公开(公告)号：KR1020080065828A

公开(公告)日：2008-07-15

申请号：KR1020070002959

申请日：2007-01-10

申请人： 삼성전자주식회사

发明人： 박의진 ,  최윤호 ,  박인영 ,  정환일 ,  최성석

IPC分类号： H01L21/3065

CPC分类号： H01L21/67126 ,  H01J37/32495 ,  H01L21/68735

摘要： A structure for preventing generation of a gap is provided to easily prevent reactive ions and polymer formed in a chamber from being deposited in a space between an electrostatic chuck and a focus ring by forming a multiple sealing point in the space. A ring(300) is disposed in the outer part of a chuck. A space between the chuck and the ring is isolated from the outside by a gap preventing part(400). A step part(210) made of first and second step surfaces(211,212) can be formed in the outer circumference of the chuck. The ring can be disposed in the step part. The space between the chuck and the ring can include a first space between the inner surface of the ring and the first step surface and a second space between the bottom surface of the ring and the second step surface.

摘要翻译： 提供了一种用于防止产生间隙的结构，以便通过在该空间中形成多个密封点来容易地防止在室内形成的活性离子和聚合物沉积在静电卡盘和聚焦环之间的空间中。 环（300）设置在卡盘的外部。 通过间隙防止部件（400）将卡盘和环之间的空间与外部隔离。 可以在卡盘的外周形成由第一和第二台阶面（211,212）构成的台阶部（210）。 环可以设置在台阶部分。 卡盘和环之间的空间可以包括环的内表面和第一台阶表面之间的第一空间和环的底表面与第二台阶表面之间的第二空间。

公开(公告)号：KR1019980040761A

公开(公告)日：1998-08-17

申请号：KR1019960059998

申请日：1996-11-29

申请人： 삼성전자주식회사

发明人： 박인영

IPC分类号： H01L21/306

摘要： 식각설비 내부에 요구되는 진공도를 형성 유지하도록 하는 반도체 식각설비의 하우징에 관한 것이다.
본 발명은 소정 두께를 갖는 판형상의 결합으로 소정 크기의 용기 형상을 이루는 하측부와, 소정 두께를 갖는 판 형상으로 상기 하측부의 상단 주연에 스크류로 결합되는 상측부로 구성된 식각 설비의 하우징에 있어서, 상기 하측부에 결합되는 상기 상측부의 저면 소정 부위를 하측으로 소정 두께 돌출된 형상의 돌출부가 형성됨을 특징으로 한다.
따라서, 본 발명에 의하면 상측부의 변형이 방지됨에 따라 식각챔버를 이루는 하우징 내부의 기밀 상태가 유지되어 상측부에 의한 진공도 불량을 방지하게 되어 공정 불량을 방지하게 되는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR2019970059846U

公开(公告)日：1997-11-10

申请号：KR2019960007363

申请日：1996-04-06

申请人： 삼성전자주식회사

发明人： 박인영

IPC分类号： H01L21/306

公开(公告)号：KR101639618B1

公开(公告)日：2016-07-15

申请号：KR1020090008428

申请日：2009-02-03

申请人： 삼성전자주식회사

发明人： 김도형 ,  양정모 ,  유현정 ,  서동윤 ,  박인영

IPC分类号： H05K1/02 ,  H05K1/18

CPC分类号： H05K1/181 ,  H05K2201/09227 ,  H05K2201/09254 ,  H05K2201/10159 ,  Y02P70/611

摘要： 전자소자모듈이개시된다. 전자소자모듈은두 개의레이어들을이용하여모듈기판의양면에실장된제1 전자소자쌍을연결하고, 두개의레이어들을이용하여제1 전자소자쌍과그에인접한제2 전자소자쌍을연결할수 있다. 여기서두 개의레이어들각각은전자소자쌍들에신호를인가하기위한레이어일수 있다.

公开(公告)号：KR1020030030291A

公开(公告)日：2003-04-18

申请号：KR1020010062154

申请日：2001-10-09

申请人： 삼성전자주식회사

发明人： 박인영

IPC分类号： H01L21/306

摘要： PURPOSE: An orifice set installed at a backside gas line is provided to increase the distance of passage of the backside gas through the orifice set by differentiating the number and arrangement of the holes formed at the orifice. CONSTITUTION: The orifice set has the first orifice(150) and the second orifice alternately deposited. The first orifice has a body(152), and a wall(154) surrounding the periphery of the body(152) with a predetermined height. Four holes(156) are equidistantly formed at the periphery of the body(152). As with the first orifice(150), the second orifice has a body, and a wall surrounding the periphery of the body with a predetermined height. A hole is formed only at the center of the body. The holes(156) of the first orifice(150) and the hole of the second orifice are not overlapped with each other.

