公开(公告)号：KR1020160048101A

公开(公告)日：2016-05-03

申请号：KR1020167006282

申请日：2014-08-29

Applicant: 무사시 엔지니어링 가부시키가이샤

Inventor： 이쿠시마가즈마사

IPC: C09J5/00 ,  B32B37/12 ,  G02F1/13 ,  G02F1/1333 ,  G02F1/1339

CPC classification number: C09J5/00 ,  C09J5/04 ,  C09J2203/318 ,  G02F1/1303 ,  G02F1/1333 ,  G02F1/1339 ,  G02F2202/28 ,  B32B37/12 ,  B32B2457/202

Abstract: 본발명은, 접착제가판형체의에지근처까지널리퍼져, 특히, 표시영역의코너부까지균일하게골고루퍼지는것을가능하게하는방법및 장치를제공한다. 실질적으로유사형인한 쌍의판형체를접착제에의해접합하여판형적층체를제조하는방법에있어서, 제1 판형체에, 제1 판형체및 제2 판형체의외측에지로부터비어져나오지않도록, 사각형상의토출용홈부를가지는노즐을주사시키는것에의해사각형상으로접착제를도포하는면형도포단계, 제1 판형체또는제2 판형체에, 제1 판형체및 제2 판형체의외측에지로부터비어져나오지않도록, 제1 판형체및 제2 판형체의 4개의코너부의근방이면서또한면형도포단계에서접착제가도포되어있지않은부분또는상기부분과대향하는부분에각각접착제를도포하는보충도포단계, 면형도포단계및 보충도포단계를거친제1 판형체및 제2 판형체를접합시키는접합단계를포함하는판형적층체의제조방법및 상기제조방법을실시하는장치이다.

公开(公告)号：KR101605434B1

公开(公告)日：2016-03-22

申请号：KR1020107020431

申请日：2009-02-18

Applicant: 무사시 엔지니어링 가부시키가이샤

Inventor： 이쿠시마가즈마사

IPC: B05C11/10 ,  B05C5/00 ,  B05D1/26 ,  B05D3/00

CPC classification number: B05B12/008 ,  B05B1/083 ,  H01L21/563 ,  H01L24/16 ,  H01L24/27 ,  H01L24/29 ,  H01L24/32 ,  H01L24/83 ,  H01L2224/16225 ,  H01L2224/16238 ,  H01L2224/27312 ,  H01L2224/2919 ,  H01L2224/32052 ,  H01L2224/32225 ,  H01L2224/73204 ,  H01L2224/743 ,  H01L2224/83104 ,  H01L2224/83192 ,  H01L2224/92125 ,  H01L2924/00011 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/12042 ,  H01L2924/00012 ,  H01L2924/00 ,  H01L2224/0401

Abstract: 본발명은, 복잡한파라미터의계산이불필요하며, 토출부의이동속도로영향을미치지않는액체재료의도포방법, 그장치및 그프로그램에대한것으로서, 노즐과공작물을상대이동시키면서액체재료를노즐로부터토출하고, 공작물에대하여규정한도포량의액체재료를도포하는도포방법에있어서, 토출펄스신호및 휴지(休止) 펄스신호를송신하는횟수를총 펄스수로서규정하고, 총펄스수중 도포량을달성하기위해필요한토출펄스신호의수를규정하고, 나머지를휴지펄스신호로서규정하는초기파라미터설정단계, 미리설정한보정주기로, 보정주기의시점에서의노즐로부터의토출량을계측하고, 토출량의보정량을산출하는보정량산출단계, 및보정량산출단계에서산출한보정량에기초하여토출펄스신호의수와휴지펄스신호의수를조정하는토출량보정단계를포함하는것을특징으로도포방법, 그장치및 그프로그램을제공한다.

公开(公告)号：KR101592443B1

公开(公告)日：2016-02-18

申请号：KR1020097022699

申请日：2008-05-19

Applicant: 무사시 엔지니어링 가부시키가이샤

Inventor： 이쿠시마가즈마사

IPC: B05C13/02 ,  B05D1/26 ,  B05C11/00 ,  B05D3/00

CPC classification number: B41J25/308 ,  B05B12/06 ,  B05C5/02 ,  B05C5/0225 ,  B05C11/1034 ,  B41J2/01 ,  B41J2/04516 ,  B41J2/04556 ,  B41J2/0458 ,  B41J2/04581 ,  B41J2/1433 ,  B41J2202/05

Abstract: 본발명은, 새틀라이트(satellite) 발생의문제나착탄(着彈) 위치의정밀도의문제를해소할수 있는액체토출(吐出) 방법및 장치를제공하고자한 것으로서, 액체재료에관성력을부여하여액적(液滴)의상태로토출구에서토출하는액체재료의토출방법에있어서, 토출구에서유출된액체재료가토출구에서떨어질때의, 토출구의하단으로부터토출구에서유출된액체재료의하단까지의거리 A를측정하고, 토출구의하단과공작물표면과의거리 B를, 상기거리 A와대략같은거리로하는것을특징으로하는액체재료의토출방법, 및상기방법을실시하기위한장치이다.

