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    質量分析装置及び質量分析装置の制御方法
    3.
    发明专利
    質量分析装置及び質量分析装置の制御方法 有权
    质谱仪及其控制方法

    公开(公告)号：JP2015015160A

    公开(公告)日：2015-01-22

    申请号：JP2013141300

    申请日：2013-07-05

    申请人： 株式会社日立ハイテクノロジーズ ,  Hitachi High-Technologies Corp

    发明人： YAMAMOTO AKIO ,  WATANABE TOSHIMITSU ,  OTSUKI SHIGEO ,  KASHIMA KAZUKI ,  YANOKURA TOSHIAKI

    IPC分类号： H01J49/10 ,  H01J49/26

    CPC分类号： H01J49/0031 ,  H01J49/0409 ,  H01J49/0495 ,  H01J49/102

    摘要： 【課題】被測定物の量の変動や、分析結果の精度低下を抑制する質量分析装置及びその制御方法を提供する。【解決手段】測定試料を入れる試料容器8と、試料の質量を分析して試料に含まれる薬物等を検出する検出器9と、前記試料容器と連結し、大気に放電電流を流して電離させる誘電体容器3と、前記試料容器、誘電体容器、検出器に間欠的に大気を送るためのバルブ2と、前記誘電体容器に放電させるためのバリア放電用高圧電源6と、その放電電流を検出する電流検出部5と、電流検出結果に基づき放電開始タイミングを検出する放電開始タイミング検出部7と、各構成を制御する制御部と、を有する質量分析装置であって、前記電流検出部は前記放電開始タイミング検出部で設定された閾値と比較し、該閾値より超えた場合に放電開始信号を前記制御部に送信し、前記制御部は放電開始信号を受信後一定期間放電を行うよう制御することを特徴とする。【選択図】図1

    摘要翻译： 要解决的问题：提供一种质谱仪及其控制方法，能够抑制测量对象的量的变化和分析结果的精度的降低。解决方案：质谱仪包括：样品容器8，用于放置 测量样品; 检测器9，分析样品的质量并检测样品中所含的药物等; 与样品容器连接并且设置用于向空气施加放电电流并使空气电离的电介质体容器3; 用于将空气间歇地供给到样品容器的阀2，电介质体和检测器; 用于放电介电体容器的阻挡放电高压电源6; 检测放电电流的电流检测部5; 放电开始定时检测部7，根据电流检测结果检测放电开始定时; 以及用于控制每个部件的控制器。 电流检测部将检测电流与放电开始定时检测器设定的阈值进行比较，在检测电流大于阈值的情况下，电流检测部向控制器发送放电开始信号。 控制器执行控制，使得在接收到放电开始信号之后的特定时间段内执行放电。

    Flight time type mass spectrometry apparatus
    4.
    发明专利
    Flight time type mass spectrometry apparatus 审中-公开
    飞行时间型质谱仪

    公开(公告)号：JP2013239430A

    公开(公告)日：2013-11-28

    申请号：JP2013049348

    申请日：2013-03-12

    申请人： Canon Inc ,  キヤノン株式会社

    发明人： IWASAKI KOTA

    IPC分类号： H01J49/40 ,  G01N27/62 ,  H01J49/06 ,  H01J49/10

    CPC分类号： H01J49/403 ,  H01J49/022 ,  H01J49/0409 ,  H01J49/14

    摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To solve the problem that: if a primary ion beam is entered obliquely to an object surface, a time difference occurs when primary ions reach the object surface, which results in generating a measurement error in flight time of secondary ions.SOLUTION: A flight time type mass spectrometry apparatus includes hold means of an object, irradiation means for irradiating a surface of the object with a primary group of ions, a withdrawal electrode disposed opposite to the object, and ion detection means for detecting secondary ions discharged from the surface of the object on the basis of a flight time, in which the irradiation means and the hold means are configured so that the primary group of ions is entered obliquely to the surface of the object. The mass spectrometry apparatus is provided with an electric potential gradient generator which generates an electric potential gradient so that an electric potential difference between a position with primary ions reaching the surface of the object at later time and the withdrawal electrode is larger than an electric potential difference between a position with the primary ions reaching the surface of the object at earlier time and the withdrawal electrode.

