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公开(公告)号：JP2016018216A
公开(公告)日：2016-02-01
申请号：JP2015136911
申请日：2015-07-08
发明人： マルティン ミュラー , ニコ プレッサー , グンター メーラー
IPC分类号： G02B21/06
CPC分类号： G01N21/6408 , G01N21/6458 , G02B21/0032 , G02B21/0076 , G02B21/008 , G01N2201/06113 , G01N2201/067 , G01N2201/0675
摘要： 【課題】できるだけ短い実験時間の場合に、非常に短い時間での高い反復率を達成するため、少ない手間で光電子増倍管の最大限の保護を保証する走査型レーザ顕微鏡の動作方法を提供する。 【解決手段】少なくとも1つの照明光源が配置されている照明用ビーム経路と、少なくとも1つの光電子増倍管が検出器として用いられている検出用ビーム経路と、蛍光実験を制御するための制御ユニットAとを備えており、制御ユニットAにより変化しつつ、試料が高い強度で照明され、その後すぐに試料点および試料領域のうちの少なくとも一方の蛍光減衰挙動が検出される走査型レーザ顕微鏡の動作方法において、この制御ユニットAにより、光電子増倍管の高電圧供給において直接的にスイッチSCHを介して、照明モードに応じた光電子増倍管のスイッチオンおよびオフが行われる。 【選択図】図3
摘要翻译： 要解决的问题：为了提供一种激光扫描显微镜的操作方法，其在最短的可能的实验持续时间内以经济的方式确保最大限度地保护光电倍增管，以便在最短量的 时间。解决方案：提供了一种激光扫描显微镜的操作方法，该激光扫描显微镜包括其中设置有至少一个照明光源的照明光束路径，其中结合有至少一个光电倍增管作为检测器的检测光束路径， 和用于控制荧光实验的控制单元（A）。 激光扫描显微镜的操作方法包括：经由控制单元交替地以高强度照射样品; 随后检测样品点和/或样品区域的荧光衰减行为; 并且通过控制单元经由直接在光电倍增管的高压电源中的开关来切换光电倍增管根据照明模式的开关。图3
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公开(公告)号：JP2014521067A
公开(公告)日：2014-08-25
申请号：JP2014518605
申请日：2012-06-12
申请人： ケーエルエー−テンカー コーポレイション
发明人： シャンカー クリシュナン , ハイミン ワン
IPC分类号： G01B11/02 , G01B11/06 , G01N21/21 , H01L21/027
CPC分类号： G01N21/55 , G01B11/065 , G01B2210/56 , G01J3/021 , G01J3/0229 , G01J3/42 , G01N21/00 , G01N21/211 , G01N2021/213 , G01N2021/214 , G01N2201/0675
摘要： 基板上で複数波長、複数方位、複数入射角の読み取りを行う分光機器。 当該機器は、照明ビームを発生する広帯域光源と、照明を、同時に複数の方位角度および複数の入射角度で基板上に向け、それによって反射ビームを発生させる対物レンズと、照明開口、および所望の慎重な組み合わせの方位角度および入射角度を有する反射ビームの部分を選択的に通すためにその中に形成される複数の収集開口、を有する開口プレートと、慎重な組み合わせの方位角度および入射角度を受け取って、読み取り値を生成するための検知器と、読み取り値を解釈するためのプロセッサとを有する。
摘要翻译： 一种用于在衬底上进行多波长，多方位角，多角度入射读数的光谱仪器，该仪器具有用于产生照明光束的宽带光源，用于将多个方位角的照明引导到衬底上的物镜 角度和多个入射角，从而产生反射光束，具有照明孔的孔板和形成在其中的多个收集孔，用于选择性地通过具有期望的方位角和角度的离散组合的反射光束的部分 - 用于接收方位角和入射角的离散组合并产生读数的检测器，以及用于解释读数的处理器。
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公开(公告)号：JP2013525770A
公开(公告)日：2013-06-20
申请号：JP2013505373
申请日：2011-03-02
发明人： フォルカー ザイフリート , ヴェルナー クネーベル
IPC分类号： G01N21/64
CPC分类号： G02B21/0076 , G01N21/6428 , G01N21/6458 , G01N2201/0675 , G02B21/0056 , G03H1/0404 , G03H1/08 , G03H1/0866
