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公开(公告)号：KR1020180087896A
公开(公告)日：2018-08-03
申请号：KR1020170011817
申请日：2017-01-25
Applicant: 한국기계연구원 , 재단법인 파동에너지 극한제어 연구단
Abstract: 본발명은기판에존재하는불량소자만선택적으로교체할수 있는불량소자의리페어방법및 이를위한리페어장치에관한것으로서, 본발명에따른불량소자의리페어방법은가압단계와, 불량소자제거단계와, 대체소자접합단계를포함하고, 본발명에따른불량소자의리페어장치는제1점착필름과, 가압부와, 제2점착필름을포함한다. 본발명에따른불량소자의리페어방법및 이를위한리페어장치는불량소자를제1점착필름에점착시켜떼어내고, 제2점착필름에부착된대체소자를불량소자가제거된제거위치에부착하여접합시키는것을특징으로한다.
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公开(公告)号：KR101918106B1
公开(公告)日：2018-11-14
申请号：KR1020170011817
申请日：2017-01-25
Applicant: 한국기계연구원 , 재단법인 파동에너지 극한제어 연구단
Abstract: 본발명은기판에존재하는불량소자만선택적으로교체할수 있는불량소자의리페어방법및 이를위한리페어장치에관한것으로서, 본발명에따른불량소자의리페어방법은가압단계와, 불량소자제거단계와, 대체소자접합단계를포함하고, 본발명에따른불량소자의리페어장치는제1점착필름과, 가압부와, 제2점착필름을포함한다. 본발명에따른불량소자의리페어방법및 이를위한리페어장치는불량소자를제1점착필름에점착시켜떼어내고, 제2점착필름에부착된대체소자를불량소자가제거된제거위치에부착하여접합시키는것을특징으로한다.
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公开(公告)号：KR102253693B1
公开(公告)日：2021-05-18
申请号：KR1020180133748
申请日：2018-11-02
Applicant: 한국기계연구원
IPC: G03F7/20
Abstract: 경사-회전노광헤드는 XY 스테이지에결합되어노광타겟위를움직이며노광한다. 경사-회전노광헤드는, 노광타겟을향해빛을조사하는광원유닛과, 광원유닛에결합되며기준면과나란한제1 회전축을포함하는틸트각조절부와, 틸트각조절부에결합되며기준면과나란하고제1 회전축과직교하는선형레일을포함하는선형이동부와, 선형이동부에결합되며제1 회전축및 선형레일과직교하는제2 회전축을포함하는회전각조절부를포함한다.
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公开(公告)号：KR101729576B1
公开(公告)日：2017-04-26
申请号：KR1020150072969
申请日：2015-05-26
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본발명은튜브부재가공장치에관한것으로서, 와이어가공부와, 회전구동부와, 틸팅구동부와, 직선구동부를포함한다. 와이어가공부는튜브부재의단부를원하는형상으로가공하기위하여, 다수의롤러에의해회전하면서튜브부재와접촉하여튜브부재를가공하는와이어와, 와이어의장력을감지하는센서와, 센서에의해감지된와이어의장력을원하는목표장력으로조정하기위한장력조절부를구비한다. 회전구동부는튜브부재의길이방향을따라배치된회전축을중심으로튜브부재를회전시킨다. 틸팅구동부는회전구동부와연동하며, 와이어와튜브부재사이에형성되는각도가조정되도록튜브부재를틸팅시킨다. 직선구동부는회전구동부와연동하며, 튜브부재의길이방향을따라튜브부재를직선이송시킨다.
