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公开(公告)号：KR1020120083859A
公开(公告)日：2012-07-26
申请号：KR1020120005375
申请日：2012-01-17
申请人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC分类号： H01L21/027 , H01L21/02
CPC分类号： G03F7/162 , H01L21/67017 , H01L21/6715 , H01L21/0273 , D06F39/08 , G03F7/00 , H01L21/0274
摘要： PURPOSE: A chemical liquor supply method and system are provided to maintain filtration accuracy by controlling filtration speed of a filter in a liquid medicine. CONSTITUTION: A liquid medicine pipe connects a liquid medicine discharge unit. A filter(46) filters the liquid medicine. A liquid medicine pump(50) performs in and out of a liquid medicine according to a capacity variation of a pump. A first open and close valve is installed on a first side of the liquid medicine pump. A second open and close valve is installed on a second side of the liquid medicine pump.
摘要翻译： 目的：提供一种药液供应方法和系统，通过控制液体药物中过滤器的过滤速度来保持过滤精度。 构成：液体药液管连接液体药物排出单元。 过滤器（46）过滤液体药物。 液体药液泵（50）根据泵的容量变化进行液体药剂的进出。 第一开关阀安装在液体药泵的第一侧。 第二个开关阀安装在药液泵的第二侧。
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公开(公告)号：KR101877958B1
公开(公告)日：2018-07-13
申请号：KR1020120005375
申请日：2012-01-17
申请人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC分类号： H01L21/027 , H01L21/02
CPC分类号： G03F7/162 , H01L21/67017 , H01L21/6715
摘要： 약액의보충개시시의과잉압력변동을억제해필터의여과속도를제어하여, 여과정밀도의유지를도모할수 있도록하는것이다. 약액펌프(50)의 1 차측개폐밸브(V) 및 2 차측개폐밸브(V)의개폐동작및 약액펌프의급배동작에의해약액보틀(13)로부터공급되는약액을필터(46)로여과한후, 토출노즐(43)로부터토출하는약액공급시스템에있어서, 약액펌프의작동실(53)과연통되는관로(56)에, 압력센서(59), 플로우미터(57) 및전공레귤레이터(58)를구비하고, 전공레귤레이터를제어하는제어부(60)를구비하고, 압력센서는약액펌프로의약액의보충개시시에, 1 차측개폐밸브를개방했을때의작동실측의압력을검출하고, 작동실로부터배기된배기유량을플로우미터에의해검출하며, 제어부는검출된압력과배기유량에기초하여약액의보충개시시에과잉압력변동을일으키지않도록전공레귤레이터를제어하여배기압을조정한다.
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公开(公告)号：KR1020160091822A
公开(公告)日：2016-08-03
申请号：KR1020160005460
申请日：2016-01-15
申请人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
摘要： 레지스트액을레지스트액공급로(51)를거쳐노즐(7)로부터토출한후, 처리액의정지시에있어서의파티클의발생을억제하는기술을제공한다. 레지스트액을액 중단시킴에있어서, 석백밸브(3)를석백상태로부터셋업상태로조정하고, 일시적인레지스트액의정지상태로부터레지스트액의통류가되돌아오기전에에어오퍼레이션밸브(2)를 200 ms 이상이시간을들여닫도록하고있다. 따라서에어오퍼레이션밸브(2)를급준하게닫지않아도급격한액 중단및 액의토출정지를달성할수 있으므로, 에어오퍼레이션밸브(2)를급준하게닫는것에기인하는파티클의발생을저감할수 있다. 또다른예에서는, 에어오퍼레이션밸브(2)를개방도 100 %에서 20 %까지닫음으로써, 일시적으로레지스트액을정지시키고, 이후, 에어오퍼레이션밸브(2)를개방도 20 %에서 0 %까지닫아액의토출정지를행하고있다.
摘要翻译： 提供了当抗蚀剂液体通过抗蚀剂液体供应通道（51）从喷嘴（7）排出后，当处理液体停止时，能够抑制颗粒的产生的技术。 为了停止抗蚀剂液体，将吸回阀（3）从回吸状态切换到设定状态，然后在通气前将空气操作阀（2）关闭200小时以上的时间 抗蚀剂液体的流动从抗蚀剂液体的暂时停止状态返回。 因此，即使空气操作阀（2）没有急剧关闭也能够实现快速的液体停止和液体排出停止，所以当空气操作阀（2）急剧关闭时产生的颗粒是 降低。 在另一个实施例中，由于空气操作阀（2）以100％至20％的开度闭合，所以抗蚀剂液体暂时停止，然后空气操作阀（2）以20％关闭至0 ％以停止液体的排出。
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公开(公告)号：KR1020160047997A
公开(公告)日：2016-05-03
申请号：KR1020150146396
申请日：2015-10-21
申请人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/027
摘要： 액체의체류를억제한다. 펌프(100)는, 탄성을가지고이송대상의액체가유통하는튜브(102)와, 튜브(102)의외측을덮고, 튜브(102)의외표면과의사이의내부공간(V)에서기체를유지하는튜브용하우징(104)과, 내부공간(V)으로의기체의공급과내부공간(V)으로부터의기체의배출을행하는전공레귤레이터(RE)를구비한다.
摘要翻译： 液体停留被抑制。 泵（100）包括：传送目标液体通过弹性流动的管（102）; 管罩（104），其覆盖所述管（102）的外部，并且将气体保持在所述管（102）的外表面和所述管壳体（104）之间的内部空间（V）中; 以及将气体供应到内部空间（V）并从内部空间（V）排放气体的电动气动调节器（RE）。
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公开(公告)号：KR1020160047996A
公开(公告)日：2016-05-03
申请号：KR1020150146395
申请日：2015-10-21
申请人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
CPC分类号： F04B49/065 , F04B43/0072 , F04B43/08 , F04B43/084 , F04B43/10 , F04B51/00 , G03F7/162 , H01L21/6715
摘要： 간소한구성으로액체의이송을가능하게한다. 송액방법은, 탄성을가지는튜브의외측을덮는튜브용하우징과튜브의외표면과의사이의내부공간에충전된기체의압력에따라튜브내로액체를유통시키는공정과, 튜브내를유통하는액체의압력의크기를제 1 값으로서취득하는공정과, 내부공간에충전된기체의압력의크기를제 2 값으로서취득하는공정과, 제 1 값과제 2 값과의차를제 3 값으로서산출하는공정과, 제 3 값에기초하여튜브상태를검지하는공정을포함한다.
摘要翻译： 液体输送系统能够使用其简单的构造来输送液体。 液体输送方法包括：使液体能够根据填充在管的外表面之间的内部空间中的气体的压力和用于覆盖具有弹性的管的外侧的管的外壳的气体循环进入管的过程 ; 获得在管内循环的液体的压力的大小作为第一值的过程; 获得填充在内部空间中的气体的压力的大小作为第二值的过程; 以及计算第一值和第二值之间的差作为第三值的处理; 以及基于第三值检测管状态的处理。
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