X線回折測定装置および方法
    4.
    发明专利

    公开(公告)号:JP2021032733A

    公开(公告)日:2021-03-01

    申请号:JP2019153922

    申请日:2019-08-26

    Abstract: 【課題】検出されたX線強度データにおけるピークの位置を検出する際の精度を向上することにより、測定試料における所定特性の測定精度を向上するX線回析測定装置を提供する。 【解決手段】X線を出射するX線出射部105と、X線出射部105から出射された出射X線が測定試料を照射したときに照射部位で回折された回折X線を含むX線を検出し、検出X線強度データを出力するX線検出部110と、X線出射部105から照射部位までの出射X線の伝播路において出射X線が散乱された散乱X線がX線検出部110により検出されて出力された散乱X線強度データで検出X線強度データを補正することによって補正X線強度データを求め、補正X線強度データに基づき、測定試料の所定特性を測定する測定処理部152と、を備えるものである。 【選択図】図1

    薄膜配向結晶成長のX線回折インサイチューキャラクタリゼーション方法

    公开(公告)号:JP2020519868A

    公开(公告)日:2020-07-02

    申请号:JP2019560686

    申请日:2018-04-19

    Abstract: 本発明は、薄膜配向結晶成長のX線回折インサイチューキャラクタリゼーション方法を公開し、まず対称反射走査方法を用いて薄膜の面外回折ピーク位置を測定し、薄膜の面外配向特性を確認し、次に、初期オリジナルセルパラメータに基づき、予測方位の近くで、非対称反射走査方法を用いて結晶面が基板と傾斜角を形成する1セットの結晶面群の回折ピーク位置を取得し、初期オリジナルセルパラメータに基づき、測定して得られた回折ピーク位置と予測値との間の差δを計算し、格子パラメータの修正と循環反復計算によって十分に小さいまで連続的にδを減少させることにより、より正確な格子パラメータ情報を得る。本発明は、コンピュータ支援計算の方法を用いて、数秒で十分高い分析精度を取得することができ、出力データを直接に次の測定周期の入力値とすることができるため、高速化した動的な測定分析システムを形成することができる。 【選択図】図2

    金属部品におけるX線パラメータの推定方法、及び、金属部品の疲労度取得方法

    公开(公告)号:JP2020027069A

    公开(公告)日:2020-02-20

    申请号:JP2018152943

    申请日:2018-08-15

    Abstract: 【課題】金属部品のX線パラメータの初期値を精度よく推定することができる推定方法を提供する。 【解決手段】推定方法は、(a)表面加工前の金属部品2を用いて材質が均一となる深さの範囲を取得するステップ、(b)表面加工後の未使用の金属部品2を用いて使用により疲労しない第2の表面2b,2cのX線パラメータが表面加工の影響を受ける深さを取得するステップ、(c)表面加工後の未使用の金属部品2を用いて表面加工の影響による第1の表面2aのX線パラメータの変動量を取得するステップ、(d)使用後の金属部品の第2の表面2b,2cにおいてステップ(a)で取得された範囲内でかつステップ(b)で取得された深さよりも深い領域のX線パラメータを測定するステップ、及び(e)ステップ(d)で測定されたX線パラメータにステップ(c)で取得された変動量を反映させて第1の表面2aのX線パラメータの初期値を推定するステップを含む。 【選択図】図8

    転動部品の性能評価方法
    10.
    发明专利

    公开(公告)号:JP2019207157A

    公开(公告)日:2019-12-05

    申请号:JP2018102545

    申请日:2018-05-29

    Abstract: 【課題】疲労度または余寿命を利用して転動部品の性能評価を高精度で実施することが可能な、転動部品の性能評価方法を提供する。 【解決手段】転動部品の性能評価方法は、転動部品の疲労度を推定するステップと、転動部品の性能を評価するステップとを備える。転動部品の性能を評価するステップでは、複数の状態における負荷回数と、負荷回数に対応する評価データである疲労度との関係に基づき、転動部品の性能を評価する。疲労度を推定するステップは、測定データを取得するステップ(S10)と、疲労度を推定するステップ(S11)とを含む。測定データを取得するステップ(S10)では、転動部品の疲労部にX線を照射することで、転動部品に関するX線分析値の測定データを取得する。疲労度を推定するステップ(S11)では、X線分析値と転動部品の疲労度との関係に基づいて、測定データから転動部品の疲労度を推定する。 【選択図】図4

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