公开(公告)号：KR1020150058043A

公开(公告)日：2015-05-28

申请号：KR1020140160639

申请日：2014-11-18

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 사사다카시 ,  이시마루다이스케

IPC: H01L21/027 ,  H01L21/02

CPC classification number: G03F7/162 ,  G03F7/3021 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/6715 ,  H01L21/0273 ,  H01L21/02

Abstract: [과제] 기포가발생하기어려운상태에서처리액을이송할수 있는처리액공급장치등을제공한다. [해결수단] 처리액공급장치(511)는, 토출부(7)를통해피처리체(W)에처리액(L)을공급하고, 중간탱크(61)는, 처리액(L)을공급하는처리액공급원(60)에대하여이송배관(51a)을통해접속되고, 불출배관(51b)은중간탱크(61)와토출부(7) 사이에설치되어있다. 감압배기부(84)는, 이송배관(51a)을통해처리액공급원(60)으로부터중간탱크(61)로처리액(L)을이송하기위해서, 중간탱크(61) 내부를감압배기하고, 압력조정부(63)는, 중간탱크내의처리액(L)을불출배관(51a)으로부터불출하기위해서, 중간탱크(61)에기체를공급하여, 중간탱크내(61)의압력을감압상태에서상압상태로복귀시킨다.

Abstract translation: 本发明提供一种能够在难以产生气泡的状态下输送处理液的处理液供给装置等。 处理液供给装置（511）通过排出单元（7）将处理液（L）供给到目标晶片（W）。 中间罐（61）与通过输送管（51a）供给处理液（L）的处理液供给源（60）连接。 排出管51b安装在中间箱61和排出单元7之间。 减压排出单元（84）将中间箱（61）的内部进行减压，将处理液（L）从处理液供给源（60）通过输送管（51a）输送到中间箱（61）。 压力控制单元（63）向中间箱（61）供应空气，以将中间箱（61）内的压力从减压状态恢复到大气压状态，以将中间箱（61）中的处理液 ）排出管（51b）。

公开(公告)号：KR1020150051157A

公开(公告)日：2015-05-11

申请号：KR1020140148347

申请日：2014-10-29

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 요시하라고오스케 ,  다카야나기고지 ,  후루쇼도시노부 ,  사사다카시 ,  이시마루다이스케

IPC: H01L21/027 ,  H01L21/02

CPC classification number: G03F7/16 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/0274

Abstract: 본발명의과제는, 처리액중의이물질을높은포집율로포집할수 있는기술을제공하는것이다. 처리액용기(60)로부터의처리액을노즐(7)로부터토출하는데 있어서, 펌프(70)의 2차측에필터(52)의 1차측을접속하고, 필터(52)를통과한레지스트액(L)을공급원측으로복귀시킴과함께, 복귀시킨처리액과처리액용기(60)로부터보충되는처리액을합성하고있다. 그리고처리액을버퍼탱크(61)로복귀시킬때 및합성한레지스트액(L)을상기펌프(70)에흡입할때 중적어도한쪽에있어서, 필터(52)를통과시키고있다. 이로인해, 필터(52)의개수를억제하면서예를들어 1개의필터(52)를사용하면서, 처리액중의이물질을높은포집율로포집할수 있다.

Abstract translation: 本发明的目的是提供能够以高收集率收集处理溶液的异物的技术。 当处理溶液通过喷嘴（7）从处理溶液容器（60）排出时，过滤器（52）的初级侧连接到泵（70）的次级侧。 通过过滤器（52）的抗蚀剂溶液（L）被还原到供给源。 用从处理溶液容器（60）补充的处理溶液合成还原的处理溶液。 并且，当缓冲罐（61）中还原处理溶液并且将合成的抗蚀剂溶液（L）吸收到泵（70）中时，至少一个通过过滤器（52）。 由此，抑制了过滤器（52）的数量。 例如，使用一个过滤器（52），并以高收集率收集处理溶液的异物。

公开(公告)号：KR102019524B1

公开(公告)日：2019-09-06

申请号：KR1020140160639

申请日：2014-11-18

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 사사다카시 ,  이시마루다이스케

IPC: H01L21/027 ,  H01L21/02

公开(公告)号：KR1020160047997A

公开(公告)日：2016-05-03

申请号：KR1020150146396

申请日：2015-10-21

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 사사타카시 ,  이시마루다이스케 ,  오쿠보타카히로 ,  유모토토모유키 ,  무타토모히코

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/027

Abstract: 액체의체류를억제한다. 펌프(100)는, 탄성을가지고이송대상의액체가유통하는튜브(102)와, 튜브(102)의외측을덮고, 튜브(102)의외표면과의사이의내부공간(V)에서기체를유지하는튜브용하우징(104)과, 내부공간(V)으로의기체의공급과내부공간(V)으로부터의기체의배출을행하는전공레귤레이터(RE)를구비한다.

Abstract translation: 液体停留被抑制。 泵（100）包括：传送目标液体通过弹性流动的管（102）; 管罩（104），其覆盖所述管（102）的外部，并且将气体保持在所述管（102）的外表面和所述管壳体（104）之间的内部空间（V）中; 以及将气体供应到内部空间（V）并从内部空间（V）排放气体的电动气动调节器（RE）。