基板ホルダ及び成膜装置
    2.
    发明专利

    公开(公告)号:JP2021048161A

    公开(公告)日:2021-03-25

    申请号:JP2019168199

    申请日:2019-09-17

    摘要: 【課題】面内均一性に優れた光電変換膜等の膜の作製が可能な基板ホルダ及び該基板ホルダを備える成膜装置を提供すること。 【解決手段】基板を加熱して基板の表面に膜を形成する成膜装置用の基板ホルダであって、基板が収容配置される貫通穴部を有する平板状のホルダ本体と、貫通穴部の外周に固定配置された固定部と、貫通穴部に収容配置された基板の外周部の表面の少なくとも一部を覆うように突出する蓋部と、を有するカバーと、を備え、貫通穴部は、内壁面から突出して基板の外周部の裏面側から基板を支持する支持部を有し、カバーは、貫通穴部に収容配置された基板に接触しない、基板ホルダである。 【選択図】図2

    Cu−Ga合金スパッタリングターゲット、及び、Cu−Ga合金スパッタリングターゲットの製造方法

    公开(公告)号:JP2019112670A

    公开(公告)日:2019-07-11

    申请号:JP2017246339

    申请日:2017-12-22

    摘要: 【課題】NaとKとを含み、大気中で保管しても変色が抑えられ、安定してスパッタ成膜することが可能なCu−Ga合金スパッタリングターゲット、及び、このCu−Ga合金スパッタリングターゲットの製造方法を提供する。 【解決手段】金属成分として、Gaを20原子%以上45原子%以下の範囲で含有し、さらにK及びNaを合計で0.1原子%以上2原子%以下の範囲で含有し、残部がCuおよび不可避不純物からなる組成を有し、Cu−Ga合金の母相中に、NaとKとFを含む複合フッ化物が分散しており、前記複合フッ化物の内接円の最大直径が30μm以下であり、前記複合フッ化物におけるNaの原子比を[Na]、Kの原子比を[K]とした場合において、[Na]/([Na]+[K])が0.3以上0.9以下の範囲内とされている。 【選択図】なし

    半導体粒子及びその製造方法
    6.
    发明专利

    公开(公告)号:JP2019006659A

    公开(公告)日:2019-01-17

    申请号:JP2017139472

    申请日:2017-06-28

    申请人: 夫 恒範

    发明人: 夫 恒範

    摘要: 【課題】組成が均一であり且つ安価に製造することが可能な、半導体粒子及びその製造方法を提供する。 【解決手段】銅イオン源と、インジウムイオン源と、イオン同士の結合反応を抑制する配位子と、水とを混合して、カチオン混合液を作製するカチオン混合液作製工程と、作製したカチオン混合液と、硫黄イオン源とを混合して、前駆体溶液を作製する前駆体溶液作製工程と、作製した前駆体溶液を容器に入れ、前駆体溶液が収容された容器を密閉する密閉工程と、密閉された容器内で水熱合成反応を生じさせる水熱合成反応工程と、を有する半導体粒子の製造方法とし、X線回折で単一相のピークが観察され、且つ、一次粒子の粒径が100nm以下である、Cu、In、及び、Sを含有する半導体粒子とする。 【選択図】図2

    ガラス基板のセレン化及び硫化工程に用いる設備

    公开(公告)号:JP6316920B1

    公开(公告)日:2018-04-25

    申请号:JP2016237358

    申请日:2016-12-07

    CPC分类号: Y02E10/541 Y02P70/521

    摘要: 【課題】ガラス基板之セレン化及び硫化工程に用いる設備を提供することを課題とする。 【解決手段】本発明は、ガラス基板のセレン化及び硫化工程に用いる設備に関し、特に、常圧の環境下において大面積ガラス基板のセレン化及び硫化工程に用いることのできる低コスト、毒性のない設備に関する。本発明のガラス基板のセレン化及び硫化工程に用いる設備は、高温を用いてセレン又は硫黄を高活性の小分子に熱分解でき、或いはプラズマ、特に線形大気圧プラズマの方法により、高活性のセレン又は硫黄分子を得ると共に均一方法で該セレン又は硫黄分子を分散し、並びに精密的に該ガラス基板を往復運動させることで、1枚式ガラス基板に大面積の均一なセレン化及び硫化を得させる。 【選択図】図11