質量分析のためのイオン輸送装置

    公开(公告)号:JP2018040794A

    公开(公告)日:2018-03-15

    申请号:JP2017168502

    申请日:2017-09-01

    IPC分类号: G01N27/62

    摘要: 【課題】質量分析器において、大気圧インターフェースの汚染に対処可能な、毛細管式イオン輸送装置を提供する。 【解決手段】イオンを1つのチャンバから他の減圧チャンバに輸送するためのイオン輸送装置204は、入口区域214および主毛細管区域218を備えている。入口区域214は、管腔222を有しており、主毛細管区域218は、管腔222に連通する孔を有している。管腔222の内径は、孔の内径よりも小さい。入口区域214は、主毛細管区域218から独立して設置部位から取外し可能になっている。 【選択図】図2

    質量分析装置
    8.
    发明专利
    質量分析装置 有权
    质谱仪

    公开(公告)号:JPWO2013168220A1

    公开(公告)日:2015-12-24

    申请号:JP2014514250

    申请日:2012-05-08

    IPC分类号: H01J49/26 H01J49/06

    摘要: イオン検出器(5)と一体である取付板(10)のフランジ(10a)をOリング等の緩衝部材(12)を介して真空チャンバ(1)の内面に固定する。真空チャンバ(1)は付設されたターボ分子ポンプにより機械的に振動するが、緩衝部材(12)により振動が吸収されるので、イオン検出器(5)の振動は抑制される。その結果、イオン検出器(5)の振動に伴って検出信号に重畳されるノイズが軽減される。このようにして、簡単で廉価な構成により、検出信号の品質を高めることができる。

    摘要翻译: 离子检测器(5)的凸缘安装板(10)是经由缓冲部件(12)和(10a)的积分,例如固定到真空室(1)的内表面的O形环。 真空室(1)机械地由涡轮分子泵安装振动时,振动被缓冲部件(12),所述离子检测器(5)被抑制的振动吸收。 其结果是,噪声叠加在与所述离子检测器(5)的振荡的检测信号被减小。 以这种方式,通过简单且廉价的结构,能够提高检测信号的质量。