摘要翻译： 目的：设置安装在后侧气体管线处的孔组件，以通过区分在孔口处形成的孔的数量和布置来增加后侧气体通过孔组件的通过距离。 构成：孔组具有第一孔（150）和第二孔交替沉积。 第一孔具有主体（152）和以预定高度围绕主体（152）的周边的壁（154）。 四个孔（156）在本体（152）的周边处等距地形成。 与第一孔口（150）一样，第二孔口具有主体和围绕身体周边的具有预定高度的壁。 一个洞只形成在身体的中心。 第一孔（150）的孔（156）和第二孔的孔不彼此重叠。

公开(公告)号：KR1020000040217A

公开(公告)日：2000-07-05

申请号：KR1019980055792

申请日：1998-12-17

申请人： 삼성전자주식회사

发明人： 박인영

IPC分类号： H04B1/38

CPC分类号： H04B1/405 ,  H03B2200/0048 ,  H04B2001/0408

摘要： PURPOSE: A radio frequency generator is provided to generate radio signals having various frequencies, thereby adapting a process condition to characteristics of a product using a necessary radio frequency according to the process condition. CONSTITUTION: An oscillator(100) includes an oscillation circuit(112), a plurality of vibrators(114) and a switch circuit(116). A vibrator which is connected to the oscillation circuit(112) uses the crystal vibrator(114). The crystal vibrator(114) is connected to the switch circuit(116) in order to generate radio signals having desired frequencies as well as a frequency of 13.56MHz which is used in a typical oscillator. The switch circuit(116) is connected to the desired one of the crystal vibrators(114) according to an external signal in order to satisfy the necessary process condition, so that the radio signals having various frequencies.

摘要翻译： 目的：提供一种无线电频率发生器来产生具有各种频率的无线电信号，从而根据过程条件，使用必要的射频使产品的特性适应于产品的特性。 构成：振荡器（100）包括振荡电路（112），多个振动器（114）和开关电路（116）。 连接到振荡电路（112）的振动器使用晶体振子（114）。 晶体振子（114）连接到开关电路（116），以产生具有期望频率的无线电信号以及在典型振荡器中使用的13.56MHz的频率。 为了满足必要的处理条件，开关电路116根据外部信号与期望的晶体振子（114）连接，使得具有各种频率的无线信号。

公开(公告)号：KR1019980038784A

公开(公告)日：1998-08-17

申请号：KR1019960057712

申请日：1996-11-26

申请人： 삼성전자주식회사

发明人： 박인영

IPC分类号： H01L21/304

摘要： 리프터 업 신호와 진공신호가 소정 지연시간을 가지고 인가되도록 하여 파티클 유발 및 설비의 수명저하를 개선시킨 반도체장비의 진공을 이용한 웨이퍼 운반장치에 관한 것이다.
본 발명은, 진공척이 구비된 리프터에 에어 및 진공의 공급을 조절하기 위하여 제 1 라인 및 제 2 라인에 설치되는 제 1 및 제 2 솔레노이드 밸브를 개폐하도록 제어신호가 인가되도록 구성된 반도체장비의 진공을 이용한 웨이퍼 운반장치에 있어서, 상기 제어신호가 상기 제 2 솔레노이드로 밸브로 인가되는 부분에 지연수단이 연결됨으로써 웨이퍼가 업(Up)을 위한 상기 제어신호가 상기 제 1 솔레노이드 밸브에 인가되는 것보다 소정 시간 지연되어 상기 제 2 솔레노이드 밸브에 인가되도록 구성되어 있다.
따라서, 설계상의 오류가 해소되어 설비의 수명이 연장되며, 설비의 관리요소가 저하되는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR1019980013648A