    摘要翻译： 要解决的问题：为了解决如果将一次离子束倾斜地输入到物体表面，则当一次离子到达物体表面时发生时差，导致二次离子的飞行时间产生测量误差。 解决方案：飞行时间型质谱装置包括物体的保持装置，用于照射初级离子组的物体的表面的照射装置，与物体相对设置的取出电极和用于检测排出的二次离子的离子检测装置 基于飞行时间从物体的表面开始，其中照射装置和保持装置被配置为使得一组离子倾斜地进入物体的表面。 该质谱装置设置有电位梯度发生器，该电位梯度发生器产生电位梯度，使得在稍后时间到达物体表面的一次离子位置与取出电极之间的电位差大于电位差 在初级离子在较早时到达物体表面的位置与取出电极之间。

    Instrument for holding a solid for use in surface ionization technique
    5.
    发明专利
    Instrument for holding a solid for use in surface ionization technique 审中-公开

    公开(公告)号：JP2009539114A

    公开(公告)日：2009-11-12

    申请号：JP2009513406

    申请日：2007-05-25

    申请人： イオンセンス インコーポレイテッド

    发明人： ブライアン ディー マセルマン

    IPC分类号： G01N27/62 ,  H01J49/04 ,  H01J49/10

    CPC分类号： H01J49/16 ,  H01J49/0404 ,  H01J49/0409 ,  H01J49/0459

    摘要： 【課題】質量分析計による検体からの検体イオン及び中性分子の採取を誘導し、それによって所定の面積又は容積から採取し、かつ化学的予備段階の必要なく固体又は液体を採取する装置を提供する。
    【解決手段】本発明は、質量分析計による表面から検体イオン及び中性分子の採取を制限する装置であり、それによって所定の面積又は容積から採取する。 本発明の様々な実施形態では、大気圧で又はその近くで脱離イオン化から所定の空間解像度で形成されたイオンを採取するのに、管が用いられる。 本発明の一実施形態では、静電界は、分析されている試料の表面の近傍に位置決めされた個々の管又は複数の管のいずれかにイオンを誘導するのに用いられる。 本発明の一実施形態では、分析のためにイオン及び中性分子を分光計に引き込むために、広直径試料採取管を真空注入口と共に用いることができる。 本発明の一実施形態では、静電界と共に広直径試料採取管は、イオン収集の効率を改善する。
    【選択図】図７

    スパッタ中性粒子質量分析装置
    8.
    发明专利
    スパッタ中性粒子質量分析装置 有权
    飞溅中子粒子质谱

    公开(公告)号：JP2015176848A

    公开(公告)日：2015-10-05

    申请号：JP2014054601

    申请日：2014-03-18

    申请人： 株式会社東芝

    发明人： 寄崎 理真

    IPC分类号： G01N27/64 ,  H01J49/14 ,  H01J49/10

    CPC分类号： H01J49/161 ,  H01J49/0409 ,  H01J49/0463 ,  H01J49/0468 ,  H01J49/0486 ,  H01J49/06 ,  H01J49/162 ,  G01J1/00

    摘要： 【課題】測定の定量性を保ち、その結果、高感度、かつ、再現性の高めること。 【解決手段】実施形態のスパッタ中性粒子質量分析装置によれば、質量分析の対象とする試料を保持すると共に、試料の温度制御機構を有する試料台と、試料台に保持された前記試料にイオンビームを照射して中性粒子を発生させるイオンビームと、前記中性粒子にレーザを照射し光励起イオンとするレーザ照射装置と、前記光励起イオンを引き出す引き出し電極と、引き出された前記光励起イオンを取り込んで質量分析を行う質量分析計と、前記レーザ照射装置と前記試料台との間のレーザ光路に進退可能に設けられ、前記レーザ光路内に位置する時に前記レーザを反射させる駆動式ミラーと、この駆動式ミラーの反射方向に配置され、前記レーザの特性を検出するプロファイラとを備えている。 【選択図】図1

    摘要翻译： 要解决的问题：提供可以保持测量的定量性并因此提高灵敏度和再现性的溅射中性粒子质谱仪。解决方案：溅射中性粒子质谱仪具有将样品保持为质谱目标的样品台， 具有用于样品的温度控制机构，用离子束照射保持在样品台上的样品以产生中性粒子的离子束发生器，用激光照射中性粒子以产生光激发离子的激光照射装置，提取电极 用于提取光激发离子，质谱仪，用于取出提取的光激发离子并进行质谱分析;驱动型反射镜，其可缩回地设置在激光照射装置和样品台之间的激光光路中，并且当位于 激光光路，以及设置在反射镜中的轮廓仪 n方向并检测激光器的特性。