公开(公告)号：KR101909884B1

公开(公告)日：2018-10-22

申请号：KR1020160151375

申请日：2016-11-14

申请人： 롬엔드하스전자재료코리아유한회사

发明人： 심재환 ,  조정규 ,  조은혜 ,  이혜원 ,  박진홍 ,  류의현 ,  임재봉

IPC分类号： G03F7/20 ,  G03F7/004 ,  C08L61/14 ,  C09D161/14

CPC分类号： G03F7/091 ,  C08F220/18 ,  C08F220/30 ,  C08F220/32 ,  C08F2220/302 ,  C08F2220/325 ,  C08G63/685 ,  C08G63/78 ,  C09D5/006 ,  C09D133/08 ,  C09D133/14 ,  C09D167/00 ,  G03F7/162 ,  G03F7/168 ,  G03F7/2006 ,  G03F7/327

摘要： 바람직한양태에서, 1) 하나이상의글리시딜기; 및 2) 각각히드록시, 티올및/또는아민잔기를포함하는둘 이상의치환기를포함하는하나이상의방향족기를포함하는유기코팅조성물, 특히오버코팅된포토레지스트와함께사용하기위한반사방지코팅조성물이제공된다. 또한, 카테콜-함유중합체및 이의제조방법이제공된다.

公开(公告)号：KR101885995B1

公开(公告)日：2018-08-06

申请号：KR1020170047213

申请日：2017-04-12

申请人： 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤

发明人： 후지와라다카유키

IPC分类号： C07C307/02 ,  C08F20/38 ,  C08F20/22 ,  G03F7/004 ,  G03F7/038 ,  G03F7/16 ,  G03F7/32 ,  G03F7/20

CPC分类号： G03F7/0392 ,  C07C307/02 ,  C07C311/48 ,  C07C311/49 ,  C07C311/51 ,  C07C381/12 ,  C07C2601/14 ,  C07C2603/74 ,  C07D307/00 ,  C08F220/18 ,  C08F220/20 ,  C08F2220/1866 ,  C08F2220/387 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0382 ,  G03F7/0397 ,  G03F7/11 ,  G03F7/162 ,  G03F7/168 ,  G03F7/2006 ,  G03F7/2041 ,  G03F7/322 ,  G03F7/325 ,  G03F7/38 ,  C08F2220/282

摘要： [과제] 본발명은, ArF 엑시머레이저광, EB, EUV 등의고에너지선을광원으로한 포토리소그래피에있어서, 산확산이작고, 고감도또한고해상성이며, MEF, LWR이나 CDU 등의리소그래피성능의밸런스가우수하고, 또한상용성이우수하여디펙트가발현되기어려운화학증폭형레지스트조성물에사용되는단량체등을제공하는것을목적으로한다. [해결수단] 하기식 (1)로표시되는단량체.

公开(公告)号：KR101883013B1

公开(公告)日：2018-07-27

申请号：KR1020120140319

申请日：2012-12-05

申请人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

发明人： 아마노요시후미

IPC分类号： H01L21/302

CPC分类号： B05C5/02 ,  G03F7/162 ,  G03F7/3021 ,  G03F7/42 ,  H01L21/67051

摘要： 본발명은다른약액이서로섞이는것을억제하는기판처리장치를제공하는것을과제로한다. 기판처리장치(1)는, 웨이퍼(W)를수평으로유지하는기판유지부(21)와, 기판유지부(21)를회전시키는회전구동부(24)와, 웨이퍼(W)의주연부를향해서제1 약액을토출하는제1 약액노즐(73)과, 웨이퍼(W)의주연부를향해서제1 약액과는다른종류의제2 약액을토출하는제2 약액노즐(83)과, 제1 약액노즐(73) 및제2 약액노즐(83)을이동시키는제1 노즐구동부(70) 및제2 노즐구동부(80)를구비하고있다. 각약액노즐(73, 83)은, 웨이퍼(W)의주연부를향해서약액을토출할때에위치하는처리위치와, 약액을토출하지않을때에위치하는대기위치사이에서, 각노즐구동부(70, 80)에의해서각각이동시켜진다. 여기서, 각대기위치는각 처리위치보다웨이퍼(W)의중심측에위치하고있다.

公开(公告)号：KR101880212B1

公开(公告)日：2018-07-20

申请号：KR1020150079483

申请日：2015-06-04

申请人： 주식회사 엘지화학

发明人： 이제권 ,  박노진 ,  김정근 ,  구세진 ,  이미숙 ,  최은영 ,  윤성수 ,  유형주

IPC分类号： C08F297/00 ,  C08F299/00 ,  C08F212/08 ,  C08F220/10 ,  C08L53/00 ,  C08J5/18 ,  G03F7/00

CPC分类号： C08L53/005 ,  B05D1/005 ,  B05D3/007 ,  B81C1/00428 ,  B81C2201/0149 ,  B82Y40/00 ,  C01P2002/70 ,  C07B2200/00 ,  C08F2/14 ,  C08F32/06 ,  C08F212/08 ,  C08F216/12 ,  C08F220/10 ,  C08F220/26 ,  C08F220/30 ,  C08F293/00 ,  C08F293/005 ,  C08F299/024 ,  C08F2220/301 ,  C08F2438/03 ,  C08G61/08 ,  C08G61/128 ,  C08G2261/1424 ,  C08G2261/1426 ,  C08G2261/332 ,  C08G2261/3324 ,  C08G2261/40 ,  C08G2261/418 ,  C08J5/18 ,  C08J7/123 ,  C08J2353/00 ,  C08L53/00 ,  C08L53/02 ,  C09D153/00 ,  G03F7/0002 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/039 ,  G03F7/091 ,  G03F7/16 ,  G03F7/162 ,  G03F7/2004 ,  G03F7/30 ,  C08F214/182

