公开(公告)号：KR100268607B1

公开(公告)日：2000-11-01

申请号：KR1019970037772

申请日：1997-08-07

Applicant: 후지쯔 가부시끼가이샤 ,  가부시키가이샤 아드반테스트

Inventor： 오오까와타쓰로 ,  오오아에요시히사 ,  타나까히토시 ,  야수다히로시

IPC: H01L21/027

CPC classification number: H01J37/063 ,  H01J2237/30433 ,  H01J2237/3175

Abstract: 본 발명은 열전자방출형 전자총을 갖춘 전자빔 노광장치에 관한 것이며, 특히 보수점검을 한 후의 전자빔 노광의 재개를 조기에 실행할 수 있도록 함을 과제로 한다.
해결수단은 복수의 보조발열체(60)가 대좌(base)(45A)중의 통부(45Aa)내에 매립되어 있다. 전자총 구동회로(31)가 열전자방출형 전자총(12A)에 통전을 개시하면, 온도제어유닛(35)이 보조발열체 가열용 전류(i2)를 보조발열체(60)에 일시적으로 공급한다. 열전자방출형 전자총(12A)은 캐소드가열용 발열체에 의해 가열됨과 동시에, 보조발열체(60)에 의해 일시적으로 가열되어, 조기에 열평형상태가 된다.

公开(公告)号：KR100250558B1

公开(公告)日：2000-06-01

申请号：KR1019970007622

申请日：1997-03-07

Applicant: 후지쯔 가부시끼가이샤 ,  가부시키가이샤 아드반테스트

Inventor： 오오아에요시히사 ,  야마다아끼오 ,  야수다히로시 ,  타나까히토시

IPC: H01L21/027

CPC classification number: B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/70925 ,  H01J37/3002 ,  H01J37/3174 ,  H01J2237/022 ,  H01J2237/188 ,  H01J2237/31776

Abstract: 본 발명은 오존에 의한 셀프 클리닝 작용을 이용한 전자빔노광 장치에 있어서 오존에 의한 부품의 손상을 방지하는 것에 관한 것이다. 본 발명은 하전 입자빔을 패턴 데이터에 기초하여 정형하고, 노광되는 시료의 소정의 위치에 정형된 하전입자빔을 조사하는 하전입자빔 노광 방법에 있어서 하전입자빔을 발생하는 하전입자총이 수납되는 제1 체임버와, 하전입자빔이 통과하고 하전입자빔을 정형하여 소정의 위치에 편향시키는 제2 체임버를 진공적으로 분리하고 제2 체임버 내에 오존 가스를 도입함을 특징으로 한다. 또한 제2 체임버 내에서는 상류측 보다 하류측의 오존 가스 농도를 높게 한다.

公开(公告)号：KR100276630B1

公开(公告)日：2001-01-15

申请号：KR1019970048638

申请日：1997-09-25

Applicant: 후지쯔 가부시끼가이샤 ,  가부시키가이샤 아드반테스트

Inventor： 오오아에요시히사 ,  타나까히토시

IPC: H01L21/027

Abstract: 본 발명은 블럭 노광형 전자빔 노광 장치에 관한 것으로, 슬릿 조립체의 방열을 개선하고자 함을 과제로 한다. 전자총으로부터의 전자빔을 통해서 소정 단면 형상의 전자빔으로 하는 제1 슬릿(42)을 갖는다. 제1 슬릿(42)은, 받침대(12)와, 받침대에 베어링(13)을 통해서 회동 가능하게 지지된 스테이지(70)와, 스테이지에 고정되어 있는 슬릿 조립체(16A)와, 스테이지를 조금 회동시키는 웜 기어 기구(17)를 갖는다. 스테이지(70)는, 스테이지 본체(70a)와, 프랜지부(70d)와, 스테이지 본체와 프랜지부 사이의 용수철부(70e)로 되고, 프랜지부(70d)가 받침대(12)에 고정되어 있다. 용수철부(70e)가 탄성 변형하여 스테이지 본체(70a)가 프랜지부(70d)에 대해서 약간의 각도 범위 내에서 회동한다. 슬릿 조립체(16A)의 열은, 스테이지 본체(70a)보다 용수철부(70e)를 전도하여 프랜지부(70d)로 전해지고, 받침대(12)로 전해져 방열되도록 구성한다.

