패턴 형성 방법 및 수축제
    91.
    发明公开
    패턴 형성 방법 및 수축제 审中-实审
    图案形成工艺和收缩剂

    公开(公告)号:KR1020160051655A

    公开(公告)日:2016-05-11

    申请号:KR1020150151625

    申请日:2015-10-30

    IPC分类号: G03F7/40 G03F7/11 G03F7/038

    摘要: [해결수단] 카르복실기가산 불안정기로치환된반복단위를갖는고분자화합물과, 산발생제와, 유기용제를포함하는레지스트조성물을기판상에도포하여레지스트막을형성하고, 가열처리후에고에너지선으로상기레지스트막을노광하고, 가열처리후에유기용제의현상액을이용하여네가티브패턴을형성하고, 이네가티브패턴위로부터산 불안정기에의해서히드록시기및/또는카르복실기가치환된반복단위를갖는고분자화합물과탄소수 7~16의에스테르계용제및/또는탄소수 8~16의케톤계용제를함유하는수축제(shrink agent) 용액을도포하고, 베이크후 여분의수축제를유기용제현상액으로제거하여, 패턴의스페이스부분의치수를축소시키는패턴형성방법. [효과] 본발명에따르면, 레지스트패턴의스페이스부분의치수를치수제어가좋게축소시킬수 있다.

    摘要翻译: 图案形成方法技术领域本发明涉及图案形成方法,其特征在于,包括:通过用抗蚀剂组合物涂布基材来制造抗蚀剂膜,所述抗蚀剂组合物包括具有羧基被酸不稳定基团取代的重复单元的聚合物化合物, 有机溶剂; 在加热处理后将抗蚀剂膜暴露于高能量线; 在加热处理后通过使用有机溶剂的显影液产生负图案; 涂布含有具有羟基和/或羧基取代的重复单元的高分子化合物和具有7-16个碳原子的酯系溶剂和/或具有8-16个碳原子的酮系溶剂的收缩剂溶液 碳原子,通过酸不稳定基团从阴图案的上侧; 并在烘烤处理后通过有机溶剂显影液除去残留的收缩剂,以减小图案的空间部分的尺寸。 根据本发明,可以减小抗蚀剂图案的空间部分的尺寸,同时确保容易的尺寸控制功能。

    중합체 미립자, 도전성 미립자 및 이방성 도전재료
    95.
    发明授权
    중합체 미립자, 도전성 미립자 및 이방성 도전재료 有权
    聚合物微量元素,导电性微量元素和各向异性导电材料

    公开(公告)号:KR101469004B1

    公开(公告)日:2014-12-04

    申请号:KR1020137001724

    申请日:2011-08-10

    CPC分类号: C08F226/06 C08F212/36

    摘要: 작은압력으로넓은접속면적이수득되는도전성미립자를제공한다. 또, 본발명은상기와같은도전성미립자를포함하는이방성도전재료를제공하는것을목적으로한다. 또, 이러한도전성미립자의코어재로서호적하게사용할수 있는중합체미립자를제공한다. 본발명의중합체미립자는파괴점하중이 9.8mN(1.0gf) 이하인것을특징으로한다. 본발명의도전성미립자는상기중합체미립자표면에도전성금속층을가지는것을특징으로한다. 본발명의이방성도전재료는상기도전성미립자를포함하는것을특징으로한다.

    자가-점착형 폼 접착제
    100.
    发明公开
    자가-점착형 폼 접착제 无效
    自粘泡沫粘合剂

    公开(公告)号:KR1020140049572A

    公开(公告)日:2014-04-25

    申请号:KR1020147004865

    申请日:2012-07-25

    IPC分类号: C09J133/04 C09J5/08 B32B5/20

    摘要: 본 발명은 자가-점착형 폼 접착제의 제조 방법에 관한 것으로서, 상기 접착제는 a. iv. 알킬 기가 4 내지 14개의 탄소 원자를 포함하는 하나 이상의 알킬 (메트)아크릴레이트 단량체 55 내지 97.4 중량%와, v. 질소 또는 산소 함유 복소환식 고리를 포함하는 하나 이상의 에틸렌성 불포화 단량체 2.5 내지 40 중량%와, vi. 하나 이상의 극성 공단량체 0.1 내지 5 중량%를 포함하는 단량체 조성물로부터 유도가능한 반복 단위를 포함하는 가교결합 (메트)아크릴레이트 중합체; b. 상기 가교결합 (메트)아크릴레이트 중합체 100 중량부당 하나 이상의 수소화 수지 점착제 1 내지 60 중량부; 및 c. 상기 가교결합 (메트)아크릴레이트 중합체 100 중량부당 미소구체 1 내지 20 중량부를 포함하며, 상기 방법은, 상기 단량체 조성물의 단량체 성분들을 중합시키는 단계를 포함하고, 상기 중합의 적어도 일부는 가교결합제 - 상기 중합에서 사용되는 가교결합제의 총량은 상기 단량체 조성물 100 중량부당 0.01 내지 2 중량부임 -, 상기 단량체 조성물 100 중량부당 1 내지 60 중량부의 하나 이상의 수소화 수지 점착제, 및 상기 단량체 조성물 100 중량부당 1 내지 20 중량부의 미소구체의 존재 하에 실시되며, 상기 중합은 실질적으로 용매의 부재 하에 방사선에 의해 개시된다. 또한 본 발명은 그러한 방법에 의해 수득가능한 자가-점착형 폼 접착제에 관한 것이다.