摘要： 본출원은, 블록공중합체및 그용도가제공될수 있다. 본출원의블록공중합체는, 우수한자기조립특성내지는상분리특성을가지며, 요구되는다양한기능도자유롭게부여될수 있고, 특히에칭선택성이확보되어패턴형성과같은용도에효과적으로적용될수 있다.

公开(公告)号：KR101877958B1

公开(公告)日：2018-07-13

申请号：KR1020120005375

申请日：2012-01-17

申请人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

发明人： 후루쇼토시노부 ,  오오쿠보타카히로 ,  사사타카시 ,  노가미츠요시

IPC分类号： H01L21/027 ,  H01L21/02

CPC分类号： G03F7/162 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/6715

摘要： 약액의보충개시시의과잉압력변동을억제해필터의여과속도를제어하여, 여과정밀도의유지를도모할수 있도록하는것이다. 약액펌프(50)의 1 차측개폐밸브(V) 및 2 차측개폐밸브(V)의개폐동작및 약액펌프의급배동작에의해약액보틀(13)로부터공급되는약액을필터(46)로여과한후, 토출노즐(43)로부터토출하는약액공급시스템에있어서, 약액펌프의작동실(53)과연통되는관로(56)에, 압력센서(59), 플로우미터(57) 및전공레귤레이터(58)를구비하고, 전공레귤레이터를제어하는제어부(60)를구비하고, 압력센서는약액펌프로의약액의보충개시시에, 1 차측개폐밸브를개방했을때의작동실측의압력을검출하고, 작동실로부터배기된배기유량을플로우미터에의해검출하며, 제어부는검출된압력과배기유량에기초하여약액의보충개시시에과잉압력변동을일으키지않도록전공레귤레이터를제어하여배기압을조정한다.

公开(公告)号：KR101874485B1

公开(公告)日：2018-07-05

申请号：KR1020160094574

申请日：2016-07-26

申请人： 롬 앤드 하스 일렉트로닉 머트어리얼즈 엘엘씨 ,  더 유니버서티 어브 퀸슬랜드

发明人： 제임스더블유.새커리 ,  멜리아나샤오 ,  피터트레포나스3세 ,  이드리스블레이키 ,  앤드류키이스휘터커

IPC分类号： G03F7/004 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027

CPC分类号： G03F7/09 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0047 ,  G03F7/038 ,  G03F7/0382 ,  G03F7/0392 ,  G03F7/0397 ,  G03F7/094 ,  G03F7/162 ,  G03F7/20 ,  G03F7/2037 ,  G03F7/325

摘要： 코어, 및코어를둘러싸는코팅물을포함하는나노입자; 및폴리머를포함하는블렌드인복합체로서, 상기나노입자의코팅물은리간드를포함하고, 상기리간드는치환된또는비치환된 C-C카복실산또는그것의염, 치환된또는비치환된 C-C아미노산또는그것의염, 치환된또는비치환된 C-C디알킬포스포네이트, 또는이들의조합이고; 상기폴리머는중합성기를포함하는광산발생제; 중합성기를포함하는광산발생제와는상이한, 적어도하나의불포화된모노머; 및하기식 (I)의사슬이동제의중합생성물이다:식중: Z는 y가 C유기기이고, x는 0 또는 1이고, R는치환된또는비치환된 C알킬, C사이클로알킬, C아릴, 또는 C아르알킬이다.

公开(公告)号：KR20180038394A

公开(公告)日：2018-04-16

申请号：KR20170128141

申请日：2017-09-29

申请人： SHINETSU CHEMICAL CO

发明人： HATAKEYAMA JUN ,  OHASHI MASAKI ,  SASAMI TAKESHI

IPC分类号： G03F7/004 ,  G03F7/038 ,  G03F7/039 ,  G03F7/20 ,  G03F7/26

CPC分类号： G03F7/0045 ,  C08F212/14 ,  C08F220/28 ,  C08F220/30 ,  C08F2220/283 ,  C08F2220/301 ,  C08F2800/20 ,  G03F7/0382 ,  G03F7/0392 ,  G03F7/162 ,  G03F7/168 ,  G03F7/2004 ,  G03F7/2006 ,  G03F7/322 ,  G03F7/38

摘要： 본발명은, 증감효과가높고, 산확산을억제하는효과도가지며, 해상성, LWR, CDU가양호한레지스트재료및 이것을이용하는패턴형성방법을제공하는것을목적으로한다. 베이스폴리머와, 하기식 (A)로표시되는카르복실산염또는하기식 (B)로표시되는술폰아미드염을포함하는레지스트재료.