公开(公告)号：KR1019980069964A

公开(公告)日：1998-10-26

申请号：KR1019970048638

申请日：1997-09-25

Applicant: 후지쯔 가부시끼가이샤 ,  가부시키가이샤 아드반테스트

Inventor： 오오아에요시히사 ,  타나까히토시

IPC: H01L21/027

Abstract: 본 발명은 블럭 노광형 전자빔 노광 장치에 관한 것으로, 슬릿 조립체의 방열을 개선하고자 함을 과제로 한다. 전자총으로부터의 전자빔을 통해서 소정 단면 형상의 전자빔으로 하는 제1 슬릿(42)을 갖는다. 제1 슬릿(42)은, 받침대(12)와, 받침대에 베어링(13)을 통해서 회동 가능하게 지지된 스테이지(70)와, 스테이지에 고정되어 있는 슬릿 조립체(16A)와, 스테이지를 조금 회동시키는 웜 기어 기구(17)를 갖는다. 스테이지(70)는, 스테이지 본체(70a)와, 프랜지부(70d)와, 스테이지 본체와 프랜지부 사이의 용수철부(70e)로 되고, 프랜지부(70d)가 받침대(12)에 고정되어 있다. 용수철부(70e)가 탄성 변형하여 스테이지 본체(70a)가 프랜지부(70d)에 대해서 약간의 각도 범위 내에서 회동한다. 슬릿 조립체(16A)의 열은, 스테이지 본체(70a)보다 용수철부(70e)를 전도하여 프랜지부(70d)로 전해지고, 받침대(12)로 전해져 방열되도록 구성한다.

公开(公告)号：KR1019980069879A

公开(公告)日：1998-10-26

申请号：KR1019970037772

申请日：1997-08-07

Applicant: 후지쯔 가부시끼가이샤 ,  가부시키가이샤 아드반테스트

Inventor： 오오까와타쓰로 ,  오오아에요시히사 ,  타나까히토시 ,  야수다히로시

IPC: H01L21/027

Abstract: 본 발명은 열전자방출형 전자총을 갖춘 전자빔 노광장치에 관한 것이며, 특히 보수점검을 한 후의 전자빔 노광의 재개를 조기에 실행할 수 있도록 함을 과제로 한다.
해결수단은 복수의 보조발열체(60)가 대좌(base)(45A)중의 통부(45Aa)내에 매립되어 있다. 전자총 구동회로(31)가 열전자방출형 전자총(12A)에 통전을 개시하면, 온도제어유닛(35)이 보조발열체 가열용 전류(i2)를 보조발열체(60)에 일시적으로 공급한다. 열전자방출형 전자총(12A)은 캐소드가열용 발열체에 의해 가열됨과 동시에, 보조발열체(60)에 의해 일시적으로 가열되어, 조기에 열평형상태가 된다.

公开(公告)号：KR1019970067580A

公开(公告)日：1997-10-13

申请号：KR1019970007622

申请日：1997-03-07

Applicant: 후지쯔 가부시끼가이샤 ,  가부시키가이샤 아드반테스트

Inventor： 오오아에요시히사 ,  야마다아끼오 ,  야수다히로시 ,  타나까히토시

IPC: H01L21/027

Abstract: 본 발명은 오존에 의한 셀프 클리닝 작용을 이용한 전자빔노광 장치에 있어서 오존에 의한 부품의 손상을 방지하는 것에 관한 것이다. 본 발명은 하전 입자빔을 패턴 데이터에 기초하여 정형하고, 노광되는 시료의 소정의 위치에 정형된 하전입자빔을 조사하는 하전 입자빔노광 방법에 있어서 하전입자빔을 발생하는 하전입자총이 수납되는 제1체임버와, 하전입자빔이 통과하고 하전입자빔을 정형하여 소정의 위치에 편향시키는 제2체임버를 진공적으로 분리하고 제2체임버 내에 오존 가스를 도입함을 특징으로 한다. 또한 제2체임버 내에서는 상류측 보다 하류측의 오존 가스 농도를 높게 한다.