公开(公告)号：KR1020120026598A

公开(公告)日：2012-03-19

申请号：KR1020127000216

申请日：2010-06-04

申请人： 노오쓰웨스턴 유니버시티

发明人： 머킨채드에이. ,  심우영 ,  브라운슈웨이그아담비. ,  리아오싱 ,  차이지난 ,  임종국 ,  젱겡펭 ,  젱지지안

IPC分类号： H01L21/027

CPC分类号： G03F7/0002 ,  B81B2203/0361 ,  B81B2207/056 ,  B81C1/00111 ,  B81C1/0046 ,  B81C2201/0154 ,  B81C2201/0185 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  Y10S977/732 ,  H01L21/0274

摘要： 지지 레이어에 부착된 복수의 펜들을 갖는 팁 어레이를 사용하는 리소그래피 방법을 개시한다. 팁들은 금속, 준금속, 및/또는 반도체 물질을 포함할 수 있고, 지지 레이어는 탄성중합체 폴리머를 포함할 수 있다. 팁 어레이는 팁과 기판 표면의 접촉 시 기판에 축적되는 잉크(예를 들어, 패터닝 조성물)로 팁들이 코팅되는 리소그래피를 수행하도록 사용된다. 팁들은 기판에 용이하게 레벨링될 수 있으며, 레벨링은 지지 레이어의 광선 반사에 있어서의 변화 및/또는 팁과 기판 표면의 접촉 시 팁들 부근 근처에서 시각적으로 모니터링될 수 있다.