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    センサー素子、電子機器、および移動体
    3.
    发明专利
    センサー素子、電子機器、および移動体 有权
    传感器元件，电子设备和移动体

    公开(公告)号：JP2014224739A

    公开(公告)日：2014-12-04

    申请号：JP2013103789

    申请日：2013-05-16

    申请人： セイコーエプソン株式会社 ,  Seiko Epson Corp

    发明人： TAKAGI NARIKAZU

    IPC分类号： G01P15/125 ,  B81B3/00 ,  G01P15/08 ,  H01L29/84

    CPC分类号： G01P15/125 ,  B81B3/0008 ,  B81B2201/0235 ,  G01P2015/0831 ,  G01P2015/0871

    摘要： 【課題】可動体と基板と、または可動体と固定電極と、の当接が抑制されたセンサー素子を提供する。【解決手段】センサー素子は、検出電極部と、検出電極部に対向して設けられている可動体と、検出電極部を垂直方向から平面視した場合に、検出電極部が設けられている領域に設けられ可動体に向かって突出する突起部と、が設けられ、表面の少なくとも一部は絶縁材である突起部が設けられている。【選択図】図1

    摘要翻译： 要解决的问题：提供一种传感器元件，其中可移动体和基底之间或可移动体与固定电极之间的接触被抑制。解决方案：传感器元件设置有检测电极部分，提供的可移动体 与检测电极部相对地设置有突起部，设置在检测电极的设置区域，并且从垂直方向在检测电极部的俯视图中朝向可动体突出。 突起部的表面的至少一部分是绝缘材料。

    Accelerometer
    4.
    发明专利
    Accelerometer 有权

    公开(公告)号：JP2014500498A

    公开(公告)日：2014-01-09

    申请号：JP2013542599

    申请日：2011-12-02

    申请人： アトランティック・イナーシャル・システムズ・リミテッドAtlantic Inertial Systems Limited

    发明人： マルベーン、アラン

    IPC分类号： G01P15/125 ,  G01P15/18 ,  H01L29/84

    CPC分类号： G01P15/125 ,  G01P15/18 ,  G01P2015/0814 ,  G01P2015/0871

    摘要： 支持体と、第１のマス要素と、第２のマス要素とを具備する加速度計である。 第１及び第２のマス要素は、ユニタリ可動プルーフマスを形成するように緊密に互いに連結されている。 支持体は、第１のマス要素と第２のマス要素との間に少なくとも部分的に位置されている。 複数の装着脚が、支持体に対する移動に対して第１及び第２のマス要素を支持している。 可動コンデンサフィンガの少なくとも２つのグループが、第１のマス要素に設けられ、かつ、支持体と連結された固定コンデンサフィンガの対応するグループと互いに噛合している。 可動コンデンサフィンガの少なくとも２つのグループが、第２のマス要素に設けられ、かつ、支持体と連結された固定コンデンサフィンガの対応するグループと互いに噛合している。

    External force detector
    5.
    发明专利
    External force detector 审中-公开
    外力检测器

    公开(公告)号：JP2013124928A

    公开(公告)日：2013-06-24

    申请号：JP2011273775

    申请日：2011-12-14

    申请人： Nippon Dempa Kogyo Co Ltd ,  日本電波工業株式会社

    发明人： KOYAMA MITSUAKI ,  MUTO TAKESHI

    IPC分类号： G01P15/10 ,  G01L9/00 ,  G01L9/08 ,  H01L41/08 ,  H01L41/18

    CPC分类号： H01L41/1132 ,  G01P15/097 ,  G01P15/125 ,  G01P2015/0871 ,  G01P2015/0874

    摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To easily and precisely detect external force given to a piezoelectric piece and to suppress influences of electrostatic charge charged with the piezoelectric piece.SOLUTION: A crystal piece 2 is supported by a cantilever in a container 1. Excitation electrodes 31, 41 are formed on an upper surface and a lower surface of the crystal piece 2 respectively, a movable electrode 5 connected to the excitation electrode 41 is provided at a tip part on a lower surface side of the crystal piece 2, and a fixed electrode 6 is provided for a bottom part of the container 1. An oscillation loop which returns to an oscillation circuit via the excitation electrodes 31, 41, the movable electrode 5, and the fixed electrode 6 is formed, and a change of capacity between the electrodes 5 and 6 caused by warp of the crystal piece 2 due to external force given to the crystal piece is detected as a frequency. A switch 21 for opening/closing a static eliminated circuit for discharging electrostatic charge generated in the crystal piece 2 to a ground.

