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公开(公告)号：KR1020180087896A
公开(公告)日：2018-08-03
申请号：KR1020170011817
申请日：2017-01-25
Applicant: 한국기계연구원 , 재단법인 파동에너지 극한제어 연구단
Abstract: 본발명은기판에존재하는불량소자만선택적으로교체할수 있는불량소자의리페어방법및 이를위한리페어장치에관한것으로서, 본발명에따른불량소자의리페어방법은가압단계와, 불량소자제거단계와, 대체소자접합단계를포함하고, 본발명에따른불량소자의리페어장치는제1점착필름과, 가압부와, 제2점착필름을포함한다. 본발명에따른불량소자의리페어방법및 이를위한리페어장치는불량소자를제1점착필름에점착시켜떼어내고, 제2점착필름에부착된대체소자를불량소자가제거된제거위치에부착하여접합시키는것을특징으로한다.
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公开(公告)号：KR101918106B1
公开(公告)日：2018-11-14
申请号：KR1020170011817
申请日：2017-01-25
Applicant: 한국기계연구원 , 재단법인 파동에너지 극한제어 연구단
Abstract: 본발명은기판에존재하는불량소자만선택적으로교체할수 있는불량소자의리페어방법및 이를위한리페어장치에관한것으로서, 본발명에따른불량소자의리페어방법은가압단계와, 불량소자제거단계와, 대체소자접합단계를포함하고, 본발명에따른불량소자의리페어장치는제1점착필름과, 가압부와, 제2점착필름을포함한다. 본발명에따른불량소자의리페어방법및 이를위한리페어장치는불량소자를제1점착필름에점착시켜떼어내고, 제2점착필름에부착된대체소자를불량소자가제거된제거위치에부착하여접합시키는것을특징으로한다.
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公开(公告)号：KR102230702B1
公开(公告)日：2021-03-23
申请号：KR1020190104315
申请日：2019-08-26
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본발명의일실시예는개구부의입구가상대적으로더 좁은패턴을제작할수 있는나노임프린팅패턴제작방법및 이에의해제작되는나노임프린팅패턴을제공한다. 여기서, 나노임프린팅패턴제작방법은제1기판상에폴리머레진을도포하는단계와, 베이스부로갈수록단면적이증가하는형상의제1패턴부가형성된스탬프를마련하는단계와, 스탬프로폴리머레진을가압하고폴리머레진을경화시켜, 폴리머레진에제1기판으로갈수록단면적이증가하는기본패턴과, 제1기판상에밀착되도록마련되고기본패턴의하부를연결하는잔류층을가지는제2패턴부가형성되도록하는단계와, 스탬프를제거하는단계와, 제2패턴부의상부에제2기판을밀착하고, 제2패턴부를제2기판으로전사하는단계와, 잔류층을제거하여제2기판으로갈수록단면적이감소하는역형상패턴이남도록하는단계를포함한다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020180098441A
公开(公告)日：2018-09-04
申请号：KR1020170024814
申请日：2017-02-24
Applicant: 한국기계연구원
CPC classification number: B21F23/00 , B21F1/02 , B22F3/1055 , B22F2003/1056 , B33Y40/00
Abstract: 본발명의일실시예는직진교정이더욱효과적으로이루어질수 있는금속와이어공급장치를제공한다. 여기서, 금속와이어공급장치는제1클램퍼, 제1구동부, 제2구동부, 제2클램퍼, 제3구동부그리고제4구동부를포함한다. 제1클램퍼는금속와이어를미리정해진길이만큼선접촉가압하여 1차로직진도를부여하도록한 쌍으로이루어질수 있다. 제1구동부는제1클램퍼가제1방향으로왕복이동하여금속와이어를선택적으로가압하도록동력을제공한다. 제2구동부는금속와이어를가압한제1클램퍼및 제1구동부가금속와이어의공급방향으로이동하도록선택적으로동력을제공하여금속와이어를공급시킨다. 제2클램퍼는금속와이어의공급방향을따라제1클램퍼로부터이격되게배치되고, 1차로직진도가부여된금속와이어를미리정해진길이만큼선접촉가압하여 2차로직진도를부여하도록한 쌍으로구비된다. 제3구동부는제2클램퍼가제1방향과교차하는제2방향으로왕복이동하여금속와이어를선택적으로가압하도록동력을제공한다. 그리고, 제4구동부는금속와이어를가압한제2클램퍼및 제3구동부가공급방향으로이동하도록선택적으로동력을제공하여금속와이어를공급시킨다.
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公开(公告)号：KR101853871B1
公开(公告)日：2018-05-03
申请号：KR1020160143304
申请日：2016-10-31
Applicant: 한국기계연구원
IPC: G03F7/00 , G03F7/16 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/0002 , G03F7/0027 , G03F7/161 , H01L21/0274
Abstract: 본발명은기판에소정의패턴을형성하기위한임프린트리소그래피장치및 이를이용한임프린트리소그래피방법에관한것이다. 본발명의임프린트리소그래피장치는기판지지부와, 스탬프흡착부와, 공기발생부와, 공압제어부를포함하고, 본발명의임프린트리소그래피방법은스탬프정렬단계와, 스탬프부착단계를포함한다. 본발명은스탬프를스탬프흡착부에흡착한상태에서, 스탬프를흡착하는다수의통기홀중 기판에부착하려는스탬프의부착구간에대응하는일부의통기홀에양압을인가하고, 스탬프흡착부에흡착된스탬프의흡착구간에대응하는다른일부의통기홀은음압이인가된상태를유지하며, 부착구간과흡착구간사이에존재하는나머지일부의통기홀에는양압및 음압이모두차단되는것을특징으로한다.
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公开(公告)号：KR101792796B1
公开(公告)日：2017-11-02
申请号：KR1020160052756
申请日：2016-04-29
Applicant: 한국기계연구원
IPC: G03F7/00 , G03F7/20 , G03F9/00 , H01L21/768
CPC classification number: G03F7/0002 , G03F7/70275 , G03F7/70775 , G03F9/7042 , H01L21/76817 , H01L2224/95115
Abstract: 본발명은파장선택형롤 장치및 이를포함하는패턴전사장치에관한것으로, 더욱상세하게롤 기반의패턴전사공정수행시, 레지스트경화용광원의파장을손쉽게변경할수 있는파장선택형롤 장치및 이를포함하는패턴전사장치에관한것이다.
Abstract translation: 本发明是一种波长可选择辊装置和涉及包括相同的，并且更特别的图案转印设备中，在辊基于模式容易可以改变光源的波长的抗蚀剂进行的转印步骤波长可选择辊装置和图案包括相同时固化该 转移装置。
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公开(公告)号：KR1020170105797A
公开(公告)日：2017-09-20
申请号：KR1020160028904
申请日：2016-03-10
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본발명은미세유체칩 및이의제작방법에관한것으로, 더욱상세하게미세유로내부에패턴이형성된미세유체칩 제작시, 패턴형성공정및 미세유로제작공정을분리하여, 제작효율을향상시키고, 대량생산이가능하도록하기위한미세유체칩 및이의제작방법에관한것이다.
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公开(公告)号：KR101705154B1
公开(公告)日：2017-02-10
申请号：KR1020150153748
申请日：2015-11-03
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본발명의목적은수직평면형태로배치된스테이지플랫폼을병진-병진-회전(PPR) 구조의탄성힌지기구및 구동기를사용하여이동시키되, 플랫폼상에보상용역균형하중(counter balance)을구비함으로써탄성힌지에작용하는하중을저감할수 있도록하는, 고하중용탄성힌지기반수직평면미세구동스테이지를제공함에있다.
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