Abstract translation: 提供一种用于排出液体材料的方法和装置，其可以解决关于卫星的发生和着陆位置的准确性的问题。 [解决方案]在通过向液体材料施加惯性力通过排出孔将液体液滴状态排出的方法中，所述方法的特征在于包括以下步骤：从下部测量距离A 在从排出孔流出的液体材料与排出口分离时，从排出孔流出的液体材料的下端的排出口与排出口分离，并且在排出口的下端之间设定距离B 孔和工作表面与距离A大致相同。还提供了用于执行该方法的装置。

公开(公告)号：KR1020150129702A

公开(公告)日：2015-11-20

申请号：KR1020157024043

申请日：2014-03-13

Applicant: 무사시 엔지니어링 가부시키가이샤

Inventor： 이쿠시마가즈마사

IPC: B05C5/02 ,  B05C11/10

CPC classification number: B05C5/0225 ,  B05C11/1034 ,  B05C11/1047

Abstract: 본발명은, 액누출을해결하고, 토출작업의작업성을향상시킨다. 액체재료를토출하는토출구(33)를가지는노즐(35)과, 노즐(35)과연통되는전환밸브(51)와, 토출제어부를구비하는액체재료토출장치(20)에있어서, 전환밸브(51)에가압된액체재료를공급하는가압유로(62)를가지는가압부(60)를설치하고, 가압유로내의압력과비교하여상대적으로낮은압력으로설정가능한퇴피유로(72)를가지는부압부(70)를설치하고, 전환밸브(51)가, 토출구(33)와가압유로(62)를연통시키고, 또한토출구(33)와퇴피유로(72)를차단하는제1 위치와, 토출구(33)와퇴피유로(72)를연통시키고, 또한토출구(33)와가압유로(62)를차단하는제2 위치를전환하는액체재료토출장치를제공한다.

公开(公告)号：KR101568238B1

公开(公告)日：2015-11-20

申请号：KR1020117002267

申请日：2009-07-02

Applicant: 무사시 엔지니어링 가부시키가이샤

Inventor： 이쿠시마가즈마사

IPC: H01L21/50

CPC classification number: H01L21/563 ,  H01L24/743 ,  H01L2224/73203 ,  H01L2224/73204 ,  H01L2924/01004

Abstract: 본발명은, 도포작업의전후에걸쳐서, 반도체칩이탑재된기판의온도변화를작게하여, 접속부의파괴를방지할수 있는기판가열장치, 그것을구비하는도포장치및 기판가열방법을제공한다. 일방향으로반송되고, 반송도중에그 위에배치된공작물에대하여도포작업이행해지는기판을하측으로부터가열하기위한기판가열장치로서, 상기기판의바닥면에맞닿고, 기판을가열하는평평한상면, 및상기상면에형성되고, 상기기판의바닥면에가열용기체를분출하는분출용개구를구비하는가열부재와, 가열부재를승강시키는승강기구를구비한것을특징으로하는기판가열장치, 그것을구비하는액체재료도포장치및 기판가열방법.

公开(公告)号：KR1020150029008A

公开(公告)日：2015-03-17

申请号：KR1020157002787

申请日：2008-03-04

Applicant: 무사시 엔지니어링 가부시키가이샤

Inventor： 이쿠시마가즈마사

IPC: B05C5/02 ,  B05C5/00

CPC classification number: B23K3/0623 ,  B05C5/0225 ,  B41J2/04586 ,  B41J2/04588 ,  B41J2/14 ,  B41J2002/041 ,  B41J2202/05 ,  B05C5/02

