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    F2를 사용한 챔버 세정 방법 및 상기 방법을 위한 F2의 제조 공정
    1.
    发明公开
    F2를 사용한 챔버 세정 방법 및 상기 방법을 위한 F2의 제조 공정 审中-实审
    使用F2的方法清洁方法和用于制造F2的方法

    公开(公告)号：KR1020150053782A

    公开(公告)日：2015-05-18

    申请号：KR1020157008624

    申请日：2013-09-06

    申请人： 솔베이(소시에떼아노님)

    发明人： 디아나,올리비에로

    IPC分类号： C23C16/44 ,  C25B1/24 ,  C25B15/08

    CPC分类号： B08B5/00 ,  C23C16/4405 ,  C25B1/245 ,  C25B15/08 ,  Y02P20/123

    摘要： 원소형플루오르는흔히플루오르화수소중의 KF 용액으로부터전기분해방식으로제조되며, 다양한양의 HF를불순물로함유한다. 본발명은 HF를 0.1 중량% 초과 10 중량% 이하로함유한 F를사용한챔버세정방법을제공한다. 놀랍게도, 이러한 F는챔버세정용도로매우적합하다. 바람직한일 구현예에의하면, 0.1 중량% 초과 2.5 중량% 미만의 HF를함유한 F를전기분해방식으로생성하고, 세정한다음, 전달하여현장에서사용하며, 이때 F는어떠한가압처리도거치지않는다. 세정단계들과공정을생략하고, F내에상대적으로높은 HF 함량을잔류시키는공정조건들을이용함으로써, 동시에가압단계들을생략할수 있게된다. 이의장점은세정단계들이줄어든다는것이다.

    불소 생성용 전해 셀 내 액위 제어
    3.
    发明公开
    불소 생성용 전해 셀 내 액위 제어 审中-实审
    用于荧光生成的电解槽中的液位控制

    公开(公告)号：KR1020140108292A

    公开(公告)日：2014-09-05

    申请号：KR1020147019954

    申请日：2012-12-19

    申请人： 솔베이(소시에떼아노님)

    发明人： 페르니세,홀거 ,  프레디칸트,페터엠. ,  디아나,올리비에로 ,  모렐,필리페 ,  좀머,크리스토프 ,  크뤼거,하랄트 ,  베르타니,안토니오

    IPC分类号： C25B1/24 ,  C25B15/02 ,  C25B15/08

    CPC分类号： C25B15/08 ,  C25B1/245

    摘要： 본 발명은 KF의 HF 부가체의 플루오르화수소 함유 혼합 용융염을 포함하는 전해욕(전해질)을 전기 분해함으로써 불소 가스를 생성하기 위하여, 격벽에 의해 서로 격리되어 있는 애노드 챔버와 캐소드 챔버를 포함하는 불소 가스 생성용 전해 셀 내 전해욕 액위를 측정 및/또는 제어하는 방법에 관한 것으로서, 본 방법은 (a) 전해욕(전해질) 속에 들어 있는(침수되어 있는) 튜브(액위 감지 튜브)를 포함하는 압력 감지 수단에 의해, 불소 가스의 생성 동안 애노드 챔버 및 캐소드 챔버 중 1개 이상의 챔버 내 압력을 탐지하는 단계, 그리고 바람직하게 (b) 압력 감지 수단의 튜브를 통하여 유효량의 플루오르화수소를 공급함으로써, 애노드 챔버 및/또는 캐소드 챔버 내 전해욕(전해질) 액위를 측정 및/또는 제어하는 동안 및/또는 언제라도 압력 감지 수단의 튜브 내에서 잠재적으로 결정화되는 KF의 HF 부가체에 의해 야기되는 플러깅을 없애고/없애거나 방지하는 단계를 포함한다.