公开(公告)号：KR101847429B1

公开(公告)日：2018-04-10

申请号：KR1020167032694

申请日：2015-05-26

申请人： 후지필름 가부시키가이샤

发明人： 츠치무라토모타카

IPC分类号： G03F7/038 ,  C08F212/14 ,  C08F220/38 ,  G03F7/20 ,  G03F7/26

CPC分类号： G03F7/0382 ,  C08F12/20 ,  C08F12/22 ,  C08F12/24 ,  C08F12/30 ,  C08F212/14 ,  C08F220/06 ,  C08F220/58 ,  C08F2220/301 ,  C08F2220/303 ,  C08F2220/382 ,  C09D125/18 ,  G03F1/20 ,  G03F1/22 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/162 ,  G03F7/2004 ,  G03F7/2037 ,  G03F7/322 ,  C08F212/32 ,  C08F244/00 ,  C08F212/08

摘要： 감방사선성또는감활성광선성수지조성물은, 활성광선또는방사선의조사에의하여분해되어측쇄에산 음이온을발생하는구조부위 (a), 및하기일반식 (I)로나타나는반복단위 (b)를갖는고분자화합물 (A)를함유한다.식중, R은수소원자, 유기기또는할로젠원자를나타낸다. A은방향환기또는지환기를나타낸다. R및 R는각각독립적으로알킬기, 사이클로알킬기또는아릴기를나타낸다. A, R및 R중적어도 2개는서로결합하여환을형성해도된다. B및 L은각각독립적으로단결합또는 2가의연결기를나타낸다. X는수소원자또는유기기를나타낸다. n은 1 이상의정수를나타낸다. n이 2 이상의정수를나타내는경우, 복수의 L, 복수의 R, 복수의 R및복수의 X는각각, 서로동일해도되고상이해도된다.

公开(公告)号：KR20180016276A

公开(公告)日：2018-02-14

申请号：KR20170095932

申请日：2017-07-28

IPC分类号： G03F7/039 ,  G03F1/50 ,  G03F7/075 ,  G03F7/20

CPC分类号： G03F7/0392 ,  G03F1/76 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0048 ,  G03F7/162 ,  G03F7/168 ,  G03F7/2037 ,  G03F7/322 ,  G03F7/38

摘要： [과제] 패턴형성시의해상성을향상시키며또한라인엣지러프니스가저감된패턴을얻을수 있는포지티브형레지스트조성물을제공한다. [해결수단] (A) 하기식(A)으로표시되는술포늄화합물및 (B) 하기식(B1)으로표시되는반복단위를포함하고, 산의작용에의해분해되어, 알칼리현상액중에서의용해도가증대되는폴리머를포함하는베이스폴리머를포함하는포지티브형레지스트조성물.

摘要翻译： 包含适于在酸的作用下分解以增加其在碱性显影剂中的溶解度的聚合物和特定结构的锍化合物的正型抗蚀剂组合物具有高分辨率。 当通过光刻处理抗蚀剂组合物时，可以形成具有最小LER的图案。

公开(公告)号：KR1020170138355A

公开(公告)日：2017-12-15

申请号：KR1020170069496

申请日：2017-06-05

申请人： 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤

发明人： 하타케야마준 ,  오하시마사키

IPC分类号： G03F7/004 ,  G03F7/038 ,  G03F7/039 ,  G03F7/32 ,  G03F7/38 ,  G03F7/20 ,  C07C321/30

CPC分类号： G03F7/0382 ,  C07C57/58 ,  C07C63/70 ,  C07C65/03 ,  C07C65/05 ,  C07C233/54 ,  C07C271/28 ,  C07C309/65 ,  C07C309/66 ,  C07C381/12 ,  C07C2601/14 ,  C07C2601/18 ,  C07C2602/28 ,  C07C2603/68 ,  C07C2603/74 ,  C07D279/20 ,  C07D327/08 ,  C07D333/76 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0048 ,  G03F7/0392 ,  G03F7/162 ,  G03F7/168 ,  G03F7/2004 ,  G03F7/2006 ,  G03F7/2037 ,  G03F7/322 ,  G03F7/325 ,  G03F7/38

摘要： [과제] 포지티브형레지스트재료에있어서도네거티브형레지스트재료에있어서도, 고감도이면서또한 LWR이작은레지스트재료및 이것을이용하는패턴형성방법을제공한다. [해결수단] 베이스폴리머및 하기식 (A)로표시되는술포늄염을포함하는레지스트재료.

摘要翻译： [问题]提供一种即使在正型抗蚀剂材料和负型抗蚀剂材料中也具有高灵敏度并且可以转换成LWR的抗蚀剂材料以及使用该抗蚀剂材料的图案形成方法。 [解决问题的手段]抗蚀剂材料，其包含由下式（A）表示的基础聚合物和锍盐。