公开(公告)号：KR101866624B1

公开(公告)日：2018-06-11

申请号：KR1020157034927

申请日：2014-05-07

Applicant: 코닝 인코포레이티드

Inventor： 다비치,레오나르드찰스,Ⅱ ,  로거노브,스테판르보비치 ,  퀘사다,마크알레잔드로 ,  스털트소브,알렉산더믹하일로비치

IPC: C03C23/00 ,  C03C27/06 ,  C03C27/08 ,  C03B23/203 ,  C03C3/12 ,  B23K26/20 ,  H01L51/00 ,  B32B37/06

CPC classification number: H01L51/5246 ,  B23K26/206 ,  B32B7/04 ,  B32B17/06 ,  B32B37/06 ,  B32B2250/03 ,  B32B2250/40 ,  B32B2255/20 ,  B32B2310/0825 ,  B32B2310/0831 ,  B32B2310/0843 ,  B32B2457/206 ,  C03B23/203 ,  C03C3/12 ,  C03C3/14 ,  C03C3/16 ,  C03C3/23 ,  C03C3/247 ,  C03C4/0071 ,  C03C8/24 ,  C03C23/0025 ,  C03C27/06 ,  C03C27/08 ,  C03C2204/00 ,  C03C2207/00 ,  C03C2218/32 ,  H01L51/0024 ,  H01L2251/301

Abstract: 제1기판의표면에걸쳐무기질막을형성하는단계, 상기제1기판및 제2기판사이에보호될워크피스를배열하는단계, 여기서, 상기막은상기제2기판과접촉됨, 및미리결정된파장을갖는레이저광선으로상기막을국부적으로가열하여상기무기질막의조성의함수로서및 상기제1 또는제2기판의불순물의조성의함수로서상기제1 및제2기판사이에상기워크피스를밀봉시키는단계를포함하는워크피스결합방법이개시된다. 상기무기질막, 상기제1기판또는상기제2기판은약 420 nm 내지약 750 nm에서투과성을가질수 있다.

公开(公告)号：KR1020160006746A

公开(公告)日：2016-01-19

申请号：KR1020157034927

申请日：2014-05-07

Applicant: 코닝 인코포레이티드

Inventor： 다비치,레오나르드찰스,Ⅱ ,  로거노브,스테판르보비치 ,  퀘사다,마크알레잔드로 ,  스털트소브,알렉산더믹하일로비치

IPC: C03C23/00 ,  C03C27/06 ,  C03C27/08 ,  C03B23/203 ,  C03C3/12 ,  B23K26/20 ,  H01L51/00 ,  B32B37/06

CPC classification number: H01L51/5246 ,  B23K26/206 ,  B32B7/04 ,  B32B17/06 ,  B32B37/06 ,  B32B2250/03 ,  B32B2250/40 ,  B32B2255/20 ,  B32B2310/0825 ,  B32B2310/0831 ,  B32B2310/0843 ,  B32B2457/206 ,  C03B23/203 ,  C03C3/12 ,  C03C3/14 ,  C03C3/16 ,  C03C3/23 ,  C03C3/247 ,  C03C4/0071 ,  C03C8/24 ,  C03C23/0025 ,  C03C27/06 ,  C03C27/08 ,  C03C2204/00 ,  C03C2207/00 ,  C03C2218/32 ,  H01L51/0024 ,  H01L2251/301

Abstract: 제1기판의표면에걸쳐무기질막을형성하는단계, 상기제1기판및 제2기판사이에보호될워크피스를배열하는단계, 여기서, 상기막은상기제2기판과접촉됨, 및미리결정된파장을갖는레이저광선으로상기막을국부적으로가열하여상기무기질막의조성물의함수로서및 상기제1 또는제2기판의불순물의조성물의함수로서상기제1 및제2기판사이에상기워크피스를밀봉시키는단계를포함하는워크피스결합방법이개시된다. 상기무기질막, 상기제1기판또는상기제2기판은약 420 nm 내지약 750 nm에서투과성을가질수 있다.