    플루오르화수소를 전해 셀에 공급하는 방법
    7.
    发明公开
    플루오르화수소를 전해 셀에 공급하는 방법 审中-实审
    将氢氟化物送入电解槽的方法

    公开(公告)号：KR1020140108293A

    公开(公告)日：2014-09-05

    申请号：KR1020147019955

    申请日：2012-12-19

    申请人： 솔베이(소시에떼아노님)

    发明人： 페르니세,홀거 ,  프레디칸트,페터엠. ,  디아나,올리비에로 ,  모렐,필리페 ,  크뤼거,하랄트 ,  좀머,크리스토프

    IPC分类号： C25B1/24 ,  C25B15/08 ,  C25B15/02

    CPC分类号： C25B1/245 ,  C25B15/08

    摘要： 본 발명은 용융염 전해질로부터 불소 원소를 (전기 분해에 의해) 생성하기 위하여 전해 셀(전해조)에 공급 물질로서 플루오르화수소를 공급하는 방법에 관한 것으로서, 이 방법은 플루오르화수소(HF)를 (a) 플루오르화수소 공급 유닛으로부터 (b) 플루오르화수소 공급 라인을 통하여 (c) 전해 셀에 운반하는 단계를 포함하며, 한정된 불소 생산 용량에 대한 플루오르화수소 공급물의 필요량은, 한정된 불소 생산 용량에 대한 플루오르화수소 공급물의 필요량은 기존의 통상적인 방법에서와 같이 공급 라인의 최고(최대한의) HF 공급 용량인 80 ㎏/h 및 이와 관련된 짧되 끊김이 없는 HF 공급 간격(short full HF feeding interval)과 비교되었을 때, 오랜 공급 간격에 걸쳐 실질적으로 더 적은 시간당 HF 공급량(㎏/h)으로, 바람직하게는 기체 HF로서 전해 셀에 공급된다. 또 다른 양태에서, 본 발명은 또한 KF의 용융 HF 부가체의 전기 분해에 의한 불소 원소의 생성용 전해 셀에 관한 것으로서, HF 공급 라인은 본 발명에 따라서 공급 물질로서 플루오르화수소를 공급하는 방법에 맞추어진다.

    불소의 정제 방법
    10.
    发明授权
    불소의 정제 방법 有权
    如何净化氟

    公开(公告)号：KR101842303B1

    公开(公告)日：2018-03-26

    申请号：KR1020137005497

    申请日：2011-08-03

    申请人： 솔베이(소시에떼아노님)

    发明人： 디아나,올리비에로 ,  프레디칸트,페터엠. ,  모렐,필리페 ,  파가닌,마우리치오 ,  좀머,크리스토프

    IPC分类号： C01B7/20 ,  C01B7/19 ,  H01L21/00

    CPC分类号： C01B7/20 ,  C01B7/197 ,  H01L21/02057 ,  H01L21/30604

    摘要： 원소형불소는종종불화수소에용해된 KF의용액을전기분해시켜제조되며, 다양한양의비말동반된고형물형태의전해질염을불순물로서함유한다. 본발명은이러한불순상태의원소형불소를예컨대제트가스스크러버내에서액체불화수소와접촉시키거나, 또는원료불소를버블링하여액체불화수소에통과시킴으로써정제시키는방법에관한것이다. 이러한정제단계후, 모든비말동반된불화수소를흡착법, 응축법또는둘 다이용하여제거한다. 기공이매우작은필터에통과된후의정제된불소는반도체산업에서반도체, TFT, 태양전지또는미세전기기계시스템("MEMS")의제조를위한식각제또는챔버세정제로특히적합하다.

    摘要翻译： 通常通过电解溶解在氟化氢中的KF溶液制备环状氟，并且含有作为杂质的电解质盐形式的不同量的夹带固体。 本发明涉及一种方法，向上述喷射气体洗涤器响这些不纯的状态代表小氟例子与氟化物的液体氢，或原料通过穿过液体氟化氢纯化氟气泡接触。 在该纯化步骤之后，所有夹带的氟化氢通过吸附，冷凝或两者而被除去。 后的孔通过一个非常小的过滤器的纯化的氟是特别适合在半导体工业中作为半导体，TFT，一个太阳能电池或蚀刻剂或腔室清洁剂微机电系统（“MEMS”）的制造中。