公开(公告)日：1998-05-15

申请号：KR1019960032215

申请日：1996-08-01

申请人： 삼성전자주식회사

发明人： 박인영 ,  강남석

IPC分类号： H01L21/20

摘要： 하나의 저장매체로 여러 공정설비의 공정조건관리가 이루어지고 데이터 저장에 대한 신뢰도를 개선시킨 반도체 공정조건 저장장치에 관한 것이다.
본 발명은 제어수단으로서 중앙처리부와 컨트롤로직부가 상호인터페이스되고, 상기 컨트롤로직부에 데이터버스를 통하여 디스플레이부 키보드 및 드라이버가 연결되며, 드라이버에는 메모리가 접속되어서, 통신포트 또는 공정조건 모듈버스를 통하여 접속되는 공정설비에 대한 공정조건 저장 및 로드가 이루어지도록 구성되어 있다.
따라서, 본 발명에 의하면 공정조건관리가 하나의 저장매체를 통하여 효율적으로 이루어지고, 저장매체에 많은 양의 공정조건이 저장되므로 관리가 용이하고, 저장 데이터가 안정화되어 공정조건 저장장치에 대한 신뢰성이 극대화되는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR1019970052738A

公开(公告)日：1997-07-29

申请号：KR1019950055689

申请日：1995-12-23

申请人： 삼성전자주식회사

发明人： 허노현 ,  서광하 ,  박인영 ,  이관성

IPC分类号： H01L21/306

摘要： 본 발명은 반도체소자 제조공정용 건식식각장치에 관한 것으로, 특히 플라즈마를 이용한 건식식각시 공정의 균일도를 높일 수 있도록 한 반도체소자 제조용 플라즈마를 이용한 건식식각장치에 대한 것이다.
종래의 플라즈마 식각장치는 애노드 상부면에 오염이 웨이퍼의 표면에 불균일 면을 발생하게 되어 식각시 균일도 불량, 과식각, 불실각, 입자 다운을 유발시켜 장비의 점검기간을 단축하며, 기계적의 고장이 원인으로 작용하여 수율을 떨어트리는 문제점이 있었다.
본 발명은 상술한 문제점을 극복하기 위한 것으로, 리프트의 핀이 슬라이드 동작되는 애노드의 홀의 상부에 이 홀의 직경보다 상대적으로 큰 직경을 갖는 공간을 형성하고 상기 핀의 상단면을 둥글에 형성한 결함방지수단을 포함하여, 웨이퍼의 균일한 식각과 아울러 장비의 공정결함을 예방함으로서 수율을 높이고자 하는 것이다.

公开(公告)号：KR1020160102770A

公开(公告)日：2016-08-31

申请号：KR1020150025271

申请日：2015-02-23

申请人： 삼성전자주식회사

发明人： 김도형 ,  박인영 ,  서동윤 ,  석종현 ,  이영호 ,  장동민

IPC分类号： G11C5/06 ,  G11C7/10 ,  H05K1/18

CPC分类号： G11C11/4093 ,  G11C5/04 ,  G11C5/063 ,  G11C7/02 ,  G11C11/4076 ,  G11C7/1057 ,  H05K1/181

摘要： 본발명의실시예에따른메모리모듈은, 제1모듈을포함하고, 상기제1모듈은, 제1면과제2면을포함하고, 상기제1면에형성된제1탭들과상기제2면에형성된제2탭들을포함하는제1PCB(printed circuit board), 상기제1PCB에부착된제1버퍼, 및상기제1PCB에부착된제1메모리장치들을포함하고, 상기제1버퍼는상기제1탭들과상기제2탭들을통해입력된신호들을상기제1메모리장치들로전송하고, 상기신호들중에서상기제1버퍼에의해재-구동된신호들은상기제2탭들을통해제2모듈로전송된다.

摘要翻译： 本发明提供了一种存储器模块，包括该存储器模块的存储器系统和包括该存储器模块的数据存储系统，该存储器模块包括用于重新驱动要发送到其它模块的信号的缓冲器。 根据本发明的实施例的存储器模块包括第一模块，其中第一模块包括具有第一表面和第二表面的第一印刷电路板（PCB），形成在第一表面上的第一抽头和形成在第一表面上的第二抽头 第二表面，附接到第一PCB的第一缓冲器和附接到第一PCB的第一存储器件。 第一缓冲器将通过第一抽头和第二抽头输入的信号发送到第一存储器件。 由信号中的第一缓冲器重新驱动的信号通过第二个抽头传送到第二个模块。