イメージセンサ及びセンサ装置
    1.
    发明专利

    公开(公告)号:JP2018190803A

    公开(公告)日:2018-11-29

    申请号:JP2017090592

    申请日:2017-04-28

    发明人: 関根 裕之

    摘要: 【課題】高精細、高フレームレート及び高いSN比という特性を有するイメージセンサ等を提供すること。 【解決手段】イメージセンサは、基板上に配置された第1ゲート電極及び第2ゲート電極を有する第1のTFTと、第2のTFTと、a−Si薄膜の第1面及び第1のTFTの第2ゲート電極に電気的に接続されている第1の電極、並びに第2の制御線に接続される第2の電極を有し、第1のTFTと積層方向で互いに重畳するように第1のTFTの上部に配置されている光電変換素子とを含む画素が、アレイ状に複数配置され、第1及び第2のTFTと光電変換素子との間に位置し、第1及び第2のTFTへ水素が拡散することを抑制するガスバリア膜を備え、第1の電極及び第2ゲート電極は同一層であり、各画素においては、ガスバリア膜に開口部が設けられていない。 【選択図】図1