公开(公告)号：KR1020160091822A

公开(公告)日：2016-08-03

申请号：KR1020160005460

申请日：2016-01-15

申请人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

发明人： 후루쇼토시노부 ,  야마오카테루타카 ,  사사타카시

IPC分类号： H01L21/02 ,  H01L21/67

摘要： 레지스트액을레지스트액공급로(51)를거쳐노즐(7)로부터토출한후, 처리액의정지시에있어서의파티클의발생을억제하는기술을제공한다. 레지스트액을액 중단시킴에있어서, 석백밸브(3)를석백상태로부터셋업상태로조정하고, 일시적인레지스트액의정지상태로부터레지스트액의통류가되돌아오기전에에어오퍼레이션밸브(2)를 200 ms 이상이시간을들여닫도록하고있다. 따라서에어오퍼레이션밸브(2)를급준하게닫지않아도급격한액 중단및 액의토출정지를달성할수 있으므로, 에어오퍼레이션밸브(2)를급준하게닫는것에기인하는파티클의발생을저감할수 있다. 또다른예에서는, 에어오퍼레이션밸브(2)를개방도 100 %에서 20 %까지닫음으로써, 일시적으로레지스트액을정지시키고, 이후, 에어오퍼레이션밸브(2)를개방도 20 %에서 0 %까지닫아액의토출정지를행하고있다.

摘要翻译： 提供了当抗蚀剂液体通过抗蚀剂液体供应通道（51）从喷嘴（7）排出后，当处理液体停止时，能够抑制颗粒的产生的技术。 为了停止抗蚀剂液体，将吸回阀（3）从回吸状态切换到设定状态，然后在通气前将空气操作阀（2）关闭200小时以上的时间 抗蚀剂液体的流动从抗蚀剂液体的暂时停止状态返回。 因此，即使空气操作阀（2）没有急剧关闭也能够实现快速的液体停止和液体排出停止，所以当空气操作阀（2）急剧关闭时产生的颗粒是 降低。 在另一个实施例中，由于空气操作阀（2）以100％至20％的开度闭合，所以抗蚀剂液体暂时停止，然后空气操作阀（2）以20％关闭至0 ％以停止液体的排出。

公开(公告)号：KR1020030076387A

公开(公告)日：2003-09-26

申请号：KR1020030017229

申请日：2003-03-19

申请人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

发明人： 타케쿠마타카시 ,  후루쇼토시노부 ,  오오토타케시 ,  미야모토히로유키 ,  요시하라코우스케 ,  호리신야 ,  하라히로유키

IPC分类号： H01L21/027

CPC分类号： H01L21/67253 ,  H01L21/6715

摘要： 본 발명은, 처리액 공급기구 및 처리액 공급방법에 관한 것으로, 처리액을 공급하기 위한 처리액 공급기구는, 처리액을 공급하는 처리액 공급원과, 처리액을 토출하기 위한 처리액 토출노즐과, 처리액 공급원과 처리액 토출노즐을 연결하는 배관과, 이 배관에 설치되고, 상기 처리액 토출노즐에서 처리액을 토출하기 위한 펌프와, 상기 펌프에서 상기 처리액 토출노즐에 이르기까지 사이의 소정위치에서 처리액의 압력을 검출하는 압력센서와, 이 압력센서에 의한 검출치와, 미리 구해져 있는 처리액의 압력 및 처리액의 토출률의 관계에 기초하여, 처리액의 토출률이 소정 수치가 되도록, 펌프의 내압을 제어하는 콘트롤러를 구비하는 것을 특징으로 한다.

公开(公告)号：KR101877958B1

公开(公告)日：2018-07-13

申请号：KR1020120005375

申请日：2012-01-17

申请人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

发明人： 후루쇼토시노부 ,  오오쿠보타카히로 ,  사사타카시 ,  노가미츠요시

IPC分类号： H01L21/027 ,  H01L21/02

CPC分类号： G03F7/162 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/6715

摘要： 약액의보충개시시의과잉압력변동을억제해필터의여과속도를제어하여, 여과정밀도의유지를도모할수 있도록하는것이다. 약액펌프(50)의 1 차측개폐밸브(V) 및 2 차측개폐밸브(V)의개폐동작및 약액펌프의급배동작에의해약액보틀(13)로부터공급되는약액을필터(46)로여과한후, 토출노즐(43)로부터토출하는약액공급시스템에있어서, 약액펌프의작동실(53)과연통되는관로(56)에, 압력센서(59), 플로우미터(57) 및전공레귤레이터(58)를구비하고, 전공레귤레이터를제어하는제어부(60)를구비하고, 압력센서는약액펌프로의약액의보충개시시에, 1 차측개폐밸브를개방했을때의작동실측의압력을검출하고, 작동실로부터배기된배기유량을플로우미터에의해검출하며, 제어부는검출된압력과배기유량에기초하여약액의보충개시시에과잉압력변동을일으키지않도록전공레귤레이터를제어하여배기압을조정한다.

公开(公告)号：KR101774373B1

公开(公告)日：2017-09-04

申请号：KR1020110012713

申请日：2011-02-14

申请人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

发明人： 도키유이치 ,  고쇼마사타카 ,  후루쇼토시노부

IPC分类号： H01L21/027 ,  H01L21/66

摘要： 기판으로약액을공급하여액처리를행하는액처리장치에서약액의공급상태를확실하게판정할수 있는기술을제공한다. 기판보지부에보지된기판으로펌프로부터배관및 노즐을거쳐약액을공급하여액처리를행하는장치에있어서, 상기배관에서부터노즐의선단부에이르기까지의유로구성부재에변형게이지가설치된변형센서와, 이변형센서의출력전압을미분하는미분회로와, 이미분회로의출력에따라약액의공급상태를판정하는판정부를구비하도록장치를구성한다. 광학적인검출을행하는경우보다기판의표면상태또는약액의성질에따른영향이억제되므로, 정밀한판정을행할수 있다.

