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1.发明公开페놀성 수산기 함유 수지, 그 제조 방법, 감광성 조성물, 레지스트 재료, 도막, 경화성 조성물과 그 경화물, 및 레지스트 하층막 审中-实审含酚式羟基的树脂，其制造方法，感光性组合物，抗蚀剂材料，涂膜，固化性组合物及其固化物，
公开(公告)号：KR1020170032221A
公开(公告)日：2017-03-22
申请号：KR1020167032381
申请日：2015-05-28
申请人： 디아이씨 가부시끼가이샤
CPC分类号： C08G8/04 , C07C37/115 , C07C39/17 , C07C2603/92 , C08G8/08 , C08L61/06 , C09D161/06 , G03F7/0236 , G03F7/039 , G03F7/091 , G03F7/11
摘要： 알칼리현상성이우수하고, 얻어지는경화물에있어서높은내열성을발현시킬수 있는페놀성수산기함유수지, 그제조방법, 감광성조성물, 레지스트재료, 도막, 경화성조성물과그 경화물, 및레지스트하층막을제공하는것. 하기구조식(1)(식중, R은알킬기, 알콕시기또는아릴기이고, R은수소원자, 알킬기또는아릴기이고, m은 1∼3의정수, n은 2∼15의정수이다. m이 2 이상일경우, 복수의 R은각각동일해도되며달라도된다) 으로표시되는분자구조를갖는화합물(A)을함유하는것을특징으로하는페놀성수산기함유수지.
摘要翻译： 碱显影yiwoosu和haneungeot提供苯酚seongsusan缩写泻湖sikilsu表现出高的耐热性，制造方法，感光性组合物的方法中，抗蚀剂组合物，涂膜，所述可固化组合物及其固化物，以及下层中得到的固化物的抗蚀剂膜。 以下结构式（1）：（其中，R是烷基，烷氧基或芳基，R隐士希望在这里，烷基或芳基，m为1〜3的CAN协议，n为从2至15协议M是2。 或者更多，多个R可以相同或不同，并且每个可以不同）。
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公开(公告)号：KR1020170019346A
公开(公告)日：2017-02-21
申请号：KR1020167032857
申请日：2015-05-19
申请人： 디아이씨 가부시끼가이샤
CPC分类号： G03F7/039 , C08G8/08 , C08G8/12 , C08G8/26 , C09D161/06 , G03F7/0236 , G03F7/162 , G03F7/168 , G03F7/2002 , G03F7/322 , G03F7/0233 , G03F7/004
摘要： 본발명은, 광감도, 해상도, 내열성, 및내흡습성이우수하며, 또한고온환경하에있어서오염이생기기어려운, 영구막의재료로서호적(好適)한감광성조성물등을제공하는것을목적으로해서, 일반식(1)으로표시되는구조부위(I)를반복단위로서갖고있고, 일반식(2)으로표시되는히드록시나프탈렌류(A)의함유량이수지고형분환산으로 2질량% 이하인히드록시나프탈렌노볼락수지를함유하고, 경화제를함유하고있지않은, 또는상기수지 100질량부에대해서 50질량부이하의경화제를함유하는영구막용감광성조성물을제공한다[식중, R은수소원자, 알킬기, 알콕시기, 아릴기, 아랄킬기, 또는할로겐원자를나타내고, 복수존재하는 R은서로동일해도되며달라도되고, R은수소원자, 알킬기, 또는아릴기를나타내고, p는 1 또는 2를, q는 4 또는 5를나타낸다. 단, p와 q의합은 6이다].
摘要翻译： 本发明的目的是提供一种光敏组合物，其在高温环境中不易被污染而且具有优异的光敏性，分辨率，耐热性和耐吸湿性，并且适用于永久膜的材料; 等等。 本发明提供一种永久性薄膜用感光性组合物，其含有具有由通式（1）表示的结构部分（I）作为重复单元并含有通式（2）表示的羟基萘（A）的羟基萘酚醛清漆树脂 以树脂固体成分计为2质量％以下，不含固化剂，或者相对于上述100质量份，含有50质量份以下的固化剂 树脂。 （式中，R 1表示氢原子，烷基，烷氧基，芳基，芳烷基或卤素原子，多个R 1部分可以相同也可以不同; R2表示 氢原子，烷基或芳基; p表示1或2，q表示4或5，p和q的和为6.）
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3.发明公开페놀성 수산기 함유 화합물, 감광성 조성물, 레지스트용 조성물, 레지스트 도막, 경화성 조성물, 레지스트 하층막용 조성물, 및 레지스트 하층막 审中-实审含有酚羟基的化合物，感光性组合物，电阻用组合物，电阻膜，可固化组合物，耐下层膜的组合物和耐下漆膜
公开(公告)号：KR1020160033652A
公开(公告)日：2016-03-28
申请号：KR1020157032069
申请日：2014-06-12
申请人： 디아이씨 가부시끼가이샤
CPC分类号： C08G8/20 , C07C39/17 , C07C2603/92 , C08G8/04 , C09D161/12 , G03F7/004 , G03F7/0226 , G03F7/0236 , G03F7/094 , G03F7/11
摘要： 내열성이뛰어난페놀성수산기함유화합물, 내열분해성, 광감도및 해상도가뛰어난레지스트용조성물, 내열분해성및 드라이에칭내성이뛰어난레지스트하층막용조성물을제공한다. 하기구조식(1)(식중, R은수소원자, 알킬기또는아릴기이며, n은 2∼10의정수이다. R는알킬기, 알콕시기, 아릴기, 아랄킬기, 할로겐원자중 어느하나이며, m은 0∼4의정수이다. m이 2 이상의경우, 복수의 R는각각동일해도되며달라도되며, 나프틸렌골격의 2개의방향환중 어느쪽에결합하고있어도된다)으로표시되는분자구조를갖는것을특징으로하는페놀성수산기함유화합물.
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公开(公告)号：KR102222658B1
公开(公告)日：2021-03-05
申请号：KR1020157032069
申请日：2014-06-12
申请人： 디아이씨 가부시끼가이샤
摘要： 내열성이뛰어난페놀성수산기함유화합물, 내열분해성, 광감도및 해상도가뛰어난레지스트용조성물, 내열분해성및 드라이에칭내성이뛰어난레지스트하층막용조성물을제공한다. 하기구조식(1) JPEG112015108739660-pct00017.jpg49123 (식중, R1은수소원자, 알킬기또는아릴기이며, n은 2∼10의정수이다. R2는알킬기, 알콕시기, 아릴기, 아랄킬기, 할로겐원자중 어느하나이며, m은 0∼4의정수이다. m이 2 이상의경우, 복수의 R2는각각동일해도되며달라도되며, 나프틸렌골격의 2개의방향환중 어느쪽에결합하고있어도된다)으로표시되는분자구조를갖는것을특징으로하는페놀성수산기함유화합물.
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