    摘要翻译： 要解决的问题：为了容易且精确地检测给予压电片的外力，并抑制对压电片充电的静电荷的影响。 解决方案：晶体片2由容器1中的悬臂支撑。激光电极31,41分别形成在晶体片2的上表面和下表面上，可动电极5连接到激发电极 41设置在晶体片2的下表面侧的尖端部分，并且为容器1的底部提供固定电极6.振荡回路经由激励电极31,41返回到振荡电路 形成可动电极5和固定电极6，并且检测由于施加到晶体片的外力而导致的晶体片2的翘曲引起的电极5,6之间的电容变化的频率。 用于打开/关闭用于将在晶片2中产生的静电电荷释放到地面的静电消除电路的开关21。 版权所有（C）2013，JPO＆INPIT

    Micromechanical structure comprising movable part having stopping portion for out-of-plane displacement of structure, and production process therefor
    6.
    发明专利
    Micromechanical structure comprising movable part having stopping portion for out-of-plane displacement of structure, and production process therefor 有权
    包含结构不平坦位移的止动部分的可移动部件的微观结构及其生产过程

    公开(公告)号：JP2011148084A

    公开(公告)日：2011-08-04

    申请号：JP2010286052

    申请日：2010-12-22

    申请人： Commissariat A L'energie Atomique & Aux Energies Alternatives ,  コミッサリア ア レネルジー アトミーク エ オ ゼネルジ ザルタナテイヴ

    发明人： ROBERT PHILIPPE ,  WALTHER ARNAUD

    IPC分类号： B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  G01P15/12 ,  G01P15/125 ,  H01L29/84

    CPC分类号： B81C1/00476 ,  B81B3/0051 ,  B81C1/00984 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/125 ,  G01P2015/0817 ,  G01P2015/0871 ,  H04R2201/003

    摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a simplified production process of a MEMS or a NEMS system, provided with an active structure having a mobile part and a fixed part formed of a stack of layers on a substrate, and provided with surfaces facing each other, wherein these surfaces can form, for example, stopping portions, or detection or operation electrodes, according to an application of the system.
    SOLUTION: The production process is provided, for producing a micromechanical structure comprising: a substrate and a stack of at least two layers arranged on the substrate; a mobile part formed in the stack and a fixed part relative to the substrate formed in the stack; and surfaces formed between the fixed part and the mobile part, and facing each other, the process for forming, for example, stop means to limit a displacement of the mobile part in a direction substantially perpendicular to the stack, and for using at least one sacrificial layer between the substrate and the stack made of a material suitable to be etched selectively relative to the materials of the stack.
    COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

    摘要翻译： 要解决的问题：为了提供一种MEMS或NEMS系统的简化生产过程，其具有主动结构，该主动结构具有可移动部分和在基板上由堆叠层形成的固定部分，并且设置有面向 彼此之间，其中这些表面可以根据系统的应用形成例如停止部分或检测或操作电极。 解决方案：提供制造方法，用于制造微机械结构，包括：衬底和布置在衬底上的至少两层的叠层; 形成在所述堆叠中的可移动部件和相对于形成在所述堆叠中的所述基板的固定部分; 以及形成在固定部件和可移动部件之间并且彼此面对的表面，用于形成例如停止装置的过程以限制可移动部件在基本上垂直于堆叠的方向上的位移，并且用于使用至少一个 牺牲层在衬底和堆叠之间，由适于相对于堆叠的材料选择性蚀刻的材料制成。 版权所有（C）2011，JPO＆INPIT

    Acceleration sensor and its manufacturing method
    7.
    发明专利
    Acceleration sensor and its manufacturing method 有权
    加速度传感器及其制造方法