摘要： 顕微鏡（２０）で試料（３０）を検査するために、試料（３０）内の色素粒子（４０、４２）が第一照射光ビーム（２４）によって蛍光発光状態に励起される。 試料（３０）から放出する蛍光は光学装置（３４）を介してエリアセンサ（３６）へ向けられ、当該光学装置（３４）は、蛍光の複数の部分ビームが自身と干渉するように当該蛍光に作用し、当該干渉によって生じる干渉パターンがエリアセンサ（３６）の高感度表面上に投影されて後者によって検出される。 試料（３０）内の色素粒子（４０、４２）の位置が、当該干渉パターンにしたがって決定される。
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公开(公告)号：JP2011525985A
公开(公告)日：2011-09-29
申请号：JP2011515725
申请日：2009-06-09
发明人： ツァフリル アヴニ , シャイ シルバースタイン
IPC分类号： G01N21/956 , G01N21/84
CPC分类号： G01N21/9501 , G01N21/9503 , G01N21/95607 , G01N21/95623 , G01N2021/8825 , G01N2201/067 , G01N2201/0675 , G01N2201/0697 , G01N2201/1241
摘要： 光学検査システム又はツールは、照明の１つ又はそれよりも多くの特性が、異なる区域の検査の必要性を満たすように調節される動的照明を用いて物体を検査するように構成することができる。 例えば、照明強度は、ツールがメモリの区域及びウェーハダイの周縁部特徴を検査する時に増加又は減少させることができる。 一部の実施形態では、調節は、様々な特性を有する照明に基づいて撮った画像が検査工程の残りの部分の適合性に対して評価される検査前設定シーケンス中に得られるデータに基づくことができる。
【選択図】図３-
公开(公告)号：JP2018189946A
公开(公告)日：2018-11-29
申请号：JP2018051117
申请日：2018-03-19
发明人： ランドリー ジョセフ ラッセル , 伊藤 良輔 , マンデラ マイケル ジェイ. , ソルガード オラフ
CPC分类号： G02B21/0088 , G01N21/6458 , G01N2201/0675 , G02B21/0032 , G02B21/0076 , G02B21/365 , G02B21/367
摘要： 【課題】蛍光顕微鏡法において試料による散乱から生じる問題を抑制する。 【解決手段】システム10Aは、空間変調されたイメージング場100aを提供する構造化照明ステージ110Aを含む。システムは、空間変調されたイメージング場の周波数を調整する空間周波数変調ステージ120A、空間変調されたイメージング場100bを試料135に導く試料インターフェースステージ130、及び試料からの複数の蛍光放射信号100cを受光するように構成されるセンサー150を含む。システムは、また、試料散乱信号を減らし、空間変調されたイメージング場を含む試料の一部からの蛍光放射信号を提供するように構成されるプロセッサー30を含む。システムを用い試料の像を形成する方法も提供される。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP6416887B2
公开(公告)日：2018-10-31
申请号：JP2016514083
申请日：2014-05-15
发明人： ブラウン,ジョナサン クインシー
CPC分类号： A61B5/0071 , A61B10/02 , A61B2090/366 , A61B2090/3941 , G01N1/30 , G01N21/6458 , G01N2001/302 , G01N2021/6419 , G01N2021/6421 , G01N2021/6441 , G01N2201/0635 , G01N2201/0675 , G01N2201/129 , G02B21/0076 , G02B21/16 , G02B21/365 , G02B21/367 , G06K9/52 , G06K9/6267 , H04N5/2256
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公开(公告)号：JP6193875B2
公开(公告)日：2017-09-06
申请号：JP2014543976
申请日：2012-11-30
申请人： ザ ユニバーシティ オブ ノッティンガム
发明人： シャープレス ステフン , ライト ローガー
CPC分类号： G01N21/1702 , G01H9/00 , H01L27/14609 , G01N2201/0612 , G01N2201/0675
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公开(公告)号：JP2016526185A
公开(公告)日：2016-09-01
申请号：JP2016514083
申请日：2014-05-15
发明人： クインシー ブラウン，ジョナサン , クインシー ブラウン，ジョナサン
IPC分类号： G02B21/06 , G01N21/64 , G01N33/48 , G01N33/483 , G02B21/36