Abstract translation: 管构件处理装置技术领域本发明涉及一种管构件处理装置，其包括线材，旋转驱动单元，倾斜驱动单元和线性驱动单元。 电线正在研究加工成所希望的形状的管bujaeui端，而由多个辊子管件的并与一个金属丝来加工管构件，以及用于感测由传感器导线检测到的线的张力的传感器接触上旋转 还有一个张力调节器，用于将设计力调节到所需的目标张力。 旋转驱动单元使管构件围绕沿管构件的纵向方向布置的旋转轴旋转。 倾斜驱动单元与旋转驱动单元互锁并倾斜管构件，从而调整线和管构件之间形成的角度。 线性驱动部分与旋转驱动部分互锁并沿着管件的纵向线性地馈送管件。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020170019855A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：KR1020150114275
申请日：2015-08-13
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본발명은액시콘렌즈를이용한베셀빔 레이저가공기술에관한것으로, 더욱상세하게는다중각도를갖는액시콘렌즈를이용하여렌즈의에지부를지나는빛이모이는지점을렌즈쪽으로끌어주어광축방향의초점깊이를압축함으로써액시콘렌즈를이용한레이저가공시 에너지손실을줄여레이저가공효율을증대시킨베셀빔 레이저가공효율증대를위한다중각도액시콘렌즈에관한것이다.
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公开(公告)号：KR1020170012842A
公开(公告)日：2017-02-03
申请号：KR1020150105333
申请日：2015-07-24
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본발명은광학필름제조용금형의가공툴 제조방법및 이를이용한금형제조방법및 이를이용한광학필름제조방법에관한것으로서, 본발명에따른광학필름제조용금형의가공툴 제조방법은가공롤러를마련하는준비단계; 및, 상기가공롤러외면에입자를부착하여미세패턴을형성하는가공툴 제조단계;를포함하는것을특징으로한다. 이에의하여, 광을확산시키는확산필름과광을집광시키는프리즘필름의기능을동시에수행하는복합패턴이형성된광학필름을제조할수 있는광학필름제조용금형의가공툴 제조방법및 이를이용한금형제조방법및 이를이용한광학필름제조방법이제공된다.
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公开(公告)号：KR101642130B1
公开(公告)日：2016-07-22
申请号：KR1020140159163
申请日：2014-11-14
Applicant: 한국기계연구원
IPC: H01L21/268 , H01L21/02 , H01L31/18 , H01L51/44
CPC classification number: Y02E10/549 , Y02P70/521
Abstract: 본발명의일 측면에따른레이저를이용한증착및 결정화장치는외주면에플렉스블기판이감겨지며회전가능하도록설치된드럼과, 상기드럼의외주면과마주하도록배치되며상기드럼에서반사된레이저를다시상기드럼으로입사시키는제1 반사판과, 상기제1 반사판과상기드럼사이로레이저를입사시키는제1 레이저조사부와, 상기드럼의외주면과마주하도록배치되며, 상기드럼에서반사된레이저를다시상기드럼으로입사시키는제2 반사판과, 상기제2 반사판과상기드럼사이로레이저를입사시키는제2 레이저조사부, 및상기제1 반사판과상기제2 반사판사이에배치되며증착물질을상기플렉스블기판에증착시키는증착부재를포함한다.
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公开(公告)号：KR101634669B1
公开(公告)日：2016-06-30
申请号：KR1020140126541
申请日：2014-09-23
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본발명에따른유연필름의사행산출장치및 산출방법은유연필름을상하방향으로형성되는전극사이로통과시켜유연필름의면적변화에따른전기용량을측정하고, 측정된전기용량을연산하여유연필름의편위량및 사행각도를산출함으로써, 카메라등을포함하는측정장치의구비가필요하지않으므로그 구성이간단하고공간을적게차지하는장점이있을뿐만아니라, 유연필름의편위량및 사행각도를빠르게산출할수 있어실시간으로유연필름의사행을측정할수 있는장점이있는유연필름의사행산출장치및 산출방법에관한것이다.
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公开(公告)号：KR1020150121343A
公开(公告)日：2015-10-29
申请号：KR1020140046657
申请日：2014-04-18
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본발명은레이저가공기의광학계초점조절을위한진동장치에관한것으로, 더욱상세하게는광학계의진동을위해선형스프링구조를적용하여가공방향이외의변위를최소화하고, 가공정밀도를향상시킨레이저가공용 진동장치에관한것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于调整激光处理器的光学系统的焦点的振动装置，更具体地，涉及一种用于激光加工的振动装置，除了加工方向以外，使位移最小化，并提高精度 通过对光学系统的振动施加线性弹簧结构进行处理。
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