    公开(公告)号：JP2003329702A

    公开(公告)日：2003-11-19

    申请号：JP2002136596

    申请日：2002-05-13

    申请人： Wacoh Corp ,  株式会社ワコー

    发明人： OKADA KAZUHIRO

    IPC分类号： B81B3/00 ,  G01P15/08 ,  G01P15/12 ,  G01P15/125 ,  H01L29/84

    CPC分类号： G01P15/125 ,  B81B3/0062 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2201/0242 ,  B81B2203/053 ,  B81B2203/055 ,  B81B2203/056 ,  B81B2203/058 ,  G01P15/08 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/123 ,  G01P2015/084 ,  G01P2015/0842 ,  G01P2015/0871

    摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To easily constitute a precise control structure for limiting the displacement of a heavy weight. SOLUTION: A method for manufacturing an acceleration sensor comprises the steps of preparing an SOI substrate having a three-layer structure of a silicon layer 100, a silicon oxide layer 20 and a silicon layer 300, conducting inductively coupled plasma etching capable of selectively removing only silicon from the upper surface, opening slits S1, S2, conducting similar etching for the lower surface from down below, forming grooves G1, G3, and separating the layer 300 into the heavy weights 310 and a pedestal 330 (Fig. (a)). The method further comprises the steps of dipping only the silicon oxide in a selectively removable etching liquid, removing the exposed part in the vicinity of the silicon oxide layer 20, forming a connecting layer 200 (Fig. (b)), and connecting a glass board 400 to the bottom of the pedestal 330. The method also comprises the steps of forming a piezo resistance element on the upper surface of the layer 100, and detecting the deflection. The degrees of freedom of the displacement in the upward direction of the weights 310 are accurately set according to the thickness of the layer 300. COPYRIGHT: (C)2004,JPO

    摘要翻译： 要解决的问题：为了容易地构成用于限制重量的位移的精确控制结构。 解决方案：一种用于制造加速度传感器的方法，包括以下步骤：制备具有硅层100，氧化硅层20和硅层300的三层结构的SOI衬底，其导电电感耦合等离子体蚀刻能够 选择性地从上表面去除硅，打开狭缝S1，S2，从下面对下表面进行类似的蚀刻，形成槽G1，G3，并将层300分离成重物310和基座330（图 一个））。 该方法还包括仅将氧化硅浸入可选择移除的蚀刻液中的步骤，去除氧化硅层20附近的暴露部分，形成连接层200（图（b）），并连接玻璃 板400到基座330的底部。该方法还包括在层100的上表面上形成压电电阻元件并检测偏转的步骤。 根据层300的厚度精确地设定重物310向上方向上的位移的自由度。（C）2004，JPO

    フレームを有する微小電気機械構造体
    8.
    发明专利
    フレームを有する微小電気機械構造体 审中-公开

    公开(公告)号：JP2018151394A

    公开(公告)日：2018-09-27

    申请号：JP2018087341

    申请日：2018-04-27

    申请人： 株式会社村田製作所

    发明人： リトコネン、ヴィッレ−ペッカ

    IPC分类号： B81B3/00 ,  G01P15/125 ,  H01L29/84 ,  G01P15/08

    CPC分类号： G01P15/125 ,  B81B3/0051 ,  B81B3/0086 ,  B81B7/0022 ,  B81B2203/051 ,  G01P2015/0814 ,  G01P2015/0871

    摘要： 【課題】内部または外部の電気的かく乱をより受けにくい堅牢な微小電気機械構造体を提供する。 【解決手段】構造体は、支持体に懸架されている回転子を有する可動要素100と、支持体にアンカーされ、かつ可動要素100を囲む第1のフレーム104と、支持体にアンカーされ、かつ可動要素100と第1のフレーム104との間で、第1のフレーム104から電気的に絶縁されている、可動要素100を囲む第2のフレーム106とを有する。回転子と第2のフレーム106とは、同一の電位を有するように直流的に連結されており、かつ回転子と第2のフレーム106間のギャップが閉じることで作動する動作制限器構造体を含む。 【選択図】図1