公开(公告)号：JP2015167125A

公开(公告)日：2015-09-24

申请号：JP2015003094

申请日：2015-01-09

Applicant: 日本電子株式会社

Inventor： 佐藤 崇

IPC: H01J37/063 ,  H01J37/06 ,  H01J37/302 ,  H01J37/04

CPC classification number: H01J3/08 ,  B22F3/1055 ,  B23K15/002 ,  B23K15/0026 ,  B23K15/0086 ,  B23K15/06 ,  H01J3/02 ,  H01J3/024 ,  H01J3/027 ,  H01J37/063 ,  H01J37/305 ,  B33Y30/00 ,  H01J2237/06308 ,  H01J2237/065 ,  H01J2237/3128 ,  Y02P10/295

Abstract: 【課題】 電流制限絞りが使用できなくとも、輝度を低下させずに電子銃を制御する。 【解決手段】 ウェネルト電極12は、カソードの先端が挿入される第1開口12cを有し、カソード11の先端から放出された熱電子を集束する。制御電極13は、カソード11の先端から放出された熱電子を、第2開口13cに通過させる。アノード14は、カソード11が放出した熱電子を加速し、第2開口13cを通過した熱電子を、第3開口14bに通過させて粉末試料8に電子ビームB1を照射する。制御部22は、電子ビームの輝度を一定に保つため、バイアス電圧及び制御電圧の組み合わせ条件に基づいてバイアス電圧及び制御電圧を設定する制御を行う。 【選択図】 図1

Abstract translation: 要解决的问题：为了控制电子枪而不降低亮度，即使不能使用限流膜。解决方案：Wehnelt电极12具有第一开口12c，阴极11的尖端插入其中，并且聚焦 从阴极11的尖端发射的热电子。控制电极13使从阴极11的前端发射的热电子通过第二开口13c。 在粉末样品8被电子束B1照射之前，阳极14加速从阴极11发射的热电子，并使通过第二开口13c的热电子通过第三开口14b。 为了保持电子束的恒定亮度，控制单元22基于其组合条件执行用于设置偏置电压和控制电压的控制。

公开(公告)号：JP2013521610A

公开(公告)日：2013-06-10

申请号：JP2012556030

申请日：2011-03-11

Applicant: ポステック アカデミー−インダストリー ファウンデーション

Inventor： ヨン ウン パク， ,  イン ス コ， ,  スン ジュ パク， ,  ヨン ジュン パク， ,  スン ハン キム， ,  ジュ ホ ホン， ,  スン イク ムン，

IPC: H05H7/18 ,  G21K5/04 ,  H01J37/06 ,  H01J37/073

CPC classification number: H01J37/06 ,  H01J3/024 ,  H01J3/027 ,  H01J37/075 ,  H01J2237/0473 ,  H01J2237/061 ,  H01J2237/166 ,  Y10T29/49004

Abstract: The present invention relates to an apparatus for generating an electron beam, comprising: a cathode; a housing which has an opening formed at one side thereof such that the cathode is coupled to the opening, and which has a resonant cavity formed therein; and a gasket interposed between the cathode and the housing such that the gasket is compressed in accordance with the coupling strength between the cathode and the housing so as to shut off the resonant cavity from the outside.

公开(公告)号：JP6437316B2

公开(公告)日：2018-12-12

申请号：JP2015003094

申请日：2015-01-09

Applicant: 日本電子株式会社

Inventor： 佐藤 崇

IPC: H01J37/063 ,  H01J37/06 ,  H01J37/302 ,  H01J37/04

CPC classification number: H01J3/08 ,  B22F3/1055 ,  B22F2003/1056 ,  B23K15/002 ,  B23K15/0026 ,  B23K15/0086 ,  B23K15/06 ,  B33Y30/00 ,  H01J3/02 ,  H01J3/024 ,  H01J3/027 ,  H01J37/063 ,  H01J37/305 ,  H01J2237/06308 ,  H01J2237/065 ,  H01J2237/3128 ,  Y02P10/295

公开(公告)号：JP4134000B2

公开(公告)日：2008-08-13

申请号：JP2004314232

申请日：2004-10-28

Applicant: Necマイクロ波管株式会社

Inventor： 徹 千葉 ,  孝継 宗廣

IPC: H01J23/06

CPC classification number: H01J23/065 ,  H01J3/024 ,  H01J2225/14

公开(公告)号：JP2006127899A

公开(公告)日：2006-05-18

申请号：JP2004314232

申请日：2004-10-28

Applicant: Nec Microwave Inc ,  Necマイクロ波管株式会社

Inventor： MUNEHIRO TAKATSUGU ,  CHIBA TORU

IPC: H01J23/06

CPC classification number: H01J23/065 ,  H01J3/024 ,  H01J2225/14

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electron gun with little individual difference due to variation in manufacture, and with good electron emission property.
SOLUTION: An electron gun is provided with a cathode pellet discharging electrons, a heater cap integrating a heater imparting heat energy for discharging electrons to the cathode pellet, a Wehnelt electrode for focusing an electron beam in which the average angle of a surface against the outermost shell of the electron beam is formed to be a shape matching a pierced angle, and a retainer installing and fixing the cathode pellet on the heater cap by restraining the periphery edge of the cathode pellet to the heater cap and a part covering the periphery edge of an electron discharging surface of the cathode pellet works as a part of the Wehnelt electrode.
COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Abstract translation: 要解决的问题：提供由于制造变化而具有很小的个体差异的电子枪，并且具有良好的电子发射性能。 解决方案：电子枪设有排出电子的阴极粒子，加热器帽集成了赋予阴极丸的电子放出热能的加热器，用于聚焦电子束的Wehnelt电极，其中表面的平均角 电子束的最外壳形成为与穿刺角相匹配的形状，保持器通过将阴极丸的周缘限制在加热器盖上而将阴极丸安装并固定在加热器帽上， 阴极颗粒的电子放电表面的外围边缘作为Wehnelt电极的一部分。 版权所有（C）2006，JPO＆NCIPI