公开(公告)号：KR100268607B1

公开(公告)日：2000-11-01

申请号：KR1019970037772

申请日：1997-08-07

Applicant: 후지쯔 가부시끼가이샤 ,  가부시키가이샤 아드반테스트

Inventor： 오오까와타쓰로 ,  오오아에요시히사 ,  타나까히토시 ,  야수다히로시

IPC: H01L21/027

CPC classification number: H01J37/063 ,  H01J2237/30433 ,  H01J2237/3175

Abstract: 본 발명은 열전자방출형 전자총을 갖춘 전자빔 노광장치에 관한 것이며, 특히 보수점검을 한 후의 전자빔 노광의 재개를 조기에 실행할 수 있도록 함을 과제로 한다.
해결수단은 복수의 보조발열체(60)가 대좌(base)(45A)중의 통부(45Aa)내에 매립되어 있다. 전자총 구동회로(31)가 열전자방출형 전자총(12A)에 통전을 개시하면, 온도제어유닛(35)이 보조발열체 가열용 전류(i2)를 보조발열체(60)에 일시적으로 공급한다. 열전자방출형 전자총(12A)은 캐소드가열용 발열체에 의해 가열됨과 동시에, 보조발열체(60)에 의해 일시적으로 가열되어, 조기에 열평형상태가 된다.

公开(公告)号：KR1019980069879A

公开(公告)日：1998-10-26

申请号：KR1019970037772

申请日：1997-08-07

Applicant: 후지쯔 가부시끼가이샤 ,  가부시키가이샤 아드반테스트

Inventor： 오오까와타쓰로 ,  오오아에요시히사 ,  타나까히토시 ,  야수다히로시

IPC: H01L21/027

Abstract: 본 발명은 열전자방출형 전자총을 갖춘 전자빔 노광장치에 관한 것이며, 특히 보수점검을 한 후의 전자빔 노광의 재개를 조기에 실행할 수 있도록 함을 과제로 한다.
해결수단은 복수의 보조발열체(60)가 대좌(base)(45A)중의 통부(45Aa)내에 매립되어 있다. 전자총 구동회로(31)가 열전자방출형 전자총(12A)에 통전을 개시하면, 온도제어유닛(35)이 보조발열체 가열용 전류(i2)를 보조발열체(60)에 일시적으로 공급한다. 열전자방출형 전자총(12A)은 캐소드가열용 발열체에 의해 가열됨과 동시에, 보조발열체(60)에 의해 일시적으로 가열되어, 조기에 열평형상태가 된다.