Abstract: 본 발명은, 토출 동작시의 플런저(plunger) 선단이 액실(液室)의 내벽에 비접촉인 상태를 유지하는 액적(液滴) 토출 기술을 제공하는 것을 목적으로 하고, 특히, 납땜 페이스트 등의 필러(filler)를 함유하는 액재(液材)라도 양호한 토출을 행할 수 있는 액적 토출 장치 및 방법을 제공한다. 본 발명은, 액재를 토출하는 토출구를 가지는 액실과, 액실과 연통되는 관통공과, 관통공에 삽입 통과되고, 그 선단부가 액실 내를 진퇴(進退) 이동하는 플런저와, 플런저를 진퇴 이동시키는 플런저 이동 수단과, 플런저 선단부의 위치를 규정하는 플런저 위치 결정 수단을 포함하고, 플런저의 선단부와 액실의 내벽이 비접촉인 상태로 플런저를 진퇴 이동 및 진출 정지시킴으로써 액재에 관성력을 부여하여 액적의 상태로 토출하는 액적 토출 장치로서, 상기 플런저 위치 결정 수단은, 진출 정지 시의 플런저 선단부의 위치를, 그 진출 방향에 있는 액실의 내벽 근방으로 규정하는 것을 특징으로 하는 액적 토출 장치 및 방법이다.

Abstract translation: 本发明是提供一种柱塞（柱塞）的液滴（液滴）的喷射技术，以保持非接触状态的尖端与为目的的放电操作过程中液体腔室（液室）的内壁，特别是填充剂，例如焊膏 即使当提供包含填料的液体材料时，也能够执行良好的喷射的液滴喷射设备和方法。 本发明中，被插入到液体腔室，通过所述的教训，通孔与具有用于排出液体材料的排出口腔室液体连通，所述柱塞移动到其远端和柱塞以在液体室来回移动（进退），正向和柱塞的向后运动 这意味着，包括一个柱塞定位装置，用于限定所述柱塞的位置前端，并通过进退的柱塞头和所述状态内壁是柱塞运动的液体腔室的非接触式和提前停止给予的惯性力来排出到敌人状态的液体材料的液体 一个液滴喷射装置，所述柱塞定位装置是一个喷液设备和方法，其特征在于，所述膨胀过程中限定所述柱塞前端部的位置处停止，以在膨胀方向上的液室的内壁的附近。

公开(公告)号：KR1020150023028A

公开(公告)日：2015-03-04

申请号：KR1020157001207

申请日：2013-06-18

Applicant: 무사시 엔지니어링 가부시키가이샤

Inventor： 이쿠시마가즈마사

IPC: B05B15/02 ,  B05B1/30 ,  B05C5/02

CPC classification number: B05B15/557 ,  B05B1/3046 ,  B05B15/55 ,  B05C5/0233 ,  B08B9/0328

Abstract: 본 발명은, 봉형 부재가 작동하는 작동 공간과 공급 유로를 포함하는 토출 장치의 접액부(401)를 세정하기 위한 세정 장치로서, 압축 기체원(106)과, 세정액 공급 탱크(101)와, 압축 기체 또는 세정액을 공급하는 복수 개의 공급 기구(109, 110)와, 세정액 회수 탱크(129)와, 복수 개의 공급 기구(109, 110) 및 세정액 회수 탱크(129)가 유체적으로 접속되고, 토출 장치의 접액부(401)를 저장하는 접액부 고정 지그(300)와, 제어 장치를 구비하고, 제어 장치에 의해 각각의 공급 기구(109, 110)에 개별적으로 지정한 압력값에 기초하여 세정액을 접액부 고정 지그(300)에 공급하는 것이다. 상기 구성에 의해, 합류점·분기점이 있는 유로 구조를 가지는 토출 장치의 접액부를 분해하지 않고, 균일한 흐름으로 세정할 수 있다.

公开(公告)号：KR1020150021130A

公开(公告)日：2015-02-27

申请号：KR1020157002348

申请日：2013-06-26

Applicant: 무사시 엔지니어링 가부시키가이샤

Inventor： 이쿠시마가즈마사

IPC: H05K13/00 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67721 ,  H05K13/0061

Abstract: 본 발명은, 휨이 적고, 선단의 높이를 일정하게 유지할 수 있고, 또한 장수명인 공작물 압출 장치 및 공작물 공급 장치를 제공하고자 한 것으로서, 압출 부재와, 압출 부재를 제1 방향으로 압출하는 구동부를 구비하고, 압출 부재가, 제1 방향과 상이한 제2 방향으로 공작물을 압출하는 공작물 압출 장치로서, 압출 부재가, 복수의 연결편과 복수의 연결편을 굴곡 가능하게 연결하는 실형 부재를 구비하고, 압출 부재를 제2 방향으로 방향 전환시키는 방향 전환부를 포함하는, 공작물 압출 장치이다. 상기 공작물 압출 장치와, 매거진 탑재부와, 매거진 탑재부를 승강 이동시키는 승강 장치를 구비하는 공작물 공급 장치이다.

