公开(公告)号：KR1020120079807A

公开(公告)日：2012-07-13

申请号：KR1020110141910

申请日：2011-12-26

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 하야시신이치 ,  가나가와코우조우 ,  야마오카테루타카

IPC: H01L21/027 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/0274 ,  G03F7/70733 ,  H01L21/67718 ,  H01L21/67721

Abstract: PURPOSE: A substrate processing apparatus is provided to prevent gas from being stayed in a substrate transfer region by separating a partition plate from a partitioned location in maintenance. CONSTITUTION: A clean gas supply part(42) is formed in order to be communicated with a gas diffusion chamber in a partition plate. A gas supply path supplies gas to the clean gas supply part. A filter(37) is installed in the gas supply path. A plurality of outlets(45) is formed on a lower portion of the partition plate. The plurality of outlets discharges the gas diffused within the gas diffusion chamber to a substrate transfer region.

Abstract translation: 目的：提供一种基板处理装置，用于通过在维护中将分隔板与分隔位置分离来防止气体滞留在基板传送区域中。 构成：形成清洁气体供给部（42），以与分隔板中的气体扩散室连通。 气体供给路径向清洁气体供给部供给气体。 过滤器（37）安装在气体供给路径中。 多个出口（45）形成在隔板的下部。 多个出口将在气体扩散室内扩散的气体排出到基板传送区域。

公开(公告)号：KR101877428B1

公开(公告)日：2018-07-11

申请号：KR1020110141910

申请日：2011-12-26

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 하야시신이치 ,  가나가와코우조우 ,  야마오카테루타카

IPC: H01L21/027 ,  H01L21/677

Abstract: 서로구획되고적층된기판반송영역에서기류의체류를방지하고, 또한각 반송영역의메인터넌스작업을용이하게행할수 있는기판처리장치를제공하는것이다. 적층된제 1 기판반송영역및 제 2 기판반송영역을구획하는구획위치에설치되고, 내부에기체확산실을구비하는구획판과, 기판반송영역의폭 방향중앙부로부터주연부에걸친위치에서, 상기구획판에상기기체확산실에연통되는청정기체공급구로기체를공급하는기체공급로와, 상기기체공급로에설치되고, 상기청정기체공급구로공급하는기체를청정화하기위한필터와, 구획판의하면에형성되고, 기체확산실에서확산된기체를기판반송영역으로토출시키기위한다수의토출구를구비하고, 구획판은, 메인터넌스시에제 2 기판반송영역으로부터제 1 기판반송영역을들여다볼수 있는개방상태로하기위하여, 상기구획위치로부터퇴피시킬수 있도록장치를구성한다.

公开(公告)号：KR1020160091822A

公开(公告)日：2016-08-03

申请号：KR1020160005460

申请日：2016-01-15

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 후루쇼토시노부 ,  야마오카테루타카 ,  사사타카시

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/67

Abstract: 레지스트액을레지스트액공급로(51)를거쳐노즐(7)로부터토출한후, 처리액의정지시에있어서의파티클의발생을억제하는기술을제공한다. 레지스트액을액 중단시킴에있어서, 석백밸브(3)를석백상태로부터셋업상태로조정하고, 일시적인레지스트액의정지상태로부터레지스트액의통류가되돌아오기전에에어오퍼레이션밸브(2)를 200 ms 이상이시간을들여닫도록하고있다. 따라서에어오퍼레이션밸브(2)를급준하게닫지않아도급격한액 중단및 액의토출정지를달성할수 있으므로, 에어오퍼레이션밸브(2)를급준하게닫는것에기인하는파티클의발생을저감할수 있다. 또다른예에서는, 에어오퍼레이션밸브(2)를개방도 100 %에서 20 %까지닫음으로써, 일시적으로레지스트액을정지시키고, 이후, 에어오퍼레이션밸브(2)를개방도 20 %에서 0 %까지닫아액의토출정지를행하고있다.

Abstract translation: 提供了当抗蚀剂液体通过抗蚀剂液体供应通道（51）从喷嘴（7）排出后，当处理液体停止时，能够抑制颗粒的产生的技术。 为了停止抗蚀剂液体，将吸回阀（3）从回吸状态切换到设定状态，然后在通气前将空气操作阀（2）关闭200小时以上的时间 抗蚀剂液体的流动从抗蚀剂液体的暂时停止状态返回。 因此，即使空气操作阀（2）没有急剧关闭也能够实现快速的液体停止和液体排出停止，所以当空气操作阀（2）急剧关闭时产生的颗粒是 降低。 在另一个实施例中，由于空气操作阀（2）以100％至20％的开度闭合，所以抗蚀剂液体暂时停止，然后空气操作阀（2）以20％关闭至0 ％以停止液体的排出。