摘要翻译： 提供一种能够可靠地确定通过向基板供给药液来进行液体处理的液体处理装置中的药液的供给状态的技术。 用于通过从所述泵到看到的部分看到的基底板的管道和喷嘴供给药液进行液处理的流路形成部件的装置，和kkajiui下降到从管安装应变计的喷嘴，变形传感器，其突变体的远端 和用于区分所述传感器的输出电压，从而使已经包括用于确定根据一个分支的输出端的化学液体的供给的确定条件的差分电路构成的单元。 当执行的所以比抑制的表面状态或在基板的药物溶液的性能的影响可以进行精确的测定光学检测。

公开(公告)号：KR1020120083859A

公开(公告)日：2012-07-26

申请号：KR1020120005375

申请日：2012-01-17

申请人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

发明人： 후루쇼토시노부 ,  오오쿠보타카히로 ,  사사타카시 ,  노가미츠요시

IPC分类号： H01L21/027 ,  H01L21/02

CPC分类号： G03F7/162 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/6715 ,  H01L21/0273 ,  D06F39/08 ,  G03F7/00 ,  H01L21/0274

摘要： PURPOSE: A chemical liquor supply method and system are provided to maintain filtration accuracy by controlling filtration speed of a filter in a liquid medicine. CONSTITUTION: A liquid medicine pipe connects a liquid medicine discharge unit. A filter(46) filters the liquid medicine. A liquid medicine pump(50) performs in and out of a liquid medicine according to a capacity variation of a pump. A first open and close valve is installed on a first side of the liquid medicine pump. A second open and close valve is installed on a second side of the liquid medicine pump.

摘要翻译： 目的：提供一种药液供应方法和系统，通过控制液体药物中过滤器的过滤速度来保持过滤精度。 构成：液体药液管连接液体药物排出单元。 过滤器（46）过滤液体药物。 液体药液泵（50）根据泵的容量变化进行液体药剂的进出。 第一开关阀安装在液体药泵的第一侧。 第二个开关阀安装在药液泵的第二侧。

公开(公告)号：KR1020110099631A

公开(公告)日：2011-09-08

申请号：KR1020110012713

申请日：2011-02-14

申请人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

发明人： 도키유이치 ,  고쇼마사타카 ,  후루쇼토시노부

IPC分类号： H01L21/027 ,  H01L21/66

CPC分类号： H01L21/0274 ,  G03F7/2041 ,  G03F7/2043 ,  H01L22/30

摘要： 기판으로 약액을 공급하여 액처리를 행하는 액처리 장치에서 약액의 공급 상태를 확실하게 판정할 수 있는 기술을 제공한다. 기판 보지부에 보지된 기판으로 펌프로부터 배관 및 노즐을 거쳐 약액을 공급하여 액처리를 행하는 장치에 있어서, 상기 배관에서부터 노즐의 선단부에 이르기까지의 유로 구성 부재에 변형 게이지가 설치된 변형 센서와, 이 변형 센서의 출력 전압을 미분하는 미분 회로와, 이 미분 회로의 출력에 따라 약액의 공급 상태를 판정하는 판정부를 구비하도록 장치를 구성한다. 광학적인 검출을 행하는 경우보다 기판의 표면 상태 또는 약액의 성질에 따른 영향이 억제되므로, 정밀한 판정을 행할 수 있다.

公开(公告)号：KR100929526B1

公开(公告)日：2009-12-03

申请号：KR1020030017229

申请日：2003-03-19

申请人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

发明人： 타케쿠마타카시 ,  후루쇼토시노부 ,  오오토타케시 ,  미야모토히로유키 ,  요시하라코우스케 ,  호리신야 ,  하라히로유키

IPC分类号： H01L21/027

CPC分类号： H01L21/67253 ,  H01L21/6715

摘要： A process liquid supply mechanism for supplying a process liquid comprises a process liquid supply source for supplying a process liquid, a process liquid discharging nozzle for discharging the process liquid, a pipe connecting the process liquid supply source to the process liquid discharging nozzle, a pump mounted to the pipe for allowing the process liquid to be discharged from the process liquid discharging nozzle, a pressure sensor for detecting the pressure of the process liquid at a prescribed position intermediate between the pump and the process liquid discharging nozzle, and a controller for controlling the inner pressure of the pump based on the pressure value detected by the pressure sensor and the relationship obtained in advance between the pressure and the discharging rate of the process liquid such that the process liquid is discharged at a prescribed discharging rate.

摘要翻译： 用于供应处理液的处理液供应机构包括用于供应处理液的处理液供应源，用于排出处理液的处理液排出喷嘴，用于将处理液供应源连接到处理液排出喷嘴的管，泵 为了使处理液从处理液排出喷嘴排出而安装在配管上的压力传感器，检测泵和处理液排出喷嘴的中间的规定位置的处理液的压力的压力传感器， 基于由压力传感器检测到的压力值和预先获得的在处理液体的压力和排出速率之间的关系，泵的内部压力使得处理液体以预定的排出速率排出。