公开(公告)号：KR101471500B1

公开(公告)日：2014-12-11

申请号：KR1020147003668

申请日：2008-02-21

Applicant: 무사시 엔지니어링 가부시키가이샤

Inventor： 이쿠시마가즈마사

IPC: B41J2/165 ,  B41J2/01 ,  B08B3/02

Abstract: 본 발명은 잉크젯 도포 장치에 있어서의 클리닝 방법, 노즐 검사 방법, 도포 제어 방법 및 성막 방법에 관한 것으로서, 본 발명은, 잉크젯 헤드를 유닛 부재로 덮고, 유닛 부재에 흡인력을 작용하게 함으로써, 세정액을 소정 시간 분사하고, 잉크젯 헤드와 유닛 부재를 약간 이격시킨 상태에서, 흡인력을 작용시켜 건조시키는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드의 클리닝 방법, 토출 작업 후, 유로에 충전된 토출용 액재를 저휘발성의 치환재로 치환하고, 토출 작업을 개시하기 직전로 치환재를 토출용 액재로 재치환하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 도포 제어 방법, 잉크젯 헤드로부터 분사한 액재를 착탄(着彈) 부분과 비착탄 부분의 반사율이 상이한 검사용 부재에 착탄시키는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드의 검사 방법, 전(前) 공정에서 분사한 공작물 상의 액적이 유동되지 않을 정도로 건조시키는 것을 기다려, 전 공정에 의해 착탄된 액재의 액적에 접촉 내지 일부가 겹치는 위치에 액재를 분사하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 성막 방법을 제공한다.

Abstract translation: 本发明涉及一种清洗方法，喷嘴的检查方法，涂覆控制方法和根据喷墨涂布装置的成膜方法，本发明涵盖了喷墨头的单元构件，由抽吸力施加到所述单元部件的动作，给定的清洗液 在的状态下时间注入和稍微从喷墨头和所述单元构件间隔开，在清洁过程之后，喷墨头的排放操作中，其包括干燥步骤通过施加抽吸力，对于由低挥发性的替代材料填充在流动通道中的液体材料的排出 位移，喷墨涂布，其特征在于，通过排出用于液体材料代替取代的材料中的材料刚开始喷射操作控制方法之前，将液体材料从喷墨头着陆（着弹）的部分的反射率和不同的非蒸镀部注入 其中，喷墨头检测方法的特征在于，喷墨头检测方法包括： 中，向其中液滴进行干燥，从而不流，永远接触液体材料是由先前处理沉积的液体，并提供其特征在于，一些所述液体材料中的一个位置重叠注入喷墨成膜法的患者。

公开(公告)号：KR101457459B1

公开(公告)日：2014-11-03

申请号：KR1020097011528

申请日：2007-11-26

Applicant: 무사시 엔지니어링 가부시키가이샤

Inventor： 이쿠시마가즈마사

IPC: B05D1/00 ,  B05D3/00 ,  H01L21/56

CPC classification number: H01L21/563 ,  H01L2224/73203 ,  H01L2924/01004 ,  H01L2924/01067

Abstract: 본 발명은, 장치 구성의 자유도가 높고, 복잡한 제어를 행하지 않고 액체 재료를 적정량 공급할 수 있는 액체 재료의 충전 방법 및 충전 장치를 제공하고자 한 것으로서, 기판과 그 위에 유지된 공작물과의 간극에 모세관 현상을 이용하여 토출부로부터 토출된 액체 재료를 충전하는 방법에 있어서, 공작물 에지부에 토출부로부터 액체 재료를 공급하는 공급 단계와, 상기 공급 단계에서 공급된 액체 재료가 모세관 현상에 의해 스며나오는 것이 상정(想定)되는 영역의 공작물 에지부의 화상을 촬상 수단에 의해 촬상하는 촬상 단계와, 촬상된 화상에 기초하여 공작물 에지부에서의 액체 재료의 존재 여부를 검출하여 기판과 공작물과의 간극의 전역에 액체 재료가 충전되었는지를 판정하는 판정 단계와, 판정 불량이 된 경우에, 상기 공작물 에지부에 토출 부로부터 액체 재료를 공급하는 보충 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 재료의 충전 방법 및 그 장치에 관한 것이다.
액체 재료, 충전 방법, 충전 장치, 토출부, 공작물