公开(公告)号：KR101810545B1

公开(公告)日：2017-12-19

申请号：KR1020177009065

申请日：2015-06-04

申请人： 사빅 글로벌 테크놀러지스 비.브이.

发明人： 박,지훈 ,  알샤리프,후삼,엔. ,  오데,이햅,엔. ,  칸,모드,에이.

IPC分类号： H01L21/28 ,  H01L27/11507 ,  H01L27/1159 ,  H01L29/51 ,  H01L29/66 ,  H01L29/78 ,  H01L21/324

CPC分类号： H01L27/1159 ,  C09D127/16 ,  H01L21/02118 ,  H01L21/02282 ,  H01L21/28176 ,  H01L21/321 ,  H01L21/324 ,  H01L27/11507 ,  H01L29/516 ,  H01L29/6684 ,  H01L29/78391 ,  H01L37/02 ,  H01L37/025 ,  H01L41/1132 ,  H01L41/193 ,  H01L41/317 ,  H01L41/45

摘要： [0099] 본발명은강유전체장치의제조방법을기재한다. 방법은적층물을형성하기위해 2개의전도성물질사이에유기중합체강유전체층을위치시키는단계를포함한다. 상기적층물은 2-단계열처리공정을거칠수 있다. 제 1 열처리단계는유기중합체강유전성전구체를강유전성히스테리시스특성을갖는강유전성물질로변환시키고, 제 2 열처리단계는상기강유전성물질을치밀화하여강유전체장치를제조한다. 박막강유전체장치는박막강유전체커패시터, 박막강유전체트랜지스터, 또는박막강유전체다이오드를포함할수 있다.

公开(公告)号：KR1020170041919A

公开(公告)日：2017-04-17

申请号：KR1020177009065

申请日：2015-06-04

申请人： 사빅 글로벌 테크놀러지스 비.브이.

发明人： 박,지훈 ,  알샤리프,후삼,엔. ,  오데,이햅,엔. ,  칸,모드,에이.

IPC分类号： H01L21/28 ,  H01L27/11507 ,  H01L27/1159 ,  H01L29/51 ,  H01L29/66 ,  H01L29/78 ,  H01L21/324

CPC分类号： H01L27/1159 ,  C09D127/16 ,  H01L21/02118 ,  H01L21/02282 ,  H01L21/28176 ,  H01L21/321 ,  H01L21/324 ,  H01L27/11507 ,  H01L29/516 ,  H01L29/6684 ,  H01L29/78391 ,  H01L37/02 ,  H01L37/025 ,  H01L41/1132 ,  H01L41/193 ,  H01L41/317 ,  H01L41/45 ,  H01L21/28291 ,  H01L21/32056

摘要： [0099] 본발명은강유전체장치의제조방법을기재한다. 방법은적층물을형성하기위해 2개의전도성물질사이에유기중합체강유전체층을위치시키는단계를포함한다. 상기적층물은 2-단계열처리공정을거칠수 있다. 제 1 열처리단계는유기중합체강유전성전구체를강유전성히스테리시스특성을갖는강유전성물질로변환시키고, 제 2 열처리단계는상기강유전성물질을치밀화하여강유전체장치를제조한다. 박막강유전체장치는박막강유전체커패시터, 박막강유전체트랜지스터, 또는박막강유전체다이오드를포함할수 있다.

摘要翻译： 本发明描述了一种制造铁电器件的方法。 该方法包括在两种导电材料之间放置有机聚合物铁电层以形成层压体。 层压板可以经历两步热处理工艺。 第一热处理工序中的有机聚合物铁电前体转换成具有强电介质迟滞特性的铁电体材料，第二热处理步骤是制备铁电体器件致密化的铁电材料。 薄膜铁电体器件可以包括薄膜铁电体电容器，薄膜铁电体晶体管或薄膜铁电体二极管。