CPC分类号： G02B21/16 , A61B5/0071 , A61B10/02 , A61B2090/3941 , G01N1/30 , G01N21/6458 , G01N2001/302 , G01N2021/6419 , G01N2021/6421 , G01N2021/6441 , G01N2201/0635 , G01N2201/0675 , G01N2201/129 , G02B21/0076 , G02B21/365 , G02B21/367 , G06K9/52 , G06K9/6267 , H04N5/2256
摘要： 医療手技の間に、照明下で蛍光を発するように準備された新鮮な組織試料を評価するための、システムおよび方法が提供される。空間的にパターン化された光線を新鮮な組織試料に投射するように、構造化光源が構成される。照射された新鮮な組織試料から放出される蛍光から画像を生成するように、イメージングシステムが構成される。医療手技に関連する、人間が理解できて臨床的に有用な出力を提供するように、システム制御部が構成される。
摘要翻译： 在医疗过程，来评估制备的新鲜组织样品在光照下，系统如发荧光和被提供的方法。 投影空间图案化的束到新鲜组织样品，所述结构化光源构成。 从被照射的新鲜组织样品发射以产生图像的荧光，其被构造成像系统。 与医疗程序相关联的，例如人类提供临床上有用的输出可以明白，该系统控制单元被配置。
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公开(公告)号：JP2015505362A
公开(公告)日：2015-02-19
申请号：JP2014543976
申请日：2012-11-30
发明人： ステフン シャープレス , ステフン シャープレス , ローガー ライト , ローガー ライト
CPC分类号： G01N21/1702 , G01H9/00 , G01N2201/0612 , G01N2201/0675 , H01L27/14609
摘要： 光学検出器であって、複数のピクセルを備え、各ピクセルは、そのピクセルに入射する光を検出し、その光の強度を示す信号を発生するように動作可能なフォトダイオードを備える。前記複数のピクセルは、複数のピクセルペアを備え、前記検出器は、コンフィギュレーションモードにおいて、ピクセルペア毎に、前記ペアの第1ピクセルにより生じた信号を前記ペアの第2ピクセルにより生じた信号と比較するように構成される。上述の光学検出器を組み込んだシステムのように、光学検出方法もまた記載される。
摘要翻译： 光学检测器，包括多个像素，每个像素检测该像素的光入射，其包括可操作光电二极管以产生表示光的强度的信号。 其中，所述多个像素包括多个像素对中，检测器是在配置模式中，对于每对像素，由对与第一像素中产生的对信号的第二像素中产生的信号 配置比较。 正如在结合上述的光学检测器系统，还描述了光学检测方法。
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公开(公告)号：JP2015011025A
公开(公告)日：2015-01-19
申请号：JP2013220726
申请日：2013-10-24
申请人： 韓国科学技術院Korea Advanced Institute Of Science And Technology , Korea Advanced Inst Of Sci Technol , 韓国科学技術院Korea Advanced Institute Of Science And Technology
发明人： PARK YONGKEUN , PARK JEONG HOON , CHO YONG-HOON , PAKU CHUNHYON
CPC分类号： G01N21/4788 , G01N21/45 , G01N21/49 , G01N2021/479 , G01N2201/0675 , G01Q60/18 , G01Q60/22
摘要： 【課題】光源からの光が散乱層を通過して出る面の近接場光を制御する装置を提供する。前記面の近接場を制御するために光の散乱を用いて目標地点に強め合う干渉を生じる入射する光の位相を探す方法が開示される。【解決手段】近接場制御方法において、波面調節器を用いてコヒーレント光源からの光の位相を制御するステップと、位相が制御された光を散乱層に通過させるステップと、散乱層を通過した前記光が出る面の近接場を測定するステップとを含む。【選択図】図4
摘要翻译： 要解决的问题：提供一种用于控制来自光源的光在通过散射层之后的表面上的近场光的装置，并且提供一种发现入射光的相位的方法， 使用光的散射对目标点进行增强的干扰，以便控制表面的近场光。解码：近场控制方法包括以下步骤：使用相干光源控制来自相干光源的光的相位 波表面调理剂; 使相位被控制的光通过散射层; 并且测量已经穿过散射层的光的表面的近场。
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