズ
Inventor： OTANI YUKO , TACHIZAKI TAKEHIRO , WATANABE MASAHIRO , MATSUMOTO SHUNICHI
IPC: G01N21/956 , H01L21/66
CPC classification number: G01N21/8806 , G01N21/21 , G01N21/47 , G01N21/94 , G01N21/9501 , G01N21/95607 , G01N21/95623 , G01N2021/8822 , G01N2021/8848 , G01N2201/06113 , G01N2201/063
Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an apparatus for detailed observation of defects detected by an optical defect inspection apparatus or by an optical visual inspection apparatus capable of placing a defect to be observed into the field of view of an electronic microscope or the like, without fail, and reducing the size of the apparatus. SOLUTION: An electronic microscope 5, for observing defects detected by an optical defect inspection apparatus or an optical visual inspection apparatus, is configured in such a manner that an optical microscope 14 for redetecting defects is mounted thereupon and that a distribution polarization element and a spatial filter are inserted in its pupil surface, when the optical microscope 14 is used to observe dark field. In an electronic microscope 5 for observing the defects detected by an optical defect inspection apparatus or an optical visual inspection apparatus, an optical microscope 14 for redetecting defects is mounted thereupon and a distribution filter is inserted in its pupil surface, when the optical microscope 14 is used to observe dark field. COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT
Abstract translation: 要解决的问题：提供一种用于详细观察由光学缺陷检查装置或能够将观察到的缺陷放置在电子显微镜的视场中的光学目视检查装置检测到的缺陷的装置，或者 喜欢，没有失败，并减少设备的大小。 解决方案：用于观察由光学缺陷检查装置或光学目视检查装置检测到的缺陷的电子显微镜5被配置为使得用于重新检测缺陷的光学显微镜14安装在其上，并且分布偏振元件 并且当光学显微镜14用于观察暗场时，将空间滤光片插入其瞳孔表面。 在用于观察由光学缺陷检查装置或光学目视检查装置检测到的缺陷的电子显微镜5中，在其上安装用于重新检测缺陷的光学显微镜14，并且在光学显微镜14为 用于观察暗场。 版权所有（C）2011，JPO＆INPIT
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公开(公告)号：JP2018072680A
公开(公告)日：2018-05-10
申请号：JP2016214620
申请日：2016-11-01
Applicant: 株式会社島津製作所
IPC: G02B21/06
CPC classification number: G02B21/362 , G01N21/35 , G01N2201/063 , G02B5/005
Abstract: 【課題】アパーチャ板の開閉機構と回転機構とを備えた駆動機構の組み立て後、アパーチャ板の開閉中心と回転中心が一致していない場合に、それらを一致させる。 【解決手段】1対のアパーチャ板301に固定された駆動ブロック307と、駆動ブロック307の一方向の移動のみを許容する直動ガイド306と、前記一方向に延設され逆向きに進行する1対の螺旋状の溝が形成された送りねじ302と、送りねじ302の回転に伴う回転が規制されたナット部材305と、駆動ブロック307のそれぞれをナット部材305に押し付ける1対の付勢部材309と、駆動ブロック307とナット部材305の間に配置されその距離を調整する距離調整部材310とを有するアパーチャ板の開閉機構と、アパーチャ板の開閉機構を回転させる回転機構とを備えたアパーチャ板の駆動機構を提供する